【課題】複数のＯＣＭを有する装置の小型化を図りつつクロストークを防止すること。
【解決手段】光チャンネルモニタは、偏波調整部、波長分離部、偏光分離部、第１強度検出部及び第２強度検出部を備える。偏波調整部は、波長多重光である第１光信号および第２光信号のうち第１光信号の偏波面を第１の方向に、第２光信号の偏波面を第１の方向と直交する第２の方向に調整する。波長分離部は、偏波面の方向が調整された第１光信号および第２光信号に多重化されている光信号それぞれを波長ごとに分離する。偏光分離部は、波長ごとに分離された光信号それぞれを、偏波面の方向に基づいて分離する。第１強度検出部は、分離された光信号のうち偏波面の方向が第１の方向である光信号を受光して第１光信号の強度を波長ごとに検出する。第２強度検出部は、分離された光信号のうち偏波面の方向が第２の方向である光信号を受光して第２光信号の強度を波長ごとに検出する。 （もっと読む）

【課題】 十分に高い分解能を有し、測定対象物からの光の分光特性を高精度に測定することのできるフーリエ分光器。
【解決手段】 測定対象物からの光の分光特性を測定する分光器は、測定対象物から入射した光のうち、第１の直線偏光状態の光を射出する偏光子（１）と、偏光子を経た第１の直線偏光状態の光に位相差を可変的に付与する可変位相部材（４）と、可変位相部材に入射した光が複数回に亘って可変位相部材を透過または反射するように光を導く導光部材（２，３）と、可変位相部材を経て入射した光のうち、第１の直線偏光状態の光の偏光方向と直交する方向に偏光方向を有する第２の直線偏光状態の光を射出する検光子（５）と、検光子を経た第２の直線偏光状態の光を検出する光検出器（６）と、可変位相部材により付与される位相差と光検出器で検出される光強度とに基づいて、測定対象物からの光の分光特性を測定する測定部（７）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、容易な制御でＯＳＮＲを測定することのできる光スペクトラムアナライザ及び光スペクトラム解析方法の提供を目的とする。
【解決手段】本願発明の光スペクトラムアナライザ９１は、波長可変バンドパスフィルタ１２の透過波長を波長掃引信号発生部１８で掃引したときのＰＤ１４−１の受光レベルＰＤ１及びＰＤ１４−２の受光レベルＰＤ２を用いて被測定信号光のスペクトラムを求め、被測定信号光の信号光波長λ_Ｐ近傍の第１波長λ_１及び第２波長λ_２での受光レベルＰＤ１及び受光レベルＰＤ２からなるデータグループを複数求め、データグループごとのＡＳＥノイズパワーＰ_ＡＳＥを算出し、複数のデータグループのＡＳＥノイズパワーＰ_ＡＳＥを用いて信号光波長λ_ＰにおけるＡＳＥノイズパワーＰ_ＡＳＥ［λ_Ｐ］を算出し、被測定信号光のスペクトラム及びＡＳＥノイズパワーＰ_ＡＳＥを用いてＯＳＮＲを算出する。 （もっと読む）

【課題】物質固有の減衰係数による影響を軽減して計測精度を向上させた多波長同時吸収分光装置を提供する。
【解決手段】キャリアエンベロープオフセット（ＣＥＯ）ロックされた光周波数コム光源から出力されるレーザ光を２つのレーザ光へ分岐する分岐部(120)と、分岐されたレーザ光のうち一方のレーザ光をプローブ光として測定対象物を設置するキャビティ(131)に入射してこのプローブ光の出力波形を抽出するプローブ光抽出部(130)と、分岐されたレーザ光のうち他方のレーザ光をリファレンス光として周波数をシフトし、この周波数をシフトしたリファレンス光を前記キャビティ(131)と同じ構成でかつ真空状態のキャビティ(142)に入射してリファレンス光の出力波形を抽出するリファレンス光抽出部(140)と、プローブ光とリファレンス光を干渉させる干渉信号導出部(150)と、前記干渉信号の光周波数コムのモード毎の光強度を導出する干渉信号調整部(160)とを設けた。 （もっと読む）

