【課題】電気的なセンサとは異なる構造によってアクチュエータの動作を検出できる動作検出センサを提供する。
【解決手段】変形動作するバルーンアクチュエータ１２に検出用流路２が設けられている。検出用流路２は、動作するバルーンアクチュエータ１２の動作に応じて変形することで、通過させる流体の流路抵抗が変化する。そして、流路抵抗の変化による前記検出用流路２を通る流体の流量の変化を測定手段３が測定する。 （もっと読む）

【課題】耐久信頼性を向上することができるとともに、コストを低減することができる機械の旋回運動精度測定装置を提供する。
【解決手段】工作機械のベッドに設けたワーク支持テーブルに対し基準リング３４を取り付ける。工作機械の主軸装置に装着した主軸２２にエア噴射ノズル２５を取り付ける。エア噴射ノズル２５から基準リング３４の基準内周面３４ａにエアを噴射しつつ、主軸２２を旋回軸線Ｏ３を中心として旋回半径Ｒ２２で旋回するとともに、主軸２２を回転させてエア噴射ノズル２５を基準内周面３４ａの法線方向に指向する。エア噴射ノズル２５の先端部２５ａの先端面から基準内周面３４ａまでの隙間Ｇの距離Ｄｇを前記エア噴射ノズル２５から噴射されるエアの圧力変動によって測定する。前記隙間Ｇの距離Ｄｇの変化によって主軸２２の中心軸線Ｏ１の旋回軌跡Ｋの旋回運動精度を演算する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、加工品の表面上のレジストの種類または露光波長に関係なくどのような環境でも使用でき、かつ外部ノイズに対して実質的に影響を受けない流体ゲージ近接センサを提供することである。
【解決手段】前記課題は、変調された単方向の流体の流れまたは交番的な流体の流れのソース、およびノズルと流量センサまたは圧力センサとを有する少なくとも１つの経路が設けられており、該流体はノズルとターゲットとの間のギャップに存在し、該流量センサまたは圧力センサは、該ギャップの大きさにしたがって変化する振幅変調された信号を出力することを特徴とする流体フロー近接ゲージによって解決される。 （もっと読む）