【課題】発光素子と受光素子を用いた簡単な構成で、明暗パターン部材を被検出物側に設けることもなく、移動する被検出物の位置が良好に検出できるようにする。
【解決手段】被検出物移動方向Ｈに長手方向を合わせた受光素子２０の下側に、２つの発光素子１８ａ，１８ｂを左右に等距離だけ離れた位置で配置することによって、移動方向Ｈでの中心部よりも両端部の発光量が高くなる発光領域を設定する。この発光素子１８ａ，１８ｂと受光素子２０は、被検出物移動方向Ｈに平行かつ垂直な方向に沿って配置される。このような構成によれば、発光領域の中心部の発光量が低くなるので、受光素子２０の中心部へ集まる光の入射が抑制され、被検出物の移動量に対応してリニアに変化する検出出力が得られる。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させる。
【解決手段】流路ユニット４は、金属プレート２２〜３０の側面６６〜６９が揃うように順に積層された積層体である。金属プレート２２〜３０には、エッチング処理により孔が形成されている。金属プレート２２〜３０には、これらが積層された状態で、内部に副マニホールド流路、多数の個別インク流路及び多数のノズル孔が構成されるように、孔が形成されている。流路ユニット４の側面６６〜６９には、４つのスリット５６〜５９が形成されている。これら４つのスリット５６〜５９の開口幅は、積層されている金属プレート２２〜３０の位置ずれの許容誤差以下である。 （もっと読む）

【課題】円柱透明体中のコアの形状を、非破壊かつ非接触で測定するとともに、高い測定精度で測定することが可能な円柱透明体中のコア形状測定装置及びコア形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、コア形状を測定する検出器と光源と光学フィルタと円筒透明体の位置関係を円筒透明体の形状を補正しながら、一定に保つように制御することによって、マッチングオイル等を使用することなく、非接触、非破壊で高い測定精度を実現する。 （もっと読む）

【課題】テープ体の縁部についての形状の特性を示す特性データを正確に測定する。
【解決手段】移動機構２と、移動機構２によって移動させられている磁気テープ２００に向けて検査光Ｌを照射する発光部３１および磁気テープ２００を挟んで発光部３１に対向するように配置された受光部３２をそれぞれ有して受光した検査光Ｌに基づいて磁気テープ２００の縁部の幅方向に沿った変位量をそれぞれ検出する二組のセンサ３ａ，３ｂと、測定部とを備え、各発光部３１は、磁気テープ２００における各検査光Ｌの各照射位置が長さ方向において互いに異なり、かつ各検査光Ｌの光路が互いに交差するように配置され、測定部は、各センサ３ａ，３ｂによってそれぞれ検出された両変位量の差分量を求め、差分量に基づいて磁気テープ２００の縁部についての形状の特性を示す特性データを測定する。 （もっと読む）

【課題】 干渉光学系以外の光学系における観察光学系によって、干渉光学系と干渉光学系以外の光学系におけるサンプルの高さ情報の取得範囲を設定でき、サンプルの３次元形状画像を短時間に容易に取得することができる３次元形状観察装置を提供する。
【解決手段】 フィルタ切換機構１９は、バンドパスフィルタ２１を光軸上に配置し、第１の撮像素子１６は、可視光による光学顕微鏡観察像を撮像し、制御本体部５１は、光学顕微鏡観察画像を用いてサンプル１７の観察位置の調整と、フォーカス位置の調整と、干渉光学系と光学顕微鏡光学系の両方の高さ情報の取得範囲（取得範囲Ｄ１，Ｄ２）を設定する。 （もっと読む）

【課題】サンプルの形状情報を正確に計測することができる光計測装置を提供する。
【解決手段】光計測装置は、流路内を流れる液体に分散させたサンプルに対して光を照射することで、前記サンプルの光情報を測定するために用いられ、液体１１に照射光Ｌを照射する光源部２０と、照射光に対してサンプルＳの相対位置が等速で変化される状態で、光源部２０の照射光を液体に照射して、液体を透過した照射光を含むサンプルＳの光情報を受光して受光信号ＳＧ１を発生する受光部３１と、サンプルによる受光信号の変動を測定する測定部１２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 共焦点レーザ走査型顕微鏡における全焦点画像と顕微干渉計測法における高さ画像を効率よく取得することで、試料の３次元形状画像を短時間に取得することができる３次元形状観察装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、試料１７を載置するステージ２００と、試料１７の上方に配置される干渉対物レンズ３００と、共焦点レーザ走査型顕微鏡における光学系４００ａと、顕微干渉計測法における光学系４００ｂと、ステージ２００と、干渉対物レンズ３００を搭載する顕微鏡本体４００と、試料１７の３次元形状を観察する際に画像処理や顕微鏡本体４００を制御する制御部５００と、を有し、例えば干渉対物レンズ３００を連続して光軸に沿って移動させ、相対距離を連続的に変え、レーザ用受光素子１１と撮像素子１６から出力される出力信号を最適なタイミングで取得する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で微少径を維持しつつも偏向部の回転速度が不均一になる現象を低減して安定した低コヒーレンス光の走査を実現することができるＯＣＴプローブを提供すること。
【解決手段】ＯＣＴプローブは、光源から照射された低コヒーレンスな光を用いて観察対象の断層像を取得するためのＯＣＴプローブであって、回転自在に構成され、外部にある光源から照射された光を前記ＯＣＴプローブの先端近傍まで導く導光手段と、導光手段と離間して配設され、導光手段から間接的に回転トルクを受けることにより導光手段の中心軸回りに回転するように構成され、導光手段により導かれた光を偏向して外部に照射すると同時に外部からの反射光を導光手段に向けて偏向する偏向手段と、導光手段から偏向手段に回転トルクを伝達し、かつ偏向手段の慣性による回転を許容するトルク伝達手段と、を有する構成にした。 （もっと読む）

