【課題】Ｚ軸方向とＺ軸回りθ方向とにテーブルを駆動する場合において、より大きな荷重をテーブルに負荷でき且つテーブルの位置決め制御の制御性を高める。
【解決手段】ステージ装置１は、Ｚ軸方向を軸線Ｇ方向として配置され軸線Ｇ回りに回転可能な回転軸５と、回転軸５上に配置され軸線Ｇ回りに回転可能な回転リング６と、回転軸５及び回転リング６のそれぞれを軸線Ｇ回りに回転駆動するアクチュエータ７と、を備え、Ｚ軸方向に傾斜しながら軸線Ｇ回りに螺旋状に延在するスパイラル面Ｓを介して回転軸５及び回転リング６が互いに接触している。スパイラル面Ｓで回転運動が並進運動に変換されるため、接触面積を増大させてテーブル４の支持剛性を高めることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】フットプリントを低減し、装置のコンパクト化を図ることのできるステージ装置を提供する。
【解決手段】Ｙ軸移動体４を移動させるＹ軸駆動部３として、磁石を内部に有するＹ軸シャフト３Ａ，３Ｂ及び当該Ｙ軸シャフト３Ａ，３Ｂを取り囲むコイルからなるＹ軸可動子９Ａ，９Ｂを用いることによって、リニアモータなどに比して駆動部を小さくし、これにより、側面側滑走面２ｄに対向する側部４ｂを一方のＹ軸可動子９Ａの下方に配置し、Ｙ軸駆動部３Ａと横並びになった場合に側部４ｂが占めるフットプリントを省略する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、二軸テーブルの微小角傾動を４個のヒンジを有するフレクチャヒンジ体を介して行うことにより、円滑で高精度の傾動動作を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明による二次元型テーブル微小角度駆動機構は、ベース(1)のシャフト(3)上に４個のヒンジ(31〜34)を有するフレクチャヒンジ体(4)を設け、このフレクチャヒンジ体(4)の可動側に二軸テーブル(5)を設け、この二軸テーブル(5)を二軸方向に駆動するための二軸の駆動トルカ(20〜23)を設け、各駆動トルカ(20〜23)を選択的に駆動することにより各ヒンジ(31〜34)のねじりによって二軸テーブル(5)の傾動を行う構成である。 （もっと読む）

【課題】弾性体で可動ステージの重量を支持し、アクチュエータで可動ステージを駆動する精密微動位置決め装置において、装置を小型にし多自由度化する。
【解決手段】固定ベースと、固定ベースの上に取り付けられた電磁アクチュエータの固定子と、固定子と一定の空隙を介して対向し、固定子に対して上下に移動可能な電磁アクチュエータの可動子と、固定ベースと可動ベースとの相対的な変位を検知する変位センサが収納され、固定ベースの上に下端が取り付けられた弾性支持機構と、弾性支持機構の上端と電磁アクチュエータの可動子の上端とが固定された可動ベースと、を備えた精密微動位置決め装置とした。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置制御を行うことが可能なステージ装置の設計方法、ステージ装置の製造方法、露光装置の製造方法、およびステージ装置を提供する。
【解決手段】ＸステージとＸステージ上を移動するＹステージとを含む力学系の伝達関数を求め、求めた伝達関数の零点の実部が負の値となるように、Ｙステージの質量またはＹステージの重心まわりの慣性モーメントを決定する。 （もっと読む）

【課題】 ２軸で構成される平面内の任意の位置に、０．１ｎｍ以下の精度でステージを高速に位置決めするときに、X軸及びY軸方向の推力によってステージがθ軸周りの回転モーメントを作用させない機構を備えた位置決め機構を提供する。
【解決手段】 推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介してＸ軸方向に伝達する第１のアクチュエータ３と、同じく推力発生手段により発生した推力を推力伝達部を介して前記Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に伝達する第２のアクチュエータ４とをベース２の同一平面内に取り付けると共に、これら第１のアクチュエータ３の推力伝達部１３ｘと、第２のアクチュエータ４の推力伝達部１３ｙとに平行リンク構造をなす第１のリンク機構６及び第２のリンク機構７を介して移動体となるステージ５を連結した構成である。また、ステージ５は、弾性支持機構となる弾性バネ機構８ａ等を介してベース２に浮動状態で支持している。 （もっと読む）

