【課題】 本発明は走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離測定方法及び装置に関し、探針先端と試料表面が接触せず、高速でアプローチする、走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離測定方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 探針６を使用して試料１表面を走査し、試料１表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう原子間力顕微鏡であって、探針６と試料１表面の距離を近づけるための第１段階の高速アプローチと第２段階の精密アプローチを組み合わせるようにした。この結果、全体として試料表面と探針間のアプローチ時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【目的】試料の表面平面と凹凸部の側壁及び底面の走査を容易且つ正確に行うことができることを目的とする。更に、試料の平面の凹凸部の底角部を死角となることなく正確に操作できるナノチューブプローブを提供する。
【構成】カンチレバー部２に長軸状の突出部３が設けられ、この突出部３の先端部の側部に平坦面３ａが形成され、この側部平坦面３ａに突出部３の軸線方向に対して先端が斜め傾斜方向に突出するようにナノチューブ４ａ、４ｂが配置され、このナノチューブ４ａ、４ｂの基端部が側部平坦面３ａにコーティングあるいは融着により固定され、ナノチューブ４ａ、４ｂの先端を探針として用いる。 （もっと読む）

【課題】走査範囲を大きくでき、しかも高精度に試料の観察を行うことができる走査型プロ−ブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針１と、探針１の位置を検出する位置検出器２と、探針１を試料Ｓに対して直交する方向に変位させる変位機構３と、変位機構３をＺ軸に対して直交するＸ軸方向に移動させる走査機構４と、変位機構３をＺ軸及びＸ軸に対して相互に直交するＹ軸方向に移動させる走査機構５とを備えた走査型プローブ顕微鏡である。変位機構３をＺ軸方向に伸縮する圧電素子１０にて構成する。走査機構４を、Ｙ軸方向に伸縮する圧電素子１１と、圧電素子１１の伸縮をＸ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１２にて構成する。走査機構５を、Ｘ軸方向に伸縮する圧電素子１３と、圧電素子１３の伸縮をＹ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１４にて構成する。 （もっと読む）