【課題】微小な導電性ボールであってもボール搭載操作を正確に行なうことができる導電性ボール捕獲装置及び導電性ボール捕獲方法並びに導電性ボール搭載方法を提供する。
【解決手段】導電性ボール捕獲装置１０は、棒状電極１１と、棒状電極１１の先端部と接触する接触面１２Ａ及び導電性ボール１が捕獲される接触面１２Ａとは反対側の捕獲面１２Ｂを有する誘電体層１２と、接触面１２Ａ上に棒状電極１１を取り囲むように配置される補助電極１４とを備える。導電性ボール捕獲装置１０を用いて導電性ボール１を捕獲し、基板上の所望の位置に搭載する。 （もっと読む）

【課題】数値処理可能な鮮明且つ正確なエッジ画像を撮像しつつ、測定する工具の両端のエッジの位置関係を正確に測定する形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状測定装置９は、平行光を発する光源モジュール１１と、光源モジュール１１の発する平行光の光軸１６に沿って配置された対物レンズ２３と、対物レンズと共焦点を有する投影レンズ２４と、この共焦点に配置され入射光のうちの０次光の光線を遮光するアンチピンホールフィルタ２５とを備えた投影光学系を備えたレンズ鏡筒１３と、光軸１６を含む基準面に対して対称に、光束の方向を変えずに平行移動させて離間させる光線分離器３３と、結合させる光線結合器３４とを備えた光路シフト手段と、投影光学系により投影された映像を撮像するように撮像素子を備え、大型のワーク１７であっても正確な形状を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】測定部の振動の影響を好適に除去し、高精度の形状計測を行うことのできる形状計測方法及び形状計測装置を提供する。
【解決手段】測定部表面７に当てられた光スポットの散乱光を結像レンズにて集光するとともに、その集光位置の変化から測定部表面７の形状を計測する方法であって、散乱光を結像して得られた光スポットを光位置センサー９で直接受光してその集光位置の変化を計測するとともに、上記散乱光を結像して得られた光スポットをスリット１１を介して光位置センサーで受光してその集光位置の変化を計測し、それら計測した集光位置の変化量の差分から測定部表面７の形状を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】回転工具を用いた加工系において、加工トルクの検出機構を挿入すると、加工系の動特性がもとの状態とは異なってしまい、測定目的とは異なる振動加工状態での加工トルクを測定することになることや、加工トルクの検出波形に振動ノイズが重畳されてしまうことのために、高い周波数帯域まで正しく加工トルクを測定することが困難であった。
【解決手段】駆動主軸系と回転工具３を把持する副軸系とに分離して、この間にトルク検出系５９を介在させた回転スピンドルとし、かつ駆動主軸系の慣性モーメントに対する副軸系の慣性モーメントを相対的に小さくしたこと、また駆動主軸１１と副軸１６との間を、ばねと捩り粘性抵抗を有する回転継ぎ手２０により接続したことで、高い周波数帯域まで加工トルクを精度よく測定可能にしている。 （もっと読む）

【課題】シルエットとして投影できない形状のエッジでも、非接触で、加工途中のワークなどを精度高く、かつ、リアルタイムで輪郭形状を数値的に測定可能とする光学的なエッジ検出装置を提供すること
【解決手段】本発明のエッジ検出装置は、投影光学系の光軸１６ａと平行な光線を遮光するアンチピンホールフィルタ２５を備えた投影光学系と、投影光学系の光軸１６ａと一定の偏角θをもって配設された光源モジュール１１と、撮像素子２６と、コンピュータとを備え、光源モジュール１１の平行光に照射されたワーク１７からの反射光による投影画像を撮像素子で撮像し、エッジ近傍の信号強度を判定し、２本の帯状の高輝度の部分に挟まれた低輝度の線状部分をエッジと判定する。そのため、ワークのエッジを正確に検出でき、これを画像処理により数値処理することでＣＡＤやＮＣ制御と連動させることができる。 （もっと読む）

【課題】工作機械へ迅速かつ容易でありながら、超高速で回転させても工具の振れが抑制できる回転工具の装着方法を提供すること。
【解決手段】マシニングセンタは、刃部９１と真空吸着可能にテーパ状に形成された被当接部９３と円柱状の軸部９２とを有する回転工具９の被当接部９３をスピンドル主軸３３の一端の当接部５３に負圧や磁気等により微動可能に迅速かつ容易に吸着して装着するとともに、特に軸部９２を空気静圧軸受ユニット６１で回転可能に支持することで強制的に位置を矯正し、高速回転する回転工具９の振れを効果的に抑制する。 （もっと読む）

【課題】工作機械へ迅速かつ容易でありながら、超高速で回転させても工具の振れが抑制できる回転工具の装着方法を提供すること。
【解決手段】マシニングセンタは、刃部９１と真空吸着可能にテーパ状に形成された被当接部９３と円柱状の軸部９２とを有する回転工具９の被当接部９３をスピンドル主軸３３の一端の当接部５３に負圧により迅速かつ容易に吸着して装着するとともに、軸部９２を空気静圧軸受ユニット６１等の支持機構により回転可能に支持することで高速回転する回転工具９の振れを効果的に抑制する。 （もっと読む）

【課題】工作機械へ迅速かつ容易でありながら、超高速で回転させても工具の振れが抑制できる回転工具の装着方法を提供すること。
【解決手段】マシニングセンタは、刃部９１と真空吸着可能にテーパ状に形成された被当接部９３と円柱状の軸部９２とを有する回転工具９の被当接部９３をスピンドル主軸３３の一端の当接部５３に負圧により迅速かつ容易に吸着して装着することで、工作機械へ取付を迅速かつ容易とし、高速回転する回転工具９の振れを効果的に抑制する。 （もっと読む）

【課題】非接触で、加工途中のワークなどを精度高く、かつ、リアルタイムで輪郭形状を数値的に測定可能とする光学的なエッジ検出装置を提供すること
【解決手段】本発明のエッジ検出方法は、光源モジュール１１と、０次光の光量を遮光するアンチピンホールフィルタ２５とを備えた投影光学系を備えるレンズ鏡筒１３と、撮像素子２６と、コンピュータとを用い、光源モジュール１１の平行光を遮るように置かれたワーク１７の投影画像を撮像素子で撮像し、コンピュータは、エッジ近傍の信号強度を判定し、２本の帯状の高輝度の部分に挟まれた低輝度の線状部分をエッジと判定するエッジ判定の手順を実行する。そのため、ワークのエッジを正確に検出でき、これを画像処理により数値処理することでＣＡＤやＮＣ制御と連動させることができる。 （もっと読む）

【課題】
チャックテーブルのチャック面にリング状の摩耗残りや偏摩耗が発生するのを防止し、クリーナストーンのエッジ部によるチャック面の摩耗損傷を防止する。
【解決手段】
クリーナストーン４００が複数の分割ストーン４１０、４２０から構成され、分割ストーン４１０、４２０はチャック面２１０に着地したときにチャック面半径方向に沿うように縦列配置されると共に、分割ストーン４１０、４２０同士の相隣接する端部４１１、４２１がテーブル回転方向で重なり合うように配置されている。また、ストーン押し付け機構６００は、ストーンホルダ５１０、５２０のテーブル回転方向上流側端部５１１、５２１を、回転方向上流側へ延出された片持ちの板バネ６２１、６２２によって、チャック面２１０に弾性的に近接及び離反するよう、弾性支持する。 （もっと読む）