【課題】一台でキメ深さやＩＲＩを測定できる多機能の路面性状測定装置であって安価かつ高精度なものを車載可能とすべく、移動距離計の測定値からタイヤ変形等の悪影響が取り除かれるようにする
【解決手段】車両に移動距離計１５と高さ計１６と高さ計５１と演算部２０とを搭載する。高さ計１６，５１には、排水用凹部の開口幅より短い第一基準長Ｎに対応した狭い範囲を測定するものを、採用する。演算部２０は、移動距離測定値ΔＳと高さ測定値Ｋ，Ｊとに基づき踏面算出を行って第二基準長Ｍ対応のＩＲＩを算出し、移動距離測定値ΔＳと高さ測定値Ｋとに基づき踏面算出を行わないで第一基準長Ｎ対応のキメ深さ等を算出し、更に基準長Ｍだけ離れた高さ計１６，５１での路面形状について相関を算出して選択的に移動距離測定値ΔＳを校正する。 （もっと読む）

【課題】実体基準を用いずに複数の変位センサにより、形状情報と測定の際の運動誤差を同時に検出し、演算処理でそれらを分離し取り出すことができる逐次３点法における零点誤差補正方法及び零点誤差補正装置を提供する。
【解決手段】
逐次３点法により、被測定物１００、変位センサ３１〜３３を相対移動させて、変位センサ３１〜３３の検出出力に基づき、逐次３点法による被測定物１００の表面形状を演算する。被測定物２００を反転する前及び反転した後のそれぞれにおいて、被測定物１００，２００と、変位センサ４１，４２，３２を相対移動させて、該変位センサの検出出力に基づいて、反転法による被測定物１００の表面形状を演算する。逐次３点法と反転法による被測定物１００の表面形状の演算結果に基づいて零点誤差補償量を算出し、該零点誤差補償量により、逐次３点法による零点誤差補正を行う。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡易な構成の装置により、簡便な手順で高精度に３次元形状測定を行うことができる３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】被測定物２００を所定の回転軸ＡＸの周りに回転させる回転工程と、回転軸ＡＸと略直交する方向について、第１の位置Ｘ＝−Ｌから回転軸ＡＸまで被測定物２００の形状を測定する第１測定工程と、回転軸ＡＸと略直交する方向について、回転軸ＡＸから第２の位置Ｘ＝Ｌまで被測定物２００の形状を測定する第２測定工程と、第１測定工程で得られた第１の測定データと、第２測定工程で得られた第２の測定データとに基づいて回転軸ＡＸの回転誤差を補正するための回転誤差パラメータを算出する補正値算出工程と、補正値算出工程で算出された回転誤差パラメータに基づいて被測定物２００の形状を補正する補正工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 連続搬送される長尺光学フィルムを連続的に精度よく検査することができるフィルム検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】 光学フィルム検査装置は、光学的入力手段2を移動させる駆動手段10と、フィルム被検査箇所Tの検査用基準位置からの変位量を計測する変位量計測手段4と、変位量計測手段4の出力に応じて光学的入力手段2の駆動量を決定する駆動量決定手段11とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 被処理物を、熱板に接近させて行う熱処理において、被処理物と熱板との距離を推定できるようにする。
【解決手段】 被処理物としてのワークが載置されて熱処理される熱板１の温度情報、例えば、熱板１の温度の傾きの絶対値に基いて、距離推定手段７でワークと熱板１との距離を推定し、推定した距離と閾値とを判定手段８で比較することによって、異常の有無を判定するように構成している。 （もっと読む）

