【課題】構造物の位置決め精度の低下を抑制できる位置決め装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の第１の側面は、位置決め装置に係り、移動体と、前記移動体の上に配置された構造物と、前記移動体に対して前記構造物を移動させる電磁アクチュエータと、を備え、前記電磁アクチュエータは、前記構造物に対して水平方向及び鉛直方向の力を与える複数のリニアモータユニットを含み、前記複数のリニアモータユニットは、前記構造物に対して水平面内で直交する２軸の各軸周りの回転方向、及び鉛直方向の軸周りの回転方向の力を与えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】誤った欠陥検知または、検査感度の損失を引き起こすことのない基材支持の装置及び方法を提供する。
【解決手段】ステージミラー１１０に対する基材チャック１０６の変位を感知し、ステージミラーへ結合されているＺステージアクチュエータ１２６及びＸＹステージアクチュエータ１４６、１４８のうちの一方又は両方を有する１つ以上のフィードバックループにおける変位に比例する信号を結合することによって、ステージミラーに対する基材チャックの運動が動的に補償される。これに代えて、基材支持装置は、Ｚステージプレート1１２、ステージミラー１１０、Ｚステージプレートへ取り付けられている１つ以上のアクチュエータ、及びステージミラーへ取り付けられている基材チャックを含み得る。基材チャックは基材チャックの６つの運動自由度に対する拘束を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度で位置及び運動を制御することができる装置を提供する。
【解決手段】１以上の整流リニアモータであって、リニアモータは、ガイドレスステージを、１つの長い直線方向に動かし、ある平面において、微動のヨー回転を行わせる。単一のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を保持するキャリア／従動子は、長い直線運動の方向に動くステージを概ね追従するように制御される。ＶＣＭは、ある平面において、電磁力を与えて、長い直線運動の方向に直交する直線方向に、ステージを微動させる。これにより、適正なアライメントが得られる。整流型リニアモータの一方の要素（つまり、コイル又は磁石）が、平面上を自在に動くことのできる駆動フレームの上に設けられる。駆動フレームは、反作用力によって駆動され、装置の重心位置を維持する働きを持つ。１つのリニアモータを使用する場合には、２つのＶＣＭを用いて、ヨー回転を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】大きな推力を必要とするアライメント装置を小型化出来、ステージが傾いた場合でも自重による移動がないアライメントステージを提供する。
【解決手段】支持機構を設けた直動ガイド１０３を回転機構１０２が載置し、その回転機構１０２をリニアモータ装置１０１が載置することにより、支持機構を回転・二方向に移動可能とする回転・二方向移動装置Ｉを構成し、この回転・二方向移動装置Ｉを２台備えて、その各リニアモータ装置１０１の固定子駆動軸１０１ｂを共通とし、この固定子駆動軸１０１ｂに各可動子１０１ａを直列配置し、可動子側１０１ａにマグネットＭ、固定子駆動軸１０１ｂ側に電機子Ｃを配置し、かつブレーキをそのブレーキシューがレールの側面に押圧可能となるように可動子１０１ａに配設した。 （もっと読む）

【課題】本発明はθテーブルの回動動作を安定的且つ精密に制御できることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０Ａは、定盤２０と、定盤２０の平面上を移動するステージ３０と、ステージ３０上に載置されたθテーブル４０とを有する。Ｘステージ３８とθテーブル４０との間には、θテーブル４０をθｚ方向に回動可能に支持するピボット軸８０と、ピボット軸８０を回転可能に軸承する軸受８２とが設けられている。一対のθリニアモータ７４は、上方からみるとピボット軸８０を中心に対称となる位置に平行に設けられている。また、θリニアモータ７４は、マグネットヨーク７６がθテーブル４０の側面と同一高さとなるように支持部７９により支持されており、且つ支持部７９が定盤２０より側方に離間した床面上に起立されているため、θテーブル４０をθｚ方向に回動させる際の反力が支持部７９を介して床面に伝播される。 （もっと読む）

【課題】ロッキング装置を具備したＸ−Ｙステージ駆動装置と、これを採用した情報保存機器を提供する。
【解決手段】Ｘ−Ｙステージと、Ｘ−Ｙステージを弾性支持し、Ｘ−Ｙステージのコーナーを支持する弾性ビームを具備する支持部とＸ−Ｙステージを第１方向と、第１方向と直交する第２方向とに駆動する駆動部と、Ｘ−Ｙステージの回転を阻止するスティフナと、スティフナを静電気力で固定するロッキング装置とを具備することを特徴とするロッキング装置を具備したＸ−Ｙステージ駆動装置である。 （もっと読む）

