【課題】本発明は、音叉振動子上に特別の異常診断用信号入力電極や角速度検出の誤差を低減する為の基準電位接地電極を設けることなしに、異常診断が可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】スイッチ４５，４８を用いて出力端子４９，５０に同相の駆動信号を生じせしめることによりアーム２，３を同じＺ軸方向に撓ませ、アーム２，３上に設けられた第１０、第１２の電極２２，２５から得られる電荷を第１、第２の増幅器６２，６３により増幅し、これらの出力を差動増幅器６４に入力し、その出力と基準値発生手段８２から発せられた所定の値とを比較器８１により比較し、所定値を超える場合には異常と判断できるように構成した。 （もっと読む）

本発明は、第１および第２共振器（７０_１，７０_２）を備え、上記第１および第２共振器は第１および第２線形発振器（３_１，３_２，４_１，４_２）からなる結合系としてそれぞれ形成されており、上記第１共振器（７０_１）と上記第２共振器（７０_２）とが共通の振動軸（７２）に沿って逆方向に振動するコリオリの角速度計（１’）に関するものである。本発明の結合系により、回転速度と加速度とを同時に測定することができる。また、本発明の結合系は、外部または内部で生成される振動などの妨害の影響を受けにくい。
（もっと読む）

【課題】 全体が小型でありながら振動漏れの影響を可及的に低減することができて高い検出精度が得られる音叉型振動子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る音叉型振動子１は、付根部９から一対の大脚部１０ａ，１０ｂが並列して突出形成されて親音叉８が構成されるとともに、この親音叉８の各大脚部１０ａ，１０ｂには、この両大脚部１０ａ，１０ｂを含む面に直交する方向において所定間隔を存して互いに対向しかつ大脚部１０ａ，１０ｂよりも短尺の一対の小脚部１３ｃ，１３ｄ、１４ｃ，１４ｄが形成されてそれぞれ子音叉１２ａ，１２ｂが構成されている。 （もっと読む）

本発明は、振動子を用いる物理量測定装置において、検出信号のゼロ点温度ドリフトを低減できるような振動子の支持構造を提供する。振動子１Ａをボンディングワイヤ２６によって支持する支持部材２２を提供する。支持部材２２は、振動子１Ａの直下に配置されるべき開口２５が形成されている支持板４０、および振動子１Ａに接合固定されるべき接合端部２９、支持板４０に固定された固定部２６ａ、および開口２５下に存在する折曲部２８を備えているボンディングワイヤ２６を備えている。ボンディングワイヤ２６の支持板４０からの突出開始位置３９と折曲部２８との間隔Ｌ１が、折曲部２８と接合端部２９との間隔Ｌ２の１０％以上である。 （もっと読む）

【課題】周囲の温度変動の影響を受けずに、圧電振動子を安定して振動させること。角速度センサの検知精度を高精度化すること。
【解決手段】圧電振動子の一方の駆動電極の出力電流を交流電圧に変換し、この交流電圧を、トランスミッションゲート５１，５６を交流電圧に同期してオン／オフさせることにより整流して、直流電流Ｉ_1AおよびＩ_1Bとする。これらの直流電流と基準電源回路４７を流れる基準電流Ｉ₂とを比較手段１８で比較し、その差分に基づいて制御電圧Ｖeを生成する。この制御電圧Ｖeでもって、前記交流電圧の利得を調整して圧電振動子の他方の駆動電極に供給することによって、圧電振動子に温度変動によるばらつきの極めて小さい駆動電圧を供給し、圧電振動子を安定して振動させる。 （もっと読む）

センサとりわけ回転速度センサのための安全装置であって、センサエレメントおよび機能的コンポーネントが該センサの機能を果たし、センサ出力信号を生成する形式のものにおいて、該機能的コンポーネントは機能セクションを形成する。さらに、コントロールコンポーネントはコントロールセクションに設けられており、監視コンポーネントは監視セクションに設けられており、該コントロールコンポーネントは機能的コンポーネントを連続的にコントロールするように構成されており、該監視コンポーネントは、作動サイクル中に少なくとも１回はコントロールコンポーネントを監視するように構成されている。
（もっと読む）

