【課題】 大きさにばらつきのあるウェハであっても、その回転中心のずれを測定し、このずれを高速に補正することにより、その平坦度を高速高精度で測定できるようにする。
【解決手段】 板材１４を保持しながら回転させ、その回転角度と外形とを測定して、板材１４の形状をもとに、この板材１４自体の中心からその回転中心までの位置ずれを算出する。板材１４を回転させたときに、この板材１４の面の方向に走査する変位センサによって、板材１４の回転中心を原点とする座標系についての複数の測定点において、変位センサから板材１４の表面までの距離または距離の変化を測定する。前記算出した位置ずれにより、変位センサによる測定点の位置データを、板材１４自体の中心を原点とする座標系に補正する。補正した位置データに基づいて、板材１４の表面における厚さむらおよび反りを算出する。 （もっと読む）