【課題】全体形状と局所的形状とを両方とも精度良く計測する。
【解決手段】プロジェクタ１は物体Ｍ上に映像を投影する。撮像装置２はプロジェクタ１によって物体Ｍ上に投影された映像を、プロジェクタ１とは異なる角度から撮像する。ステージ３及びステージ駆動装置４は、物体Ｍとプロジェクタ１及び撮像装置２との間の所定方向の相対走査を実行する。記憶部６には、ステージ３及びステージ駆動装置４による相対走査を実行しつつ、プロジェクタ１によりＹ軸方向に延びるスリット像を基準となる物体Ｍ上に投影させたときに撮像装置２によって撮像される動画像も記憶されている。制御部９は、ステージ３及びステージ駆動装置４による相対走査を実行しつつプロジェクタ１により記憶部６に記憶された動画像を計測対象の物体Ｍ上に投影させるとともに、撮像装置２により物体Ｍ上に投影された動画像を撮像させる。 （もっと読む）

【課題】物体の形状を簡易な構成にて効率的に検査する。
【解決手段】形状検査装置１００の位置制御部１２２は、光源を移動させることにより、検査対象となるＳＩＰのピンから光源に向かう方向である光源方向を変化させる。位置特定部１２４は、ピンから反射される光の方向（反射方向）と、ピンから視点に向かう方向（視点方向）が一致するときの光源の位置を特定する。このとき、光源の移動速度と光源の移動時間に基づいて光源の位置を計算する。平面傾斜算出部１３０は反射方向と視点方向が一致するときの視点方向と光源方向に基づいて、ピンの傾きを算出する。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターンが形成された試料の表面を撮像して得られる検査画像において、この繰り返しパターンに対応して繰り返し現れる単位パターンのそれぞれの対応する部分同士を比較することにより、試料の表面に存在する欠陥を検出する欠陥検査において、一部のパターンが欠けた不完全な単位パターンにおいても欠陥検出を可能にする。
【解決手段】試料１００の繰り返しパターンに対応して試料の撮像画像に繰り返し現れる単位パターンＤ１〜Ｄ４のそれぞれの対応する部分同士を比較することにより欠陥を検出する欠陥検査欠陥検出装置５０において、各単位パターンの領域Ｄ１〜Ｄ４を複数のフレームに分割したフレーム（１〜３２）の単位で欠陥検出処理を行う対象領域を指定する。 （もっと読む）

【課題】被検査成形品の外周部に生じた微小なバリを正確に検出して成形品の良否を判定できるとともに、被検査成形品に対する汎用性が高いバリ検出方法を提供する。
【解決手段】成形品のバリ検出方法は、被検査成形品２のバリ２１ａを有するＶ形溝の山部２１を、山部２１を照らす平行光透過照明器１に対向して山部２１の接線方向に配置されたカメラ３によって被検査成形品２を回転させながら複数箇所において連続的に撮影し、撮影した複数の画像に処理を施してバリ２１ａを検出するものである。この処理は、連続的に撮影した複数の画像の中から、二つの画像を選択して比較し、この二つの画像を重ねたときの明るさが異なる部分の大きさを用いてバリ２１ａの有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑制しつつ歪目印の検出確度を向上させる。
【解決手段】ブリルアン後方散乱光解析にて歪分布データε(X）を得る歪観測システム４０において、入射光パルス幅Ｓ相当の固定ピッチＹで光ファイバ２３を鞘体２４などの可撓性長尺支持体に固定した光ファイバセンサ５０には、標本化ピッチＤと入射光パルス幅Ｓ及び固定ピッチＹとの中間の歪目印部長Ｎを持つ強歪εn の歪目印部５２を点在か散在させ、歪分布データε(X）を処理する二次演算部には、歪分布データε(X）から分別幅Ｎｎ（Ｎ≦Ｎｎ＜Ｓ，Ｙ）より幅Ｗの短いパルス状波形部分を抽出して歪目印位置Ｘｎを特定する歪目印検出手段と、その歪目印に基づいて歪分布データε(X）に位置修正処理を施す位置修正手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】連続的にピッチが変化する繰り返しパターンを持つ電極に対して、従来方法でも検出できていた欠陥はもとより、従来方法では見逃していたあらゆる形態の欠陥についても、安定して確実に検出することができる電極検査方法を提供する。
【解決手段】連続的にピッチが変化する繰り返しパターンを持つ電極に対して、ピッチを規定する情報をピッチテーブルメモリに記憶し、ピッチテーブルメモリからピッチ情報を読み出し、そのピッチ情報を基に撮像画像における電極の繰り返しピッチだけ離れた画素の濃度をＦＩＦＯメモリに記憶し、ＦＩＦＯメモリから読み出された画素濃度をサブピクセル処理し、さらに繰り返しピッチの小数部分に対応する画素濃度を求めるサブピクセル処理をし、それらのサブピクセル処理により得られた画素濃度を基にして繰り返しピッチ離れた画素を比較処理し、その比較結果から欠陥部を抽出する。 （もっと読む）