【課題】長ストロークで高い応答性の微動動作が可能であるとともに圧電アクチュエータの破損を防止することができる回転機構付軸方向微動機構を提供する。
【解決手段】粗動機構は、基台に回転可能に支持されたねじ軸と、ねじ軸に螺合し、移動台に固定されたナットとを有し、ねじ軸の回転により移動台を基台に対して軸方向に移動させる。回転機構付軸方向微動機構は、対向配置して予圧を付与した２つの転がり軸受装置と、基台に固定され、転がり軸受装置のそれぞれの外輪が嵌合するハウジングと、伸縮方向に対して直列に配置した２つの圧電アクチュエータとを有し、転がり軸受装置のそれぞれの内輪をねじ軸に嵌合させ、内輪をねじ軸に軸方向に固定し、外輪の一方を軸方向に拘束し、外輪間の軸方向の距離を複数の圧電アクチュエータの伸縮により変化させるようにした。 （もっと読む）

【課題】重い定盤を使用することなく、平面ステージ表面を高い精度で平面に保つことができ、装置重量が軽く、かつ製作コストも安い平面ステージ装置を提供すること。
【解決手段】ワークを載置する平面板１を支持部材１０で３ヵ所以上で支持する。また、この平面板１をＸＹ軸方向に移動させる駆動機構を設ける。上記支持部材１０は、平面板１と対向して配置されるエアベアリングを備え、該支持部材１０により上記平面板１を浮上させるとともに、平面板１を、該平面板１の平面に対して直交する方向に任意の推力で変位させる。そして、平面板の変位状態を、選択された変位状態に保持させ、上記平面板のワークが載置される面を水平かつ平面に保つ。 （もっと読む）

【課題】本発明はステージ駆動時の反力を受けた駆動手段の支持部を介してステージに伝達されることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、ガントリ部を移動させるガントリ移動型ステージであり、コンクリート製の床面に固定された架台１２と、架台１２上に支持された石定盤１４と、石定盤１４上に支持されたワーク載置台１６と、ワーク載置台１６の上方を跨ぐように横架されたＹステージ１８と、Ｙステージ１８の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０と、リニアモータ２０が受ける反力を緩衝する緩衝部材５０とを有する。リニアモータ２０の駆動力によりＹステージ１８をＹ方向に移動させる際に発生する反力は、緩衝部材５０に吸収されると共に、リニアモータ支持部４６を介してコンクリート床面に伝達される。 （もっと読む）

一実施例によれば、線形平行移動ステージが提供される。前記線形平行移動ステージは、互いに対する相対平行移動のために構成された第１の部分（例えば、基盤部分）および第２の部分（例えば、ステージ部分）を含む。前記第１の部分または前記第２の部分のうちの一方は、それに関連するコイルを有し、前記第１の部分または前記第２の部分のうちのもう一方はそれに関連する磁気源を有する。前記磁気源は、電流が前記コイルを介して前記コイルに与える力を発生させ、それによって前記第２の部分に関連して前記第１の部分を平行移動させるように、一般的に前記コイルを包含する磁場を生成するために１つ以上の磁石を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】可動部の温度を高精度に制御し得る駆動ステージ装置を提供する。
【解決手段】駆動ステージ装置１は、ベースプレート２と、ベースプレート２の上面を移動するステージ３と、ステージ３を駆動する駆動部４と、ベースプレート２及びステージ３の間で熱を移動させる伝熱手段５と、ステージ３を温度制御するための制御手段６とを備えている。制御手段６は、決定した使用温度範囲において熱輻射によって移動する熱を求めるための熱輻射関数に熱伝導関数が近似するように、実測に基づいて予め求めた熱伝導関数の比例係数を用いるため、この比例係数を含む熱伝導関数は熱輻射関数と近似されるものとなる。これにより、絶対温度の４乗に比例する熱輻射関数が温度に比例する熱伝導関数に置き換えられ、可動部の温度を高精度で制御することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】 移動部材６は、スライダ４，４とガイドレール５，５を介して支持板３に懸架されているので、高精度な位置決めを行うに当たって、定盤１の上面全体を精度良く加工する必要はなく、定盤１を軽量化することができる。これは、位置決め装置を設置するに当たり、定盤１を分解して現地へ搬送し、そこで組み立てる際に有効である。また支持脚２，２の部品精度や変形も位置決めに影響を与えることがない。 （もっと読む）

【課題】
簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
移動部材３は、定盤１上に配置されたガイドレール２、２に沿って移動可能なスライダ３ｄ、３ｄを取り付けた第１の脚部３ａと、定盤１に対して非接触状態で支持された第２の脚部３ｂとにより支持されているので、移動に際しての抵抗が少なく、リニアモータ５に大きな駆動力を必要としないためコンパクトな構成とできる。又、スライダ３ｄ、３ｄは、静圧軸受に比べ一般的に剛性や負荷容量が高い代わりに駆動抵抗が大きいという特徴があるので、スライダ３ｄ、３ｄ側をリニアモータ５によって駆動することにより、駆動時における移動部材３の姿勢変化を抑えることができ、ロストモーションを抑えることで高精度な位置決めを実現できる。 （もっと読む）