【課題】 回転体の機械的誤差による影響を低減可能な回転角度検出装置及び内燃機関の運転制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の回転角度検出装置２０は、内燃機関１のクランクシャフト８に取り付けられ、かつ複数の歯部２１ａが回転方向Ｄに沿って設けられた回転体２１と、各歯部２１ａの前側エッジＥｆ及び後側エッジＥｂのそれぞれを検出可能な電磁ピックアップ２２及び波形整形器２３と、を備え、検出された前側エッジＥｆ又は後側エッジＥｂのいずれか一方を基準にしてクランクシャフト８の回転角度を検出する。そして、隣接する歯部２１ａ間の角度で、前側エッジＥｆを基準とした角度θｆと、後側エッジＥｂを基準とした角度θｂとを算出し、これらの誤差Δθｆ，Δθｂを比較して、前側エッジＥｆ又は後側エッジＥｂのいずれか一方を回転角度の検出の基準として設定する。 （もっと読む）

【課題】 移動手段の走査動作隙間を検出して変位検出器の値を補正し、前記走査動作の機械的正確さを追求することに負荷を必要としない高精度の測定方法を提供する。
【解決手段】 円筒体を中心軸回りに回転させ、前記中心軸直角断面上に配置され、円筒体の表面変位を計測する変位検出器を移動手段により前記中心軸方向に移動させ、前記変位検出器から得られた所定の位置での複数の検出信号を演算して円筒形状を測定する方法において、前記変位検出器は、第１の変位検出器と、前記第１の変位検出器の移動方向と反対に配置された第２の変位検出器とを有し、前記第２の変位検出器によって前記第１の変位検出器と同一の点を測定し、それぞれの測定値の差から前記移動手段の走査動作隙間を検出して前記第１の変位検出器の値を補正する。 （もっと読む）

【課題】 検出器を回転させて測定を行う場合でも、検出器の回転角度位置に応じた最適な補正が行える表面性状測定機およびその真直度補正方法を提供する。
【解決手段】 粗さ検出器が異なる回転角度位置に設定された各回転角度位置に対応して、Ｘ軸駆動装置の各移動位置での検出器補正データを補正データ記憶部に記憶する補正データ記憶工程と、測定時に、検出器回転ユニットによって粗さ検出器が被測定物の測定面に対応する回転角度位置に設定され、かつ、触針が被測定物の測定面に接触された状態において、Ｘ軸駆動装置を駆動させながらＸ軸駆動装置の各移動位置および粗さ検出器の変位量を測定データとして取り込む測定データ取得工程と、測定時における粗さ検出器の回転角度位置と一致または最も近い回転角度位置に対応する検出器補正データを補正データ記憶部から読み出し、測定データを補正する補正演算工程とを備える。
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【課題】 傾斜角度検出手段の出力が飽和することに起因して、その飽和状態からの復帰後も演算手段の演算による傾斜角度が異常値を示すことを回避する。
【解決手段】 移動体Ａの傾斜角度を検出する傾斜角度検出手段４５の出力と、その傾斜方向での移動体Ａの角速度を検出する角速度検出手段４６の出力とに基づいて、移動体Ａの傾斜角度を演算する演算手段４８を備えた傾斜角度計測装置を、予め設定した閾値に基づいて傾斜角度検出手段４５が飽和状態か否かを判別し、傾斜角度検出手段４５が飽和状態でない場合には、演算手段４８が、角速度検出手段４６の出力に対する演算処理を行って、角速度検出手段４６の出力に基づく演算値を更新し、傾斜角度検出手段４５が飽和状態である場合には、演算手段４８が、角速度検出手段４６の出力に対する演算処理を停止して、角速度検出手段４６の出力に基づく演算値を固定するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 移動体の位置検出ポイントが広い間隔をあけて複数存在する場合でも、移動体を高い精度で位置決めすることができる駆動装置を提供する。
【解決手段】 磁界を発生させる磁界発生部材７と、磁界を検出する第１，第２，第３の磁界検出素子６Ａ，６Ｂ，６Ｃから成る磁界検出手段６と、磁界発生部材７を移動させる圧電アクチュエータＰとを備える。磁界検出手段６での検出結果に基づいて磁界発生部材７と磁界検出手段６との相対的な位置決めを行う際、磁界発生部材７が移動する可動範囲において、所定領域では第１，第２の磁界検出素子６Ａ，６Ｂの検出結果に基づいて第１の位置決めを行い、所定領域から離れた所定ポイントでは第３の磁界検出素子６Ｃの検出結果に基づいて第２の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】車両の設置位置が標準位置から大きくずれている場合であっても確実且つ高精度にトー角度を測定する。
【解決手段】トー角度測定装置１０における測定ユニット１８は、車両１４のハブ１６を着座台４８に着座させると共に、第２ベース部材３６に対して車幅方向及び平面視回転方向に移動自在な着座テーブル４６と、該着座テーブル４６から外側方に向かって延在する鉛直な測定面６８を備える被測定部材７０と、第２ベース部材３６を基準として測定面６８に対向するように設けられ、間隔ｙ１だけ離れた２箇所から測定面６８に対する距離ｘ₁、ｘ₂を計測する非接触距離センサ６２ａ、６２ｂとを有する。測定面６８は、車幅方向に対して角度βの鋭角をなす向きに設定されている。 （もっと読む）