【課題】アライメントエラーによる検査エラーを引き起こすことなく欠陥検査を行うことができる欠陥検査方法、欠陥検査装置、及びパターン抽出方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一形態の欠陥検査方法は、パターニングがされた検査対象の欠陥検査を行う欠陥検査方法であり、前記検査対象（３０）のパターンデータまたは画像からアライメントを行うことが可能な形状を有するパターン（５０）を抽出し、このパターンを用いて前記検査対象の局所領域のアライメントを行う。 （もっと読む）

【課題】
高速周期動作をしている計測対象（ＭＥＭＳ）の形状を計測するためには干渉縞強度を得るために露光時間を長くとる必要があり、これにより計測時間が非常に多くなる問題がある。
【解決手段】
ストロボ位相シフト干渉装置において、光路差を設定し、設定した光路差に対し３点以上の複数位相で動作中のＭＥＭＳの高さを計測し、動作状態のＭＥＭＳの高さ軌跡の推定式を算出し動作状態のＭＥＭＳの形状を計算により求める。 （もっと読む）

【課題】 従来の方法で問題となっていた誤差および誤検出を解消し、組付け精度を向上させることができるロータリエンコーダの回転スリット板組付け方法および装置を提供する。
【解決手段】 ロータリエンコーダの回転スリット板組付け方法は、仮組みロータリエンコーダを少なくとも１周分回転させて振れおよび変位を計測するステップと、この少なくとも１周分の回転時の時間と振れ変位との関係をサンプリングするステップと、サンプリングによって得られたデータから振れの最大変位を求め、これより若干小さい値を閾値として設定するとともに、閾値を超える時間ΔＴを演算するステップと、仮組みロータリエンコーダをさらに回転させ、閾値を超えた後さらに時間ΔＴ／２経過した位置を最大変位位置とするステップとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】複数のカメラを使用することなく、正確な距離測定を行うことができる距離測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、プロジェクタ３及びカメラ４の光軸を一致させ、プロジェクタ３によって距離測定面に投影された投影オブジェクトをカメラ４により撮影し、この撮影された投影オブジェクトのカメラ画像内における位置に基づいて、距離を測定する。 （もっと読む）

