【課題】被検査体と接続した場合に光源と被検査体との位置関係の調節が可能なプローブカードを提供する。
【解決手段】受光部Ｗ１１と電極Ｗ１２を備える被検査体Ｗ１とプローブカードを用いて電気的に接続して被検査体Ｗ１に関する検査処理を行う検査装置に関する。そして、プローブカードは、被検査体Ｗ１と電気的に接続するための接触子１１が一方の板面上に配置された基板２０と、被検査体Ｗ１に向けて光を照射することが可能な光源４１とを、基板に取り付けるものであって、光源４１を支持する複数の光源支持部５２を有する取付部材とを備え、基板２０の上記接触子１１が配置されている板面と異なる板面３０上には、それぞれの光源支持部５２を支持するための支柱６１が立設されており、それぞれの上記光源支持部５２は、支柱６１に沿って動作可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】 照度ムラが生じてしまうことなく、均一な照度の光を検査対象の半導体集積回路に安定的に照射できるプローブカードを提供する。
【解決手段】 円盤形状のプローブカード基板１中央部の下面に面光源２を配置し、その面光源の周囲には複数のプローブ針３が取り付けられている。これらプローブ針３は、その先端が面光源２の下方に向かって延びており、電気特性検査の際に、図示しない検査対象の半導体集積回路に接触させる。 （もっと読む）

本発明は、入射光を拡散する粗い上面（１５００）と断面とを有するポストと、自動画像認識に適したらか滑な反射面を有し、かつポストの断面よりも小さい断面を有する、ポストの粗い上面にリソグラフィーでメッキされた先端部とを備える微細加工された先端部（６８０）及びポスト構造（６７０）に関する。
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本発明は、マイクロ電子デバイス上の接触パッドに対する電気的接続を形成するプローブに関する。長さ、厚さ、幅、近位端及び遠位端を有する脚部が基板に接続される。該脚部の長さは、その幅よりも大きい。長さ、幅、厚さ、近位端及び遠位端を有するトーションバーは、該トーションバーの近位端において、該脚部の遠位端に接続される。該トーションバーは、第１の面内にある。長さ、幅及び厚さを有するスペーサは、該トーションバーの遠位端に接続される。長さ、幅、厚さ、近位端及び遠位端を有するアームは、該アームの近位端において前記スペーサに接続される。該アームは、第２の面内にあり、また、該第２の面は、該第１の面とは異なる面内にある。上部側及び底部側を有する第１のポストは、該アームの遠位端の近傍で該アームに接続される。チップが該ポストの上部側に電気的に接続される。
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