本発明は、慣性センサによって供給された、誤っているかまたは紛らわしいデータの識別を支援することにより信頼性改善を支援する、あるレベルの組込み試験を有するＭＥＭＳ振動型慣性センサを提供する。試験信号がＭＥＭＳ振動型慣性センサの１つまたは複数の入力に注入され、この試験信号は、１つまたは複数のＭＥＭＳ振動型慣性センサ出力で試験信号成分を生成する。次いで、この試験信号成分が１つまたは複数の出力で観測される。この試験信号成分が、元の試験信号の少なくとも所定の特性と一致するなら、ＭＥＭＳ振動型慣性センサが適正に動作しており、誤っているかまたは紛らわしいデータを生成していないことがより有望である。実施形態には、試験信号が通常の機能動作中に供給され観測されるものがある。本発明は、慣性センサによって供給された、誤っているかまたは紛らわしいデータの識別を支援することにより信頼性改善を支援する、あるレベルの組込み試験を有するＭＥＭＳ振動型慣性センサを提供する。例示の一実施形態では、試験信号がＭＥＭＳ振動型慣性センサの１つまたは複数の入力に注入され、この試験信号は、１つまたは複数のＭＥＭＳ振動型慣性センサ出力で試験信号成分を生成する。次いで、この試験信号成分が１つまたは複数の出力で観測される。この試験信号成分が、元の試験信号の少なくとも所定の特性と一致するなら、ＭＥＭＳ振動型慣性センサが適正に動作しており、誤っているかまたは紛らわしいデータを生成していないことがより有望である。実施形態には、ＭＥＭＳ振動型慣性センサの通常の機能動作中に試験信号が与えられて観測され、それによってセンサ稼動中の組込み試験を提供するものがある。
（もっと読む）

カップリング装置は、平行な軸に沿った慣性センサエレメントフレームの逆位相の運動を許すが、フレームの同位相の運動を実質的に妨げる。カップリング装置は、第一と第二のセンサエレメントフレームとの間に結合されたバーおよびバーを支持する少なくとも１つの支持構造を含む。少なくとも１つの構造は、フレームの下にある基板に結合される。構造は、フレームが実質的に平行な軸に沿って互いに逆位相で動くときには、バーがピボットポイントで回転することを許すが、フレームの同位相の動きを実質的に妨げる。
（もっと読む）

角速度検知素子２及び第１及び第２の信号処理部２１，２２の各出力は、その個数に応じた入力端子数を有するスイッチ回路７の各入力端子に供給され、スイッチ回路７の出力端子は、出力端子４に接続される。スイッチ回路７は、モード信号発生回路８から出力されるモード信号に応じて接続状態を切り替え、角速度検知素子２及び第１及び第２の信号処理部２１，２２の各出力のいずれかを選択して出力端子４へ供給する。 （もっと読む）

慣性センサは直線的アレイに構成された少なくとも１対のセンサエレメントを含む。各センサエレメントはフレームおよびフレーム内に吊るされた可動質量を有する。センサエレメントの各対のフレームは、フレームが平行軸に沿って互いに逆位相で動くことを許されるが互いに同位相で動くことを実質的に妨げられるように結合され得る。本発明の一局面に従って、少なくとも１つの基板を有する慣性センサ、および、少なくとも１つの基板の上の実質的に平面内に直線的アレイに構成された少なくとも２対のセンサエレメントが提供される。
（もっと読む）

振動回転レートジャイロスコープは、つる巻バネの配列により外部の振動から隔離された宙吊り部品を有する。この隔離された部品は、回転レートジャイロスコープの能動部品及びデジタル処理回路の両方を有する。デジタル処理回路は、外部で決定された及び内部で決定された装置固有の較正値の両方のためのデジタル記憶装置を有する。これらの値は、起動時間を向上する起動処理のためのシード値を提供し、及び装置固有の電子的較正のための値を提供する。デジタル処理回路は、全ての出て行くデータをデジタル形式に更に変換する。デジタル通信プロトコルが利用され、較正情報及び出て行くデータを隔離された部品と２つの導体だけを介して送受信する。宙吊り較正で利用される４個のつる巻バネは、これら導体として利用されるので、如何なる追加の線も必要ない。

（もっと読む）

一般的には、新しく、改良された微小機械加工振動ジャイロスコープ、及び方法を提供することが、本発明の目的である。本発明のもう１つの目的は、振動するマス間の機械結合を必要としない、上記の特徴のジャイロスコープ、及び方法を提供することである。
（もっと読む）

本発明は、第１および第２共振器（７０_１，７０_２）を備え、上記第１および第２共振器は第１および第２線形発振器（３_１，３_２，４_１，４_２）からなる結合系としてそれぞれ形成されており、上記第１共振器（７０_１）と上記第２共振器（７０_２）とが共通の振動軸（７２）に沿って逆方向に振動するコリオリの角速度計（１’）に関するものである。本発明の結合系により、回転速度と加速度とを同時に測定することができる。また、本発明の結合系は、外部または内部で生成される振動などの妨害の影響を受けにくい。
（もっと読む）

コリオリの角速度計の直交バイアスを補償するための方法に関するものであり、このコリオリの角速度計の共振器（１）は、第１および第２の線形発振器（３，４）からなる結合系として構成されており、コリオリの角速度計の直交バイアスが決定される。その後、２つの発振器（３，４）の相互のアライメントを補正するための静電場を生成し、決定された直交バイアスが最小となるように、２つの発振器（３，４）のアライメント／強度を制御する。
（もっと読む）