【課題】 半導体集積回路のパターン密度に起因する寸法変動を検査可能なパターン抽出システムを提供する。
【解決手段】 リソグラフィ許容度を基に、回路パターンから複数の検査候補パターンを抽出する抽出部301と、複数の検査候補パターンのそれぞれを、隣接するパターンとのスペース距離を基に複数のスペース距離群に分類するスペース分類部303と、複数の検査候補パターンのそれぞれを、周辺のパターン密度を基に複数のパターン密度群に分類する密度分類部305と、複数のスペース距離群及び複数のパターン密度群のそれぞれに分類された複数の検査候補パターンのサンプル数を示すテーブルを作成するテーブル作成部306とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、補正を行う機会を増やすことができる車載検出装置の出力補正装置の提供を目的とする。
【解決手段】 コーナリング時に変化する車両状態量（ヨーレート、操舵角）の検出をする車載検出装置の出力値を零点補正する車載検出装置の出力補正装置において、前記零点補正に確実に直進している期間であるＥＴＣレーン９走行中の前記出力値を用いることを特徴とする車載検出装置の出力補正装置。車輪速の検出をする車載検出装置の出力値における左右の車輪速差を補正する車載検出装置の出力補正装置において、前記補正に確実に直進している期間であるＥＴＣレーン９走行中の前記出力値を用いることを特徴とする車載検出装置の出力補正装置。 （もっと読む）

【課題】機械の較正を行うために用いられる装置もしくは機械自身として用いられる装置について記述される。
【解決手段】装置は、２つの構造体を具え、その各々は、その上に三角形状に間隔を置いて配置された３つの支持部を有する。支持部は、ボールもしくはソケットとすることができる。構造体は６つの部材によって相互に接続され、各々の支持部には２つの部材の端部が接続される。較正デバイスとして用いる場合には、部材を伸縮駆動される測定バーとし、構造体をそれぞれ機械の固定部および可動部に接続すれば、機械の部分の変位が構造体間の相対変位を生じさせ、測定バーの長さを変化させる。機械として用いる場合には、部材を構造体の一方によって動力が供給される支柱とする。その構造体は、ワークピースに対し工具またはプローブを相対的に位置づけるべく工具またはプローブを保持して他方の構造体に対し相対的に操作されるものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】小型で簡素な構成により、被測定物の表面と裏面との形状と相対的な位置ずれを測定できる測定用治具を提供すること。
【解決手段】基準軸１１３と略直交する平面からなり、一方の面に形成され、基準軸１１３を中心とした軸対称な形状の第１の基準平面部１１１ｈと、一方の面に形成され、基準軸１１３を中心とした軸対称な形状の球面からなる第１の基準球面部１１１ｒと、基準軸１１３と略直交する平面からなり、他方の面に形成されている、基準軸１１３を中心とした軸対称な形状の第２の基準平面部１１２ｈと、他方の面に形成され、基準軸１１３を中心とした軸対称な形状の球面からなる第２の基準球面部１１２ｒと、被測定物の表面１２１と裏面１２２とが露出するように保持する保持部１１４と、基準軸１１３を回転中心とした回転角度の原点を設定するためのシャフト１１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物（ワーク）の重量により生じる測定誤差を軽減することが可能な真円度／円柱形状測定装置を提供する。
【解決手段】 真円度／円柱形状測定装置１０を、回転テーブル３０の回転軸が、ベース台２０を支える脚２１の上に位置するようにするか、又は隣接する脚（２１Ａ、２１Ｂ）同士を結ぶ直線上に位置するようにする。 （もっと読む）

