表面測定用の流体近接センサである。この流体近接センサは、測定ノズル（２０５）を備える測定チャンバ（２１０）と、基準ノズル（２２５）を備える基準チャンバ（２２０）と、基準チャンバと測定チャンバとの間のインターフェイスを形成するダイアフラム（２１５）を有する。測定ノズルおよび基準ノズルを取り囲むシュラウド（２８０）によって、シュラウドと測定されている加工面２９０との間の周辺ギャップ（２９５）が設けられる。部分真空源または部分流体源をシュラウドに接続することによって、シュラウドの内圧を上昇または低下させることができ、それによって、近接センサのゲイン−周波数動作レジームが最適化される。差圧変化に応じたダイアフラムの動きは、光学的、容量性、または誘導性手段（２７５）によって検知することができる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で安価なうえ、応答性がよく、熱影響により検出精度が低下することがない流路閉塞度検査装置を目的とする。
【解決手段】被検査物の連通流路内に吹き込まれたパルスエアが外部開放口Ｈより流出する際の風速に基づいて連通流路の閉塞を検知する孔閉塞検査装置であって、被検査物の外部開放口から噴出されるエアを導入するエア導入孔１１とエアの排出孔１２とを備えた貫通流路１３を形成し、風速により変位する撓み板１４をエアの流れを阻害しない隙間をもたせて前記排出孔１２の出口に配設し、前記撓み板１４の変位に基づいて排出孔１２を通過する風速を検出するもので、応答性が良好なうえ、熱による影響が少なく閉塞度の検出精度の低下を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】水ファントム中における放射線検出器の移動水平度の確認が容易に確認できるとともに水平度が数値データとして得られる水平度検知具の実現。
【解決手段】水に浮き、側面に上下の動きを見るためのマーク12が付された浮動子11を上下方向可動に収納する筒体13の側面に前記マーク12の上下動を視ることのできる窓14を設けるとともに、この筒体13を水ファントムの３次元走査器の走査部に取り付けるための取付け部15を設け、前記窓には電子カメラ16を取り付け、前記マーク12を撮影した画像情報をケーブル17を介してコンピュータ18へ送り、その画面上に走査部の位置に対するマーク12の上下位置の数値データを表示させたり、走査部の移動方向とマークの移動方向を直交軸とする座標上にマークの移動軌跡を表示する。 （もっと読む）