【構成】
半導体チップの中空部に感ガス部を設けると共に、感ガス部に接続された複数のパッドを設ける。通気性のあるセラミックパッケージもしくはガラスパッケージの、半導体チップ側の面とその反対面とに配線を設けて、互いに接続する。パッケージのチップ側の面の配線に複数のパッドをフリップチップ接続する。
【効果】
ダイボンドもワイヤボンドも無しに、MEMS型ガスセンサをプリント基板へ組み付けることができる。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であると共に検出開始時並びに検出対象ガスの濃度変化時の応答性に優れるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１は、支持体２、リード線５１，５２，５３、センサ素子６、及び有孔の防曝部材７を備える。前記支持体２は、絶縁性の部材と、この部材の表面上に形成された導体配線とを有し、且つ外部へ開口する配置空間８が形成される。前記リード線５１，５２，５３は、前記導体配線に接続されて、前記支持体２から前記配置空間８へ突出する。前記センサ素子６は前記配置空間８内で前記リード線５１，５２，５３によって支持されると共に前記リード線５１，５２，５３に電気的に接続される。前記防曝部材７が前記配置空間８を覆っている。 （もっと読む）

【課題】被測定ガスである酸化性ガスのＮＯ_２を吸着することなく、有機シリコーンガスを選択的に吸着させることができるようにして、センサの感度や応答特性の低下を防止し、センサ性能の長期安定を図る。
【解決手段】 ケース２０の内部に、酸化性ガスに感応するガスセンサ素子５０を収容し、ケース２０には同ガスが同センサ素子５０に接触可能のガス導入口２３がある。同ガスを同センサ素子５０に接触させてその濃度を検出する構成のガスセンサ１で、被測定ガスが、ガス吸着フィルタ７１を通過して同センサ素子５０に接触する構成のガスセンサで、ガス吸着フィルタ７１に、挟雑ガス吸着剤として、ＴｉＯ_２粉末を含ませてなるものを用いた。ＴｉＯ_２粉末を含ませてなるガス吸着フィルタ７１は、ＮＯ_２を吸着することなく、有機シリコーンガスを選択的に吸着、除去するから、酸化性ガスの検知感度がよくなる。 （もっと読む）

【課題】 ブラケットにケースのガス導入口に測定対象気体を導く通気孔を設けた場合にも、ブラケットの強度を良好に確保し、従来と比較して小型化を図ることができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】 ガスセンサ１００のブラケット部７は、板片部７１とケース本体部６との間に肉厚に構成された補強部７５を有する。その補強部７５に開口した通気孔８０を通過した空気は、ケース本体部６の背面側の蓋部３から突出させた膨出部４０の縁端部５６よりケース部２内に取り込まれ、ガス排出口５４より排出される流路ＡＦを辿り、その際に特定ガスの検出が行われる。通気孔８０は補強部７５のリブ７７を残して開口されるので、補強部７５の強度が低下することはない。また、通気孔８０を補強部７５に設け、通気孔のための構成を別途設けないことで、ガス検出装置１の小型化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】点検ガスによる点検を確実に行えるガスセンサ及びガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガスセンサＡは、軸方向の一端側にガス流入口８を有し内部に金属酸化物半導体からなる感ガス体１を収納する円筒状の収納容器２３と、軸方向の一端側の開口部からガス流入口８側を先頭にして収納容器２３が嵌着されるとともに、他端側の端面に通気孔１０が形成されたフィルタキャップ７と、通気孔１０とガス流入口８との間のガス流路に設けられて妨害ガスおよび被毒ガスを吸着する吸着材１２とを備え、フィルタキャップ７の開口部から、収納容器２３の外周面とフィルタキャップ７の内周面との間の隙間を通ってガス流入口８に点検ガスを導入する点検ガス導入路２２を設けるとともに、フィルタキャップ７の、開口部側の周面に切欠１９を形成し、この切欠１９の周りの周面から径方向の外側に向かって点検ガスを切欠１９に導くガイド壁２０を突設してある。 （もっと読む）