【課題】特異な輝度を持つ画素に影響されない重心位置算出を行い、変位測定の精度を向上する変位測定方法および変位測定装置を得る。
【解決手段】計測対象１にスリット光３を照射するスリット光照射装置２と、スリット光３を計測対象１に照射することによって生成される光切断線４を撮影するカメラ５と、カメラ５により得られた光切断線像から計測対象１の変位を求める画像処理装置７と、を備え、画像処理装置７は、カメラ５により得られた光切断線像の重心位置演算方向の各画素の輝度を最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させた後、さらに輝度値と近似値の差分を用いて重み付き最小二乗法で理想的な輝度分布に再近似させ、その分布の期待値から光切断線像の重心位置を算出して計測対象１の変位を求める。 （もっと読む）

【課題】測定部の振動の影響を好適に除去し、高精度の形状計測を行うことのできる形状計測方法及び形状計測装置を提供する。
【解決手段】測定部表面７に当てられた光スポットの散乱光を結像レンズにて集光するとともに、その集光位置の変化から測定部表面７の形状を計測する方法であって、散乱光を結像して得られた光スポットを光位置センサー９で直接受光してその集光位置の変化を計測するとともに、上記散乱光を結像して得られた光スポットをスリット１１を介して光位置センサーで受光してその集光位置の変化を計測し、それら計測した集光位置の変化量の差分から測定部表面７の形状を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】機械的な動作を低減することによって測定に要する時間を短縮し、且つモーションアーチファクトを抑制できる干渉測定装置を提供する。
【解決手段】干渉測定装置１は、複数の波長成分を含む光Ｐを出力する光源１１と、第１分岐光Ｐ_１が被測定物９により反射されて生じる第１反射光Ｒ_１と第２分岐光Ｐ_２が反射ミラー７３により反射されて生じる第２反射光Ｒ_２とを干渉させて当該干渉光ＲＩを出力する干渉光学系と、第１分岐光Ｐ_１の光路上に設けられた第１レンズ２１と、第２分岐光Ｐ_２の光路上に設けられた第２レンズ２２と、干渉光ＲＩの干渉パターンを撮像する撮像部５１とを備える。第１レンズ２１による各波長成分の焦点位置は第１レンズ２１の軸上色収差に起因して第１分岐光Ｐ_１の光軸方向に並んでおり、各波長成分毎に異なる光軸方向位置における干渉パターンを撮像部５１において撮像する。 （もっと読む）

【課題】 光の干渉を利用した位置計測を単純な構成で低コストで行うための光源モジュールおよびこれを用いた位置計測システムを提供する。
【解決手段】 位置計測システムは、レーザ光を放射する光源２および異なる光路を通過するレーザ光により同心円状の干渉模様を形成する光学レンズ系１−３を有する光源モジュール３と、干渉模様を検出する検出装置１１と、検出装置からの検出信号に基いて光源および検出装置および干渉模様の位置の少なくとも一つの位置を求める演算装置１２とを備える。光学レンズ系１−３は、一つの光源から放出された光を光軸上平面において仮想的に２つの光源から放出された光であるように対象物に投影し干渉模様を形成し得るレンズ面を備える。 （もっと読む）

【課題】 検査対象の検査をより正確に行うことのできる共焦点型検査装置を提供する。
【解決手段】 検査対象２に対向して配置された対物光学系５と；対物光学系５を介して検査対象２に輝点光１０ａを投光する投光部１０と；輝点光１０ａで検査対象２を二次元に走査する二次元走査系２０と；対物光学系５を介して検査対象２から戻ってくる投光された輝点光１０ａを結像する結像光学系６と；結像光学系６を介した光を受光する受光部４０と；検査対象２と受光部４０との間の光路中に配置された第１の臨界角プリズム１００とを備える共焦点型検査装置。 （もっと読む）

バイオメトリック機能を実行するための方法およびシステムが提供される。個人の対象とするスキン部位は、対象とするスキン部位の固定された位置に対し１つの照明セッションの間、別個の光学条件の下で、照明される。対象とするスキン部位からの光は、光学条件の各々に対して受け取られる。対象とするスキン部位の画像は、受け取られた光から生成される。画像は、画像のうちの少なくとも１つの画像の部分における特性としてバイオメトリック特徴を識別するために分析される。バイオメトリック機能は、バイオメトリック特徴の識別に従ってインプリメントされる。
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加工物の形状、輪郭および／または粗さを測定するための測定装置（１）は、大きな開口数を有する非接触光プローブに基づいている。プローブは、少なくとも２つの光受容体が関連付けられる少なくとも２つの異なる焦点を有する。２つの光受容体は、加工物表面がプローブの測定範囲内に維持されるように、光プローブを追跡するための位置決め装置（１３）を制御するための差分信号を生成する。差分信号は、センサ器具（３）の位置の高速かつ正確な追跡をもたらすことが分かっている。
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本発明に従う測定ヘッド（４）は、好ましくは回折レンズであるゾーンレンズ（２６）と半球レンズ（２３）又はＧＲＩＮレンズ（３３）の組み合わせを有する。これは、高い開口数を有する非常に細い測定ヘッド（４）になる小型化の可能なコンセプトを表し、従って、ベストな解像能力をもたらす。このような測定ヘッドは、測定ヘッドの測定すべき表面への指向に関する角度誤差又は測定ヘッドの光軸に対する面の斜めの位置決めに対して反応しない。
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