【課題】ウエーハの厚みや上面高さを確実に計測することができる計測装置およびこの計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】レーザー光線を集光しチャックテーブルに保持されたウエーハに照射する集光器と、照射されたレーザー光線の反射光受光手段と、集光器によるレーザー光線の集光点変更手段と、集光点変更手段からの変更信号と受光手段からの信号に基いてウエーハの厚みを測定する制御手段を具備し、制御手段は集光点変更手段を構成する一対のミラーの２つの設置角度の差とウエーハの厚みとの関係を設定した厚み制御マップを備え、一対のミラーの設置角度を変更する角度調整アクチュエータによって設置角度を変更しつつ受光手段から２つの強い光量のピークを検出し、２つの強い光量のピークを入力したときの設置角度検出センサーの検出信号に基いて設置角度の差を求め、設置角度差を厚み制御マップと照合してウエーハの厚みを求める。 （もっと読む）

【課題】光断層画像化装置において、偏光方向の調整をすることなく良好な画質の断層画像を低コストで取得する。
【解決手段】光断層画像化装置１００は、測定光Ｌ１を測定対象Ｓに照射させて所定の走査周波数で走査させて測定対象Ｓの断層画像を取得する。光断層画像化装置１００における、光源ユニット１０内または光源ユニット１０から合波手段４までの光Ｌ、測定光Ｌ１、参照光Ｌ２、反射光Ｌ３の光路の少なくとも１つに、時間的に平均したときに出力光が無偏光となるように入力光の偏光状態を走査周波数と同等もしくはそれ以上に高い周波数で変化させる無偏光化手段７０を設ける。 （もっと読む）

【課題】レーザーソースに対して安定した位置にビームスプリッタおよび基準反射器を支持するための、固定具を必要としない光コヒーレント検出器を提供すること
【解決手段】超ルミネッセントダイオード（ＳＬＤ）によって生じるゴースト−コヒーレント反射（２６０）を検出するようになっている検出器（２１０、３１０）である。ゴースト反射（２６０）は、前記ＳＬＤキャビティ（２１３）内での反射の整数倍の回数である、表面（３５０、４５０、５５５）からの反射によって生じる光コヒーレンスに基づいて検出され、よってゴースト反射は光コヒーレント検出器で特徴的な精密分解能の弁別性を有する。好ましい実施形態では、検出器（２１０、３１０）は、内部反射の特定の倍数の回数の、表面からのゴースト反射（２６０）を検出するようになっており、他の倍数の回数のゴースト反射（２６０）は、光学的に減衰される（３３０）か、またはかかる反射が変化しないことが分かれば、較正方法によりキャンセルされる。 （もっと読む）

【課題】比較的大きい光束に対する波長毎の光束の拡がり角を測定することのできる光束の拡がり角測定装置を提供すること。
【解決手段】単色化された光束と、該光束の光路上に設けられたアパーチャと、該アパーチャを透過した光束の強度を複数の光束断面測定位置で測定する光センサ１０と、光センサ１０で検出された光束の強度から前記複数の光束断面測定位置における光束幅を求め、前記複数の光束断面測定位置における光束幅間の差と前記複数の光束断面測定位置間の距離とから光束の拡がり角を求める拡がり角測定手段１６とからなることを特徴とする光束の拡がり角測定装置である。 （もっと読む）

【課題】温度変化が生じても、マークの位置を正確に検出すること。
【解決手段】転写ベルト１０上のマーク５を検出する光ピックアップ６ａ、６ｂと、光ピックアップ６ａ、６ｂを収容するケース１０１１、１０１２と、ケース１０１１、１０１２を固定位置１０２１、１０２２に固定して保持する回路基板１００５とを備え、固定位置１０２１、１０２２を含む面であって、転写ベルト１０の移動方向に垂直な面である固定位置面から、検出位置１０３１、１０３２を含む面であって、転写ベルト１０の移動方向に垂直な面である検出位置面までの、ケース１０１１、１０１２における部位の温度変化による転写ベルト１０の移動方向に平行な方向の膨張量の合計である総膨張量と、回路基板１００５における固定位置１０２１、１０２２の間の部位の温度変化による膨張量とが略同一であること。 （もっと読む）