振動式ジャイロスコープを備えるヨーレートセンサの監視方法であって、該ヨーレートセンサはバンドパスフィルタであり、かつ少なくとも1つの制御回路の一部であり、該制御回路はデジタルコンポーネントおよびアナログコンポーネントからなり、かつ前記振動式ジャイロスコープを、その固有周波数の励振信号の供給によって励振し、前記振動式ジャイロスコープから出力信号が取り出され、該出力信号からフィルタリングと増幅により励振信号とヨーレート信号が導出される形式のヨーレートセンサの監視方法において、冗長的アナログコンポーネントと少なくとも1つのA/D変換器によってアナログ信号を測定し、特徴値をデジタルコンポーネント内で読み出し、それぞれ限界値と比較する。
（もっと読む）

本発明は、振動ジャイロスコープを作動するためおよび回転速度信号を導き出すために、可変のデータにアクセスをする複数の回路が設けられている、振動ジャイロスコープを有する回転速度センサに関し、ここでは上記データは、書きこみ可能な不揮発性記憶装置に格納されている。またここでは前記の回転速度センサをスイッチオンした後、不揮発性記憶装置からデータを読み出す手段（５）が設けられている。
（もっと読む）

振動式ジャイロスコープの監視方法であって、該振動式ジャイロスコープは共振器であり、少なくとも1つの制御回路の一部であり、該制御回路は振動式ジャイロスコープを、該振動式ジャイロスコープの固有周波数を有する励振信号の供給によって励振し、振動式ジャイロスコープから出力信号が取り出され、該出力信号からフィルタリングと増幅によって励振信号が導出される。共振器のQを測定し、該Qが既知を下回る場合、エラー通報を形成する。
（もっと読む）

【課題】２枚を貼り合わせてなる音叉状水晶片の音叉溝を平坦として音叉振動と垂直振動の結合を防止し、検出精度及び感度を高める角速度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】２枚の音叉状水晶片を、互いの±Ｘ軸方向を異ならせて貼り合わせた角速度センサ素子において、結晶軸（ＸＹＺ）を有する２枚の水晶ウェハのＹ軸及びＺ軸方向を一致させるとともに±Ｘ軸方向を異ならせて貼り合わせ、前面及び後面の水晶ウェハをエッチングによって、Ｘ軸を幅、Ｙ軸を長さ、Ｚ軸を厚み方向とした音叉基部２と一対の音叉腕部３からなる音叉状水晶片に加工してなる音叉型の角速度センサ素子の製造方法において、前面の水晶ウェハの＋Ｘ軸を、音叉基部からの前記音叉腕部の延出方向に対して直交する方向の左側に一致させて貼り合わせた製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】 電源電圧の変化や周囲温度の変化等の影響を受けない安定性の高い発振回路と、これを用いた角速度センサを提供する。
【解決手段】 電源を印加すると、起動補償回路２４のゲインが大きく設定され、大きな駆動電圧Ｖａによって圧電振動子１１が振動し、短時間に起動する。比較手段３２から出力される制御電圧Ｖ３２によってＡＧＣ回路２５のゲインが制御されると共に、起動後の安定時には回路２４のゲインが小さく設定され、出力電圧Ｖｏｕｔが基準電源回路３１の出力に対応して一定振幅になる様な駆動電圧Ｖａによって圧電振動子１１が振動する。圧電振動子１１に生じたコリオリ力による応力の検出信号が、同期検波回路４４においてＩ／Ｖ変換回路２１の出力信号によって同期検波され、圧電振動子１１の角速度に応じた信号が検出される。 （もっと読む）

【課題】 振動子素子を角速度センサとして使用する場合、周囲の温度変化、電源電圧の変化などによって励振振幅が安定していないと良好なセンサ特性（励振振幅を一定に保つのは困難）が得られにくく励振回路で振幅を調整する方法が採られていたが、励振回路に依存せず素子自体の励振振幅を安定する素子の実現を目的とする。
【解決手段】振動子素子の励振電極の存在するアームに、励振電極とは別に励振振幅検出用電極を形成する。励振電極に印加された励振振動信号によって、振動子素子の励振アーム内には交流電界が発生し、励振アームは所定の方向に振動し始める。この交流電界の変化を、励振振幅検出用電極で検出すると、励振振幅に応じた電圧となる。この電圧を励振回路の振幅比較手段に帰還させ、励振振幅調整手段を通して励振振動信号を調整することにより、励振振幅を安定させることができる。 （もっと読む）