【課題】微小な傾斜構造体を製造可能な製造方法を提供する。
【解決手段】基板の上方に第１の層を形成する工程（ａ）と、第１の層の上方に第２の層を形成する工程（ｂ）と、第２の層に、基板の面と交差する方向の端面を形成する工程（ｃ）と、第２の層の端面をエッチングすると同時に、第２の層の端面のエッチングによって露出した第１の層を順次エッチングする工程（ｄ）と、を含む。基板の面方向における第２の層のエッチングレートは、第１の層のエッチングレートより大きいことが望ましい。 （もっと読む）

【課題】広視野分光イメージングを行う場合であっても高精度に分光特性を測定することができる分光特性測定装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】測定モードでは被測定物の各輝点から発せられた光を分割光学系を通して第１及び第２反射部に入射させ、そこで反射された光を結像光学系によって干渉像を形成する。第１反射部を移動させることにより分割光学系から第１及び第２反射部を経て結像光学系に向かう第１及び第２反射光の間の相対的な光路長差を伸縮させ、そのときの干渉像の光強度変化に基づき被測定物の各輝点のインターフェログラムを求める。校正モードでは、輝点から出射される所定波長λの光を分割光学系に入射させることにより、該輝点に対応する複数の干渉像を形成させ、そのときの光強度変化に基づき該光強度変化の１周期に対応する第１反射部の移動量を求め、輝点の波長λ、第１反射部の移動量、前記干渉像の画角θから前記第１反射部の設置角を求める。 （もっと読む）

【課題】光学要素の移動を伴わない簡単な構成でありながら、分光精度・分光再現性の高い小型の分光光学装置と分光分析装置を提供する。
【解決手段】分光光学装置１０は、遮光板５と可変焦点レンズ６と受光部９を有する。遮光板５は、光軸ＡＸを含む軸上領域Ａ２に対する入射光を遮り、光軸ＡＸから離れた軸外領域Ａ１に対する入射光の少なくとも一部を透過させる。可変焦点レンズ６は、遮光板５を透過した光を収束させる正の屈折力を可変に有する。受光部９は、可変焦点レンズ６の屈折力の強さにかかわらず可変焦点レンズ６に対する相対位置が固定であって、可変焦点レンズ６から射出した光を軸外側から光束規制して受光する。 （もっと読む）

本発明は、受け取られた光のスペクトル成分を検出するスペクトル検出装置１００であって、前記受け取られた光をフィルタリングする及び所定の波長範囲内の波長を有する光を出力するフィルタリング構造１１０と、フィルタリング構造１１０により出力された光を検出する光センサ１２０とを有するスペクトル検出装置１００において、フィルタリング構造１１０は、時間とともに前記所定の波長範囲の変化を可能にするように可変である、スペクトル検出装置１００に関する。この配置は、低い費用において、提供されることができる小型のスペクトル検出装置を可能にする。
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【課題】透過または反射スペクトルが測定可能であり、上述の制約を受けない波長分光装置を提供する。
【解決手段】本発明は、基板上に、スペーサ膜によって離間された２つのミラーで構成されるフィルタ・セルＣＦを備え、該フィルタ・セルが複数の干渉フィルタで構成される波長分光装置に関する。さらに、上記装置は複数の放射源を備える放射セルＣＥをさらに備え、上記放射源が各々上記干渉フィルタの１つと関連付けられる。
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【課題】透過帯域の波長に対する透過帯域幅の変化を抑制する。
【解決手段】間隔をあけて対向する複数のコート層２ａ，２ｂを備え、該コート層２ａ，２ｂ間の光路長を調整することにより該コート層２ａ，２ｂを通過する光の透過帯域を変化させる可変分光素子１であって、透過帯域を変化させる分光波長帯域内において、任意の２つの透過帯域間の中心波長の変化の割合よりも、これら透過帯域間の透過帯域幅の変化の割合が小さくなるように前記コート層２ａ，２ｂが構成されている可変分光素子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】可動部が無く、異なった波長分布の光を放出することができるスペクトル変調器を提供する。
【解決手段】ＰＢＳ１に入射した光はそれぞれＰ偏光、Ｓ偏光成分に分けられ、２つの異なる光路へと導かれる。そして、回折格子５で波長分散された光は、各波長ごとに、ピンホールに共役な位置にピンホール像を作る。この位置に反射型のＬＣＯＳ素子アレイ７が置かれ、変調によって、直線偏光であった入射光が楕円偏光になり、反射されて入射した光路を逆にたどって進行する。ＰＢＳ１に戻ってきた光は、変調されていない光の成分は、最初に入射した方向に戻るが、変調されて偏光状態が逆になった成分の光は、射出光と書かれた方向に射出される。従って、ＬＣＯＳ素子アレイ７の各ＬＣＯＳ素子での変調の度合いを制御することにより、異なったスペクトル分布を有する光を取り出すことができ、スペクトル変調器として使用することができる。 （もっと読む）

【課題】 高速に波長掃引することができる光スペクトラムアナライザを実現することを目的にする。
【解決手段】 本発明は、コリメータ手段が被測定光を平行光にし、回折格子がコリメータ手段から入射した平行光を入射角に応じて分光し、回折格子によって分光された光をスリットを介して光検出器で検出して被測定光のスペクトラムを測定する光スペクトラムアナライザに改良を加えたものである。本装置は、コリメータ手段と回折格子との間に設けられ、平行光の被測定光を偏向し、回折格子への入射角を変える音響光学偏向器を設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）