【課題】 ヨーイング、ピッチング及びローリング、コギング、速度制御におけるループゲイン、デッドタイム発生回路に起因する位置決め精度向上の障害要因に対応した補正手段を備えた、複数のスライダ部を有するＸＹステージを実現する。
【解決手段】 格子プラテン上のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
独立に位置制御される複数のスライダ部を有し、これらスライダ部の夫々は、スライダ部をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する位置制御手段と、スライダ部のＺ軸まわりのヨーイングを補正するヨーイング補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】小型、低価格、かつ高応答性のＸＹθテーブルを提供する。
【解決手段】ＸＹθテーブルが、載置台と、載置台のＸ軸方向の一の側およびその反対側に配置されたＸ軸バーと、それぞれのＸ軸バーに交互に極性を変えて配置された複数の永久磁石と、Ｘ軸バーの永久磁石の上面および下面にそれぞれ対向配置された複数のコイルを有するＸ軸バー支持ステータと、載置台のＸ軸方向に直交するＹ軸方向の一の側およびその反対側に配置されたＹ軸バーと、それぞれのＹ軸バーに交互に極性を変えて配置された複数の永久磁石と、Ｙ軸バーの永久磁石の上面および下面にそれぞれ対向配置された複数のコイルを有するＹ軸バー支持ステータとを備える。 （もっと読む）

【課題】 移動体を碁盤目状に凸極が設けられたプラテン上で移動させる平面ステージ装置において、移動体が回転した状態でＸＹ方向に直線移動できるようにすること。
【解決手段】 Ｙ方向用移動子２０ｃ，２０ｄは、移動体３０のＸ軸上の２ケ所に設けられ回転軸受２４を介して移動体３０に取り付けられる。Ｘ方向移動用移動子２０ａ，２０ｂはプレート２５に取り付けられ回転軸受２６を介して移動体３０に取り付けられる。移動体３０をＸＹ方向に移動させるには移動子２０ａ，２０ｂあるいは移動子２０ｃ，２０ｄを同方向に移動させる。移動体３０を回転させる場合には移動子２０ｃ，２０ｄを逆方向に移動させる。移動体３０を回転させたとき、移動子２０ａ〜２０ｄの磁極はプラテン１０の凸極の方向に沿うように回転し、この状態で移動体３０をＸＹ方向に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールの加工及び位置調整を容易に行えることを課題とする。
【解決手段】 ステージガイド機構２８のガイドレール３０は、断面がほぼ正方形であり、水平面に対して各４辺が４５度の傾斜角度を有するように取り付けられる。調整機構３６は、ガイドレール３０の下部傾斜面３０ａ，３０ｂを両側から押圧する一対の調整ブロック５０,５１と、調整ブロック５０をベース１４の上面（水平面）に固定する固定用ボルト５２と、調整ブロック５０を側方から押圧して取付位置を調整する調整ねじ５４と、調整ブロック５０,５１に螺入され調整ブロック５０,５１をガイドレール３０に締結する締結ボルト５６とを有する。調整機構３６により、ステージ装置１０を設置した後にガイドレール３０の歪みがなくなるように調整することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールに非接触でガイドされるスライダの静圧軸受けパッドを削減することを課題とする。
【解決手段】 ステージスライダ機構２９のガイドレール３０は、断面がほぼ正方形であり、水平面に対して各４辺が４５度の傾斜角度を有するように取り付けられる。ガイドレール３０の上部傾斜面３０ｃ，３０ｄは、スライダ１８をガイドする一対のガイド面として機能しており、上部傾斜面３０ｃ，３０ｄに対向するスライダ１８の傾斜面１８ａ，１８ｂには、３個の静圧軸受けパッド３２〜３４が設けられている。３個の静圧軸受けパッド３２〜３４によりスライダ１８を浮上させて低摩擦で移動可能に支持する構成であり、従来のように水平面と垂直面の夫々に対向する位置に設ける構成のものよりも静圧軸受けパッドの設置数を半分以下に減らすことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 安価で耐環境性に優れたＸＹ位置検出器で構成でき、ＸＹスライダの可動範囲に制約を受けず複数台のＸＹスライダを駆動できるＸＹ位置決め装置を提供する。
【解決手段】 直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って格子状に形成されたプラテン１００と、プラテン１００とギャップを介して対向配置されたＸＹスライダ１と、ＸＹスライダ１をＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ推力を発生させるＸ電機子およびＹ電機子と、より構成されるＸＹ位置決め装置において、プラテン１００上に配置され、Ｘ軸位置とＹ軸位置を検出するための目盛を有する平面状のＸＹスケール１０４と、ＸＹスライダ１に配置され、ＸＹスケール１０４の目盛を検出するＸＹ位置検出器８とよりなる平面エンコーダを備え、ＸＹ位置検出器より得られたＸ軸位置とＹ軸位置の位置情報をもとにＸＹスライダの位置決めを行うようにした。 （もっと読む）