本発明は、固定支持材（６）に接続された固定端（５）と、進行波又は定在波が生成される振動構造（４）の振動壁（７）を形成する、好ましくは側壁（７）を有する円筒形の中空シェルと、を備える微細加工振動構造（４）に関する。中空シェルは、振動構造（４）に関する固定端（５）を形成する基部と、自由端（９）とを備える。自然分離領域が、中空シェルの固定端（５）と自由端（９）の間に配置される。
（もっと読む）

アナログ駆動信号とピックオフ信号との間の電気的クロス結合の影響を減らすことを目的として、アナログ駆動信号をピックオフ信号から区別する方法である。当該方法は、第１の周波数における周期的なデジタル信号をデジタルデータ値のストリームの形で受信するステップと、デジタルデータ値の少なくとも１つをランダムな形で変換するステップと、そして、デジタルデータ値のストリームをアナログデータ値のストリームにコンバートしてアナログ駆動信号を形成するステップと、を有する。当該方法はまた、第２の周波数において振動するように構成された共振部材に物理的に結合されたセンサを前記アナログ駆動信号で駆動するステップと、そして、ピックオフ信号の生成のために、センサによって検知される共振部材の運動における変化を感知するステップと、を有する。
（もっと読む）

Ｘ−Ｙ面内に横方向に配置され、フレーム（３４）に間接的に連結されている２つの質量（２２，２４）を有する角速度センサ。２つの質量（２２，２４）は、これらの質量が、Ｚ方向に沿って必ず反対方向に移動するように、リンク装置（２８，５６，５８）により連結されている。Ｙ軸を中心にするセンサの角速度は、２つの質量（２２，２４）をＺ方向に反対位相で振動させ、それによりフレーム（３４）に加わる角振動の振幅を測定することにより感知することができる。好ましい実施形態では、角速度センサは、バルクＭＥＭＳジャイロスコープ・ウェハ（２０）、キャップ・ウェハ（４２）および基準ウェハ（４４）から製造される。他の好ましい実施形態では、ウェハのこのアセンブリは、質量（２２，２４）と周囲環境との間に密封バリアを形成する。
（もっと読む）

振動する回転センサは、「ｚ軸」周りの回転を感知するために記述される。それは、構造的結合、及び２つのプルーフ・マスの基本的な反位相振動が機械的結合により実現されるような力学を有するチューニングフォークである。

（もっと読む）

電子センサ・デバイス２０用のセンサ素子２４に関する。センサ素子２４は、基板４３、一対のプルーフマス３４ａ，３４ｂ、一対の駆動ビーム４４、及び１つ以上の基部ビーム４６を備える。一対のプルーフマス３４ａ，３４ｂは基板４３の上方に懸架され、係留点５０にて基板４３に取り付けられている。一組の駆動ビーム４４はプルーフマス３４ａ，３４ｂと係留点５０との間に配設されている。各駆動ビーム４４は、第１の方向に延在する第１の長尺状基部６２と、第２の方向に沿って延在する第１の可撓性バネ部材６４とを含む。基部ビーム４６は一組の駆動ビーム４４を相互接続し、第２の長尺状基部７２及び第２の可撓性バネ部材７４とを備える。第２の長尺状基部７２は第２の方向に延在し、第２の可撓性バネ部材７４は第１の方向に延在する。第１及び第２の可撓性バネ部材６４，７４は、折り曲げたビームの柱又は襞状バネなど、蛇行形状であってよい。
（もっと読む）

【解決手段】１軸の加速度検知及び２軸の角速度検知を与える微細加工マルチセンサである。この微細加工マルチセンサを製造する方法は、犠牲材料又は構造材料の層を基板表面上に堆積する。犠牲又は構造材料の堆積層は、複数の水平及び垂直の空間を有する直線状グリッドを使用して形成された所定のマスクパターンでマスクされる。このマスクパターンは、センサ装置の機能部品を規定する。このマルチセンサが、少なくとも１つの機能部品を有し、その基板上のアラインメントがセンサの最適性能に対して重要である場合、その重要な部品は、その縦軸がマスクの水平又は垂直軸と実質的に平行になるように規定される。このマルチセンサが、少なくとも１つの機能部品を有し、その基板上のアラインメントが最適センサ性能に対して重要でない場合、その重要でない部品は、その縦軸がマスクの水平及び垂直軸と平行にならないように規定される。
（もっと読む）

ダイ（１１０）とダイ用のハウジング（２０２）の間の接着強度を増やす方法が記述される。ダイの上にマイクロ電子機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスが形成される。この方法は、接点材料の複数のクラスタ（２２０）をハウジングの底面（２４０）上に堆積させる工程と、ダイをクラスタ上に配置する工程と、ハウジング、クラスタ化接点（２２８）及びダイに熱圧着加工を施す工程と、を含む。

（もっと読む）

【課題】 駆動質量体と感知質量体とを両方デカップルド構造とする。
【解決手段】 Ｘ軸を中心に揺動自在な駆動質量体10、Ｚ軸を中心に揺動可能な感知質量体30、及びＸ軸を中心に駆動質量体10と共に揺動しＺ軸を中心に感知質量体30と共に揺動する媒介質量体20を備える。駆動質量体10はＸ軸を中心に捻れ変形する第１捻れバネ51により基板に、媒介質量体20はＺ軸を中心に曲げ変形する第１曲げバネ61により駆動質量体10に、感知質量体30はＸ軸を中心に捻れ変形する第２捻れバネ52により媒介質量体20に、かつＺ軸を中心に曲げ変形する第２曲げバネ62により基板に、各々連結する。駆動質量体10が駆動電極110によってＸ軸を中心に振動中に外部から角速度が印加されれば、コリオリの力によって感知質量体30がＺ軸を中心に回転し感知電極130はこれを感知する。 （もっと読む）