【課題】エア使用量を削減することができるエアマイクロシステムを提供する。
【解決手段】エアマイクロメータ１３と測定具１４の間に電磁弁４１を設ける。空気源１１に第二レギュレータ５３を介して接続されたエアセンサ５５は、通流するエアの変化を検出して電磁弁４１へ伝達する。例えばエアセンサ５５の通流量が所定値を超えた際に、その旨を電磁弁４１へ出力すると、電磁弁４１は閉弁して測定具１４へのエアの供給を遮断する。測定具１４の支持板上面にジェットノズル１０１を設け、エアセンサ５５からのエアをジェットノズル１０１の吹出口１０２からワークの下端面へ吹き付ける。測定具１４からワークが取り外されて吹出口１０２が開放されると、エアセンサ５５のエア流量が増大するので、電磁弁４１が測定ヘッドの噴出口８４へのエアの供給を遮断する。 （もっと読む）

【課題】 浮上用構造体またはこれを備えた可動体が案内支持体と接触しないように確実に制御することができ、可動体と案内支持体の間隔を高い精度で検知し、この間隔を確実に維持できるようにすること。
【解決手段】 浮上用パッド３を含むスライド部材と、浮上用パッド３へ気体を供給する気体供給手段（コンプレッサ１０５、第１の調圧弁１０４および第２の調圧弁１０２を含む）と、気体排出口６からの排気流量を測定する流量測定手段（体積流量計１０１、アンプ１０６、Ａ／Ｄ変換器１０７およびコンピュータ１０８を含む）と、この流量測定手段で測定した排気流量に基づいて気体噴出口６から後記する案内支持体への気体噴出量を制御できるように構成した制御手段（コンピュータ１０８およびＤ／Ａ変換器１０９を含む）とを備えてなるステージ装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの複数の被検査孔部に対する内径同時検査を単一の測定ヘッドで同時実施できて能率向上を図る。
【解決手段】測定ヘッドＳには、複数の被検査孔部ｈ１〜ｈ９に対応してヘッド外周面に両端が開口するように、ヘッドＳを軸方向に間隔をおいて横切る複数の横通路ｙ１〜ｙ９と、それら横通路に内端が開口し且つ外端がヘッドＳの端面まで軸線方向に沿って直線状に延びる複数の縦通路ｔ１〜ｔ９とが形成され、複数の縦通路ｔ１〜ｔ９は、ヘッドＳの軸線と直交する投影面で見て、周方向に互いに間隔をおいて環状に配列され、複数の横通路ｙ１〜ｙ９は、前記投影面で見て、孔Ｗｈの中心と複数の縦通路ｔ１〜ｔ９とを各々結ぶ相異なる複数の直径線に沿って直線状に延び、更に測定ヘッドＳには、縦通路ｔ１〜ｔ９の外端部を外気から遮断して複数の気体導管Ｌ１〜Ｌ９に個別に連通させる圧縮気体導入手段ＳＡが設けられる。 （もっと読む）

【課題】 ブローを停止してからワークの着座状況を検出するまでに要する時間を短くし、しかも誤信号を出力しない位置確認装置を提供する。
【解決手段】 圧縮検出エアを導く検出流路２２と、圧縮ブローエアを導くブロー流路２３と、テーブルに形成した噴出口に接続する共通流路２８と、検出流路２２およびブロー流路２３のいずれか一方を共通流路２８に連通させ、いずれか他方を共通流路２８から遮断する切換弁２９と、検出流路２２の圧力を検出する圧力検出部Ｓと、検出流路２２、ブロー流路２３および共通流路２８のいずれか１または複数を大気に連通するとともに、当該流路内に滞留する圧縮ブローエアを大気に排出する排気手段３０とを備えた位置確認装置において、上記切換弁２９を、制御機器からの信号に応じて切り換え動作する電磁切換弁で構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、近接センサヘッドのドリフトが該近接センサの精度に及ぼす影響を低減するための自己補償メカニズムを含む格納式の近接センサを提供することである。
【解決手段】前記課題は、基準面スタンドオフと測定面スタンドオフとの間の差を検出する格納式の近接センサを、近接センサハウジングが支持する構成によって解決される。 （もっと読む）