【課題】分光素子において、大きさの縮小化と、分光素子と受光素子の位置合わせの高精度化を可能にするとともに、感度を向上させた分光素子を実現する。
【解決手段】上方に開口した孔部を有する金属板からなる分光素子。孔部の水平断面は、互いに平行でない少なくとも一対の対向面を有する多角形である。孔部の内側面は鏡状の反射面となっており、開口から孔部に入射した偏光を、反射面において反射することによる干渉によって、孔部の内部に定在波を生じさせて、前記入射光を複数の波長帯に分光する。入射光が分光した分光分布の局在位置となる分光素子の下面に受光素子を配置することによって、分光分布を電気信号に変換する。 （もっと読む）

【課題】 回折格子や分光器を用いないで、対象物の表面の色、吸収などを簡易迅速に検出するための軽量、小型、低コストのセンサを与えること。
【解決手段】 筐体と、筐体の内部に設けられ複数の波長の光を発生する光源と、筐体の内部に設けられ光源から発生した複数波長の光を直線偏光にして分岐し第１分岐光ｇを交番電界を掛けたポッケルス効果素子を含む光路Ｇに通し第２分岐光ｈを誘電体あるいは反対向きの交番電界を掛けたポッケルス効果素子を含む光路Ｈに通して分岐光ｇ、ｈの間に周期的な位相差を与え合波して試験光Ｓとする干渉部と、試験光Ｓを外部の試料にあてるための筐体に設けられた窓と、試料からの反射光を受光する受光素子と、受光素子によって得られた時間的光強度変化を、交番電界の変化に同期してフーリエ変換する演算部と、フーリエ変換によって得られた波数分布Ｒ（ν）を記憶表示する記憶表示部を含む。 （もっと読む）

【課題】本開示は概略的に、多重波長作像分光器に対する方法および装置に関する。より詳細には、一実施例において本開示は、光子を貫通通過させる光学フィルタに関する。
【解決手段】前記フィルタは、第１フィルタ・ステージおよび第２フィルタ・ステージを含む。前記第１フィルタ・ステージは、第１リターダ要素と第１液晶セルとを含み得る。前記第１要素は、入力面および出力面を含み得る。前記第１要素の各面のひとつは、当該フィルタを貫通通過する光子の軌跡に対して実質的に直交しては配向されない。

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【課題】本発明は、分光器に関し、より詳細には、エタロンベースの分光器に関する。
【解決手段】第１の複光路エタロンベース分光器が開示される。好ましい実施形態において、第１の複光路エタロンに適合する第２のエタロンが使用され、極めて正確なフリンジデータを生成する。拡散ビームのスペクトル成分は、エタロンを通って透過される時に角度的に分離される。再帰反射器は、透過された成分を該エタロンを通して反射して戻す。２度透過されたスペクトル成分は、第２のエタロンを通って進み、第２の好ましい実施形態ではフォトダイオード・アレーである光検出器上に集束する。該分光器は、非常にコンパクトであり、きわめて正確なフリンジデータを生成し、Δλ_FWHM及びΔλ_95%の両方に関してマイクロリソグラフィーに必要な精度を伴う帯域幅測定を可能にする。 （もっと読む）

一態様において、本発明は方法に特徴があり、その方法は、干渉分光法システムにおける干渉計を用いて、第１ビーム経路と第２ビーム経路との間の光路差に関係づけられる位相を含む出力ビームを生成することであって、第１ビームは第１の箇所における測定物体に接触し、第１ビームまたは第２ビームは第２の箇所における測定物体に接触し、第１の箇所および第２の箇所は異なる、出力ビームを生成すること、第１の箇所における測定物体の不完全性に起因し、かつ第２の箇所における測定物体の不完全性に起因するずれであって、第１ビーム経路または第２ビーム経路の公称ビーム経路からのずれによって生じる光路差への影響に対処する事前校正済み情報を提供すること、出力ビームから得られる情報および事前校正済み情報に基づいて、少なくとも１つの自由度について測定物体の位置を決定すること、を含む。
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