【課題】低姿勢・低重心を実現することができるステージ装置、及びこれを備える半導体検査装置を提供する。
【解決手段】
ステージ装置１は、開口部３ａを有する定盤３と、該定盤３の開口部３ａに設けられるＹ軸シャフトモータ５と、該Ｙ軸シャフトモータ５と平行に設けられる２つのＹ軸ガイドレール１２Ａと、該Ｙ軸ガイドレール１２Ａに案内されながらＹ軸シャフトモータ５の駆動により定盤３に対して可動であり、凹部４ｂを有するＹ軸ステージ４と、該Ｙ軸ステージ４の側部に設けられるＸ軸シャフトモータ６と、該Ｘ軸シャフトモータ６と平行に設けられる２つのＸ軸ガイドレール１５Ａと、該Ｘ軸ガイドレール１５Ａに案内されながらＸ軸シャフトモータ６の駆動によりＹ軸ステージ４に対して可動に設けられたＸ軸ステージ７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可動部分が軽量化されており、かつ、可動子にエアパッドを用いないＸＹ位置決め装置を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸＹ座標軸で定義されたＸＹ平面内の位置決めに用いるＸＹ位置決め装置において、Ｎ極を上方向とした永久磁石１２ＢおよびＳ極を上方向とした永久磁石１２Ｃを、少なくとも位置決めが必要な領域について、ＸＹ平面方向に磁極の方向が交互となるように敷き詰めてなるステータ１２と、Ｘ軸方向の列およびＹ軸方向の列それぞれに３個以上の同数のコイル１８Ａが均等に配置されて、コイル１８Ａが正方格子状に配置されており、ステータ１２に対して平行方向に相対的に移動することができる可動子１８と、可動子１８をステータ１２に対して所定の間隔をもってＸＹ平面方向に移動可能に支持するガイド機構１４、１６と、を備えさせる。 （もっと読む）

【課題】
位置検出センサの出力信号の減衰を懸念することなく当該位置検出センサとコントローラを接続することが可能であり、コントローラの小型化に資することが可能な位置検出機能付きアクチュエータを提供する。
【解決手段】
位置検出センサとコントローラとを接続する信号ケーブルとして湾曲自在なフレキシブルプリント基板を用い、かかる信号ケーブルは、前記Ｘ方向センサ部に接続されると共に前記第２部材に固定される固定配設部と、この固定配設部から連続すると共に前記第２部材から引き出されて前記コントローラに接続される可動余裕部とから構成されており、前記信号ケーブルの固定配設部には、前記Ｘ方向センサ部が出力したアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータを実装した。 （もっと読む）

【課題】推力発生時におけるスライダの傾きを防止できる平面モータを提供する。
【解決手段】コアＣＸ１−１，ＣＸ１−２，ＣＸ２−１，ＣＸ２−２によりスライダ３にＸ方向への推力が与えられている場合には、コアＣＹ１−１，ＣＹ１−２，ＣＹ２−１，ＣＹ２−２によりスライダ３にＺ軸方向（垂直方向）への推力が与えられることでトルクが打ち消される。コアＣＹ１−１，ＣＹ１−２，ＣＹ２−１，ＣＹ２−２によりスライダ３にＹ方向への推力が与えられている場合には、コアＣＸ１−１，ＣＸ１−２，ＣＸ２−１，ＣＸ２−２によりスライダ３にＺ軸方向（垂直方向）への推力が与えられることでトルクが打ち消される。 （もっと読む）

【課題】 電磁継手の力のよって生じる天板の変形を抑える。
【解決手段】 本発明の位置決め装置は、位置決め対象物を搭載する第１ステージ２０２と、第１ステージを搭載して移動する第２ステージ２０６と、第２ステージに対して第１ステージを駆動するアクチュエータ２０４とを備える。また、第１ステージが中空構造となっており、アクチュエータ２０４の発生する力の方向及びそれと直交する方向に沿った断面が四角形で第１ステージの側板を構成する第１リブ２１３と、第１リブに対し角度をなして接合された断面がひし形の第２リブ２１１とを備える。さらに、第１ステージは、さらに、アクチュエータ２０４の発生する力の方向に略平行で、該力のかかる箇所を通る第３リブ２１２を前記中空内部に備える。 （もっと読む）

【課題】 ステージの移動に伴う反力を質量体を駆動して軽減させつつ、質量体の移動ストロークの縮小を図る。
【解決手段】 質量体を駆動する慣性力付与機構を有する位置決め装置であって、慣性力付与機構は、ステージの移動に伴って発生する反力を軽減するための信号を生成して出力する反力補償制御系と、質量体の位置を計測する位置計測手段の出力に基づいて、蓄積された複数の質量体の相対距離を低減するための信号を生成して出力する位置補償制御系と、位置補償制御系の出力の一部を選択して出力する選択手段とを備え、選択手段の出力に基づいて質量体の駆動が制御される。 （もっと読む）

【課題】ビームの自重による撓みを、コア付きリニアモータに発生する吸引力で抑制し得る構成を採用し、ビーム形状の小型化や単純形状化を図り、コストを抑えた位置決め装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール８と、該ガイドレールに沿って移動可能なスライダ９とで構成される一対の直動案内装置Ｇと、上面にガイドレールを平行に延設した固定部Ａと、固定部の上面と上下方向で対向する面部所定位置にスライダを備えた移動部Ｂと、固定子１０と可動子１１で構成される平行な一対のコア付きリニアモータＭを備え、移動部が、可動子に跨って掛け渡されるビーム１４を有する門型形状である位置決め装置において、リニアモータは、ガイドレールを延設した固定部の上面に上向きで固定子が備えられるとともに、スライダを備えた移動部の面部に下向きで可動子が備えられ、直動案内装置とオフセットして配置されている。 （もっと読む）

