【課題】小型化を実現し、距離バタツキや水平方向角度バタツキや垂直方向角度バタツキに対する耐性を付与することにより、例えば半導体製造プロセスやＦＰＤ製造プロセス等におけるインライン計測に好適な分光計測装置を提供すること。
【解決手段】透過位置によって透過光波長を次第に変化させる光干渉式の分光素子を前記光電変換部アレイ手段の直前に備えると共に、試料からの反射光の偏光状態の変化を検出する機能を有する受光側光学系と、前記光電変換部アレイ手段の各光電変換部から得られる一連の受光量データに基づいて偏光解析し、実測波形と理論波形とのフィッティングにより膜厚または膜質を求める。 （もっと読む）

【課題】 可視カメラのノイズに対する識別性能を客観的にかつ具体的に数値により評価することができるようにすることを目的とする。
【解決手段】 可視カメラ６の反射光の三刺激値Ｂ_X 、_Y 、_Z 、信号側の三刺激値Ｘ、Ｙ、Ｚと、ノイズの三刺激値Ｘ_N 、Ｙ_N 、Ｚ_N とからノイズ等価ＮＥＸＤ、ＮＥＹＤ、ＮＥＺＤを演算する。そのノイズ等価ＮＥＸＤ、ＮＥＹＤ、ＮＥＺＤをＬ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるパラメータΔＬ^＊、Δａ^＊、Δｂ^＊に変換する。そのＬ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるパラメータΔＬ^＊、Δａ^＊、Δｂ^＊からＬａｂ空間におけるノイズ等価輝色差ＮＥＥＤの数値を演算する。このように、３次元の色空間において、ノイズ等価輝色差を表現することができるので、可視カメラのノイズに対する識別性能を客観的にかつ具体的に数値により評価することができる。 （もっと読む）

フィルタスペクトル（７００）デコンボリューションおよび再形成の方法（１６００）および装置（１００）は、スペクトル信号（２１２）のフィルタ出力（２１４）を提供すること（１６０２）と、各スペクトルピークにおいてスペクトル信号（２１２）の強度および波長を決定すること（１６０４）を含む。フィルタ出力（２１４）は、スペクトル信号関数（２１６）およびフィルタ関数（２１８）のコンボリューションの積分として特徴づけられる（１６０６）。変換はそこで、フィルタ出力（２１４）に行われ（１６０８）、望ましくないフィルタ関数（２１８）をデコンボリューションおよび除去し（１６１０）、望ましいフィルタ関数（５０２）を追加し、出力フィルタスペクトル（７００）を再形成する。
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