【課題】エッジ検出センサを備え、目視での測定とエッジ検出センサでの測定とを混在させた測定が可能な光学式測定装置を提供する。
【解決手段】基準線を有するスクリーンと、移動可能な載物台と、この載物台に載置された測定対象物の光学画像を前記スクリーン上に結像させる光学系と、前記スクリーン上の任意位置において前記光学画像内の測定エッジ部の通過を検出するエッジ検出センサ１１２とを備える光学式測定装置において、前記基準線から前記エッジ検出センサ１１２までの距離をオフセット値として記憶したオフセット値記憶部１４３と、前記基準線と前記エッジ検出センサ１１２とを用いて測定した測定データに対して、前記オフセット値を用いて補正する補正データ算出部１４４とを備える光学式測定装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ウェーハの種類や工程にたいして適正な異物検査を可能とし、異物検出性能を低下させることなく、歩留り管理に有益な情報を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ウェーハを含む被検査物に検査光を照射し、前記被検査物から反射または散乱する光を受光し、その受光の強度より被検査物の表面に存在する異物の有無を検査する異物検査方法であって、前記被検査物上に形成されるウェーハパターンの有無や膜の有無、膜の材質、膜厚寸法に対して前記受光の強度が強まるように焦点オフセットを調整することを特徴とする。これにより、適正な異物検査が実現できる。
また、表面高さ位置検出手段（表面検出系）が検出する表面高さ位置に強度検出手段の受光強度が強まるように焦点オフセットを調整する。それにより、適正な異物検査が実現できる。また、レシピ作成画面にこのオフセット量を算出する機能を組み込むことでウェーハの種類や工程に最適な条件作成が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
干渉光におけるノイズを低減して測定精度を向上させることができるような光ヘテロダイン干渉測定方法およびその測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、周波数の異なる基準光と測定光とを生成してビームスプリッタを介して測定光を被測定物に照射する光ヘテロダイン干渉測定方法において、ビームスプリッタへ照射される透過光側を遮断し、反射する側の光ビームだけとし、これの透過方向への漏れ光の受光素子での受光が最小になるように、偏光板の軸を設定するようにしているので、受光素子から得られる干渉光の電気信号における漏れ光により発生するノイズレベルを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は高速で移動中の鋼板にレーザビームを照射し上記鋼板から反射するレーザビームの反射率を測定し、鋼板の溶接部の位置をオンラインで検出する鋼板溶接部オンライン検出装置及び方法を提供する。このオンライン検出装置は、反射率測定手段は移動中の鋼板の表面にレーザビームを照射し、上記鋼板の表面から反射するレーザ反射光の反射率を連続して測定し、信号処理手段は溶接部で測定した反射率の変化を指標として上記鋼板溶接部を検出する。 （もっと読む）

【課題】試料の任意の点に合焦位置を確実に誘導することができる光学測定装置を提供する。
【解決手段】光源１１からの光を試料８に対して集束させる対物レンズ７と、集束光の光軸方向に沿って対物レンズ７の集光位置と試料８の位置を相対的に移動させるＺレボルバ２１を有し、予め入力されるオフセット情報づいてＺレボルバ２１による対物レンズ７の集光位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】微細マイクロレンズアレイの形状を高精度に測定する方法。
【解決手段】周期的に配置されてなるマイクロレンズアレイの形状測定方法であり、被測定対象のマイクロレンズアレイに所定波長の入射光を入射させ、透過側又は反射側に生じる回折光の直交する２つの方向に回折される各々複数の回折次数の強度を検出することで、各回折次数の回折効率の実測値を求め、他方、被測定対象のマイクロレンズアレイの各レンズの形状として２次元的なサンプリング点に初期値を与え、その初期値から出発して前記所定波長の入射光を入射させたときに透過側又は反射側に生じる回折光の直交する２つの方向に回折される各々複数の回折次数の強度を厳密な電磁波解析により算出し、順次遺伝的アルゴリズムを適用しながら、その算出値と前記実測値の差をパラメータとする評価関数を用いて、前記初期値の形状を最適化する。 （もっと読む）

【課題】発光・受光素子への外乱光入射を防ぐと共に水滴等の付着を防止し、正確に発光・受光素子の良否を判断することである。また、正しい車形検出を行ない、安全な洗車を提供する装置を実現することを課題としている。
【解決手段】車形検出を行うための発光素子Ｌと受光素子Ｒとを外乱光吸収面で構成される所定深さの溝の中に配置し、可視光線を遮断する可視光カットフィルターを通して光信号を授受する。 （もっと読む）