【課題】 小型のリニアステージに搭載することが可能な大きさであって、管路やコード類の引き回しや屈曲による周辺設備との干渉、更には、移動ステージの駆動抵抗の変動や其れに伴う位置決め精度の劣化といった問題を生じることのないリニアステージ用現位置保持機構を提供すること。
【解決手段】 移動ステージ３をベースプレート４に固定するために必要とされるローラ１４，１４および付勢手段としての板バネ１５ならびにロック解除部材１６とアクチュエータ２４をベースプレート４側に纏めて配備することで、アクチュエータ２４に電力を供給するコード類の引き回しや屈曲による周辺設備との干渉を防止し、駆動抵抗の変動に伴う位置決め精度の劣化を解消する。 （もっと読む）

【課題】回動自在にテーブル上に載置された被載置物の回転方向の位置決めを精度良く行うことができる回動位置決め装置を提供する。
【解決手段】本発明の回動位置決め装置Ａは、被載置物ｂを載置すると共に、回動自在に支持するテーブル１と、このテーブル１の側方に設けられた側方部材２と、この側方部材２に当接し、テーブル１を回動させる回動部材３と、この回動部材３の端部に側方部材２を押し付けるように付勢する付勢手段４とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】基台下の構造について設計の自由度を高めつつ大型化を抑制することを可能とするステージ装置を提供する。
【解決手段】基台１０と、基台１０上で一軸方向に移動可能に設けられるガントリ部３０とを備えたステージ装置１であって、基台１０の側方に張り出すように設けられ、一軸方向に沿って延び、ガントリ部３０の移動を案内するガイドレール４０が設置される張り出し片５２と、基台１０の側方であって張り出し片５２の下方に設けられ、ガントリ部３０の移動に追従して変形し、ガントリ部３０を制御するケーブルをまとめて配線するケーブルキャリア６０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高さ寸法を抑制することで小型化及び省スペース化を図ると共に、移動テーブルがリニアモータ機構により生じる磁気吸引力の影響を受けることなく、常に高度な平面精度を保つことが可能なリニアモータ式テーブル装置を提供する。
【解決手段】基台２、直動案内装置４、移動テーブル６、リニアモータ機構８を備え、直動案内装置には、ガイドレール４０とスライダ４２とが設けられたテーブル装置Ａであって、リニアモータ可動子８２と移動テーブルとの間には、可動子取付部材２０が介在されており、リニアモータ可動子は、可動子取付部材に固定され、当該固定部分が移動テーブルとの間に所定間隔を空けて非接触状態に、可動子取付部材を介して移動テーブルに固定されており、可動子取付部材は、リニアモータ固定子からリニアモータ可動子に対して作用させる前記吸引力が移動テーブルに対して作用することを、弾性変形して吸収することで防止している。 （もっと読む）

【課題】 エアの供給を切ることなく歯合わせ動作を行なうことができ、ズレを電気的な演算により検出可能とした平面位置決め装置を実現する。
【解決手段】 プラテン上面をＸ軸方向及びＹ軸方向にスライドするスライダの位置検出値と位置指令の誤差を増幅する誤差増幅器と、この誤差増幅器よりモータ位置に同期し推力が極大となる位相の交流電流指令を与えるサーボモータモードの電流振幅指令を入力し、前記スライダに搭載されたモータに励磁電流を供給するするドライバ手段と、前記スライダを初期位置に規制する初期化手段とを有する平面位置決め装置において、
前記初期化手段は、
推力が極小となるように指令を与える、可変できるパルスモータモードの交流電流指令を前記ドライバ手段の入力に重畳させる可変電圧発生手段と、
前記パルスモータモードの交流電流指令を所定値よりゼロまで低下させると共に、前記誤差増幅器のゲインをゼロより所定値まで増加させる操作を連動して実行するゲイン変更手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 安価な機能追加により、下軸真直度の精度を向上させたＸＹステージを実現する。
【解決手段】 Ｘ軸方向またはＹ軸方向に配置され、その軸方向に位置制御される下軸スライダを有する下軸モータと、前記下軸スライダ上にＹ軸方向またはＸ軸方向に取り付けられ、その軸方向に位置制御される上軸スライダを有する上軸モータと、上位装置からの指令に基づいて前記下軸スライダ及び前記上軸スライダを位置制御する下軸ドライバ及び上軸ドライバと、よりなるＸＹステージにおいて、
前記下軸スライダの軸方向位置に対応して、軸方向真直線からの直交方向のズレ量を予め測定して保持した上軸位置補正手段を備え、
前記上軸ドライバは、前記下軸ドライバから取得する前記下軸スライダの位置情報に基づき、前記上軸位置補正手段より前記ズレ量を読み出して前記上軸スライダの位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】ワーク加工装置を直列方向に連結できると共に、直列方向に対して直角方向にも連結できる移送システムを実現する。
【解決手段】ＸＹ位置決めステージを直列方向に連結したワークの移送システムにおいて、
所定のワーク加工装置に対応して直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置と、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間に設けられワークの搬送時にワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段と、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられワークを前記所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間を搬送するＹ軸方向搬送手段とを具備したことを特徴とする移送システムである。 （もっと読む）