【課題】従来にない画期的な流量式空気マイクロメータを提供する。
【解決手段】空気供給源１と連結する供給側継手２と、測定ヘッド３ａを有する測定部３と連結する排出側継手４とを供えた本体部Ａに、フロート14を内設したテーパ管５を、上流側を下側に下流側を上側にして立設し、このテーパ管５の上流側を供給側空気路６を介して供給側継手２と連通し下流側を排出側空気路７を介して排出側継手４と連通した流量式空気マイクロメータにおいて、前記テーパ管５より径大にして天部が閉塞した外管８をこのテーパ管５に被嵌状態にして本体部Ａに立設してこの外管８とテーパ管５間に空隙部ｓを形成し、この空隙部ｓの上流側にして上部を前記テーパ管５の下流側である上部と連通し、この空隙部ｓの下流側にして下部を本体部Ａに設けた排出側継手連通路９を介して排出側継手４と連通して、この空隙部ｓ及び排出側継手連通路９を前記排出側空気路７として構成する。 （もっと読む）

比較的長くかつ薄いオリフィスを備えた細長いノズルを有する測定プローブの間の極めて小さな距離を正確に検出するためのシステム及び方法。近接センサは、一定ガス流を使用し、極めて小さな距離を検出するためにニューマチックブリッジ内の質量流量を検出する。システム及び方法は、多孔質材料から形成された流れ制限器及び／又はスナッバ、及び／又は質量流量制御装置を使用し、これらは、様々な組み合わせにおいてナノメートルからサブナノメートルの範囲での極めて小さな距離の検出を可能にする。
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