【課題】 単独で発生する異常と複数チップで同時に発生するパターン欠陥の両方を検出することを目的とする。
【解決手段】 像面傾斜によるレジストパターン異常のように、ウェハの同一行または列に同様のパターン異常が生じているような場合であっても、検査対象となるチップに対するウェハの同一行または列での画像比較検査に加えて、この方向に対して垂直方向に隣接するチップとも画像比較検査を行なうことにより、単独で発生する異常と複数チップで同時に発生するパターン欠陥の両方を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】移動の目印として適切なランドマークを利用することにより、精度よくかつ効率的に自己位置を特定することのできる移動ロボットを提供する。
【解決手段】ランドマークに基づいて移動する移動ロボット１であって、移動した先のロボット位置において、ランドマーク候補を検出するランドマーク候補検出手段１１２と、ランドマーク候補に対する至ランドマーク距離を特定する至ランドマーク距離特定手段１１４と、至ランドマーク距離に基づいて、ランドマーク候補に対する適切性評価値を算出する適切性評価値算出手段１１４と、ランドマーク候補の適切性評価値と、ランドマーク格納手段１０３において登録ランドマーク対応付けて格納されている適切性評価値とに基づいてロボット位置を特定するロボット位置特定手段１１８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 電車線の全線に亘って、信頼性を損なうことなく自動的且つ効率的に耐摩耗材の摩耗量の計測を精度良く行なうことができる摩耗計測装置を提供する。
【解決手段】 電気駆動の車両と接触する接触面８を備え、接触面８と接触しながら走行している車両に電力を供給する電車線７に対し、レーザスリット光５を照射するレーザ発信器２と、電車線７上に照射されたレーザスリット光５のレーザ軌跡６を撮影するカメラ３と、カメラ３が撮影した画像データを取り込み、画像データを基に電車線７の磨耗量を計算する画像処理装置４とを備えた磨耗量計測装置において、電車線７は、接触面８の長手方向に延びる端縁から接触面と逆側に延在する面９ａ，９ｂと、延在する面９ａ，９ｂ上に基準点１１ａ，１１ｂとを備え、レーザスリット光５が、接触面８と、１つの延在する面９ａ，９ｂとに照射される位置にレーザ光発信器２を配置し、基準点から接触面までの距離を画像データとして画像処理装置４に取り込んで計算し、磨耗量を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 振動に対する敏感さを低下させた光学系の評価装置を提供する。
【解決手段】 光学系１の光軸評価装置Ａは、表示領域を有する表示器８と、光学系１から基準面上に投影された像を、表示領域上の基準位置に常に表示させる投影像捕捉装置３とを備える。投影像捕捉装置３は、光学系から基準面に投影された像を撮像する光学検出器５と、この撮像画像を、表示領域上の基準位置に表示させる捕捉制御器７とを備える。さらに、捕捉制御器７は、低倍率の撮像画像を受けて、光学系１を光学検出器５に対して相対的に調整可能に位置決めする位置決め部７０であって、投影像が、第１の検出領域上の特定領域内に位置するように動作する、位置決め部７０と、高倍率の撮像画像を受けて、表示器８の表示領域の基準位置に投影像の画像を表示させることにより、投影像の表示領域上における揺れを抑制する投影像揺れ抑制部７２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 基板のプリント状態を精密に検査することができる基板検査装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、プリントヘッドによってプリントされた基板のプリント状態を検査する基板検査装置に関し、プリント前の前記基板及びプリント後の前記基板を撮影するカメラユニットと；前記カメラユニットによってプリント前の前記基板を撮影した第１映像及びプリント後の前記基板を撮影した第２映像を受信し相互比較して前記基板のプリント状態の良否を判断する制御部とを含む。 （もっと読む）

画素のマトリックスを形成する複数の画素であって、グレー値などの技術的な数値を発生させる前記画素により画像１２’を生成するカメラ１８と、表面１２の状態を検出するために前記画素のデータを処理するコンピュータ２６とにより、ｎ＋１の繰返しパターン１６を有する前記表面１２を検査する方法である。方法は、検査すべき画素（検査画素）の各値を基準画素の値と比較すること、および前記画素の比較の差が検査の結果を決めること、を含む比較ステップからなる。
本発明は、前記画像１２’に関するマトリックスの画素の値のみが、前記表面１２の状態を検出する前記基準画素の前記値の基礎となることを特徴とする。

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