【課題】 レーザ加工装置において加工ヘッドを被加工面へアプローチする際、アプローチ動作中の状況に応じた迅速で最適な制御を可能にすると共に、制御系の遅れによるオーバーシュートを抑制し、短時間で信頼性よく目標位置に収束させる。
【解決手段】 被加工面位置６ａを検出すると共に、加工ヘッドの位置制御に用いるその時点の位置指令４ａをフィードバックして、アプローチ終了までの上記加工ヘッドに対する残り位置指令分に対応する距離８ａを演算し、この残指令距離８ａに対応する速度指令１３ａを予め設定された最大加速度および最大速度とに基づいて演算し、該速度指令１３ａを位置指令４ａに変換して、加工ヘッドの移動を位置制御する。 （もっと読む）

【課題】蛍光体ペースト塗布工程直後に塗布工程の状態を検査することで塗布工程に発生した連続欠陥の原因となる不具合を迅速に発見し、不良品となりロスとなる基板数を最小限に抑え、速やかに工程を復旧させることを可能にするディスプレイパネルの検査方法および検査装置並びにそれらを用いた製造方法を提供する。
【解決手段】高さ測定手段を有し、基板に所定の間隔で複数本塗布された液状材料と交差する方向へ、基板、または高さ測定手段を移動させながら、液状材料塗布部を含む基板面の高さ測定を離散的に行い、得られた離散高さ形状信号間を補間して求められた高さ形状信号から液状材料毎の高さを抜き出して連ねた高さ信号を検査信号とし、検査信号より液状材料毎の塗布量を測定することを特徴とするディスプレイパネルの検査方法、および検査装置並びにそれらを用いた製造方法。 （もっと読む）

【課題】 角度検査装置において、ケーブル角度調整冶具を使用せずに、任意の角度に正確にケーブルを傾斜させることができるケーブル傾斜手段と、ケーブルの傾斜角度を正確に測定することができるケーブル角度測定手段によって、ケーブル巻上機に取り付けられた角度測定器の検査を行うことができる。
【解決手段】 ケーブル巻上機１０の支点１２から吊下げられたケーブル１４が、支点１２を中心にケーブル１４の他端側が移動したときのケーブル１４の傾斜角度を測定する測定器１７の角度検査装置２０であって、ケーブル１４を傾斜させるケーブル傾斜手段と、測定器１７とは別個に、傾斜されたケーブル１４の傾斜角度を測定するケーブル角度測定手段と、測定器１７により測定した傾斜角度及び／又はケーブル角度測定手段により測定した傾斜角度とを表示する制御手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】回転体の回転軸受け部の外径の変動と、回転体の測定部の外径の変動と、測定時の測定開始時点からの回転角度とを同時に計測し演算処理を活用することにより、高精度な振れ測定を行うことができ、振れによる悪影響を容易に評価可能にする。
【解決手段】胴部１ｂとジャーナル部１ａとを有する現像ローラ１の振れを測定する装置に関する。現像ローラ１のジャーナル部１ａをチャックするエアーチャック２６と、現像ローラ１をエアーチャック２６を介して回転させるためのモータ２３及びギヤ２３ａと、現像ローラ１の回転角度を検出するロータリエンコード２４と、胴部１ｂの外周の測定基準からの変化量情報及びジャーナル部１ａの外周の測定基準からの変化量情報に基づいて、振れ量を演算処理するコンピュータ２５とを備えている。 （もっと読む）