【課題】被検査面の全ての箇所について、検査に必要な画像を取得するための撮像を行えるような設定を、簡単かつ高い確度で実行する。
【解決手段】検査対象のワークＷをロボット３により位置および姿勢を変更可能に支持しながら、固定されたカメラ１および照明装置２を用いて撮像する。検査に先立ち、ワークＷの表面形状を三角平面の集合体として表したＣＡＤデータを用いて、被検査面全体の法線方向ヒストグラムを作成し、そのヒストグラムの分布状態に基づき複数の撮像方向を定める。さらに撮像方向毎に１または複数の代表点を定め、代表点毎に視野対応領域を設定し、各視野対応領域において、その領域を定められた方向から撮像したときに検査に適した画像を取得可能な三角平面を抽出する。撮像方向の決定から三角平面の抽出までの処理は、被検査面に対応する全ての三角平面が抽出されるまで繰り返し実行される。 （もっと読む）

【課題】液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネル型ディスプレイに用いられるガラス基板上のＴＦＴ回路のパターンの欠陥が、基板に異物が付着した場合に、このパターンがショート欠陥かオープン欠陥かを識別する。
【解決手段】反射光源３３からの反射照明光３４をハーフミラー３２によってステージ３０上のパネル３１の表面に導き、このパネル３１の反射光を第１の撮像カメラ３８に取込む。またステージ３０の下側の透過光源４２からの透過光４３によって、パネル３１の透過観察像を取込み、この透過観察像をハーフミラー３２を通して第２の撮像カメラ３７に取込み、画像制御ユニット３９によって第１の撮像カメラ３８からの映像信号と第２の撮像カメラ３７からの映像信号とを処理して、基板３１に異物が付着していた場合に、パターンがショート欠陥かオープン欠陥かを識別する。 （もっと読む）

【課題】容器蓋の影が撮像手段に投影されることが無いようにし、内部に混入した異物を安定的に検出することができるようにしたい。
【解決手段】液体が封入された透明な容器１に照明光を照射し、撮像手段１６で得た容器の映像から容器内の異物を検出する容器内異物検出装置であり、撮像手段１６は容器の底部側に配置してあり、容器に照明光を照射する照明装置は容器の蓋側に設置した第1の照明手段１５Ａと容器の底部側に設置した第２の照明手段１５Ｂからなり、第２の照明手段１５Ｂにおける照明光は容器１の側面を照射するものとした。 （もっと読む）

【課題】 従来の外観検査装置では困難であった表面欠陥を効率よく検出し、かつ検出欠陥の種類別を判定することができる外観検査装を提供する。
【解決手段】 照明・撮像系２は、被検査物である銅張積層板に光を斜め照射し、画像を撮像する。画像処理装置３は、照明・撮像系２から送られた画像を処理する。複合処理装置４は、画像処理装置３により処理された画像に対して複合処理を施して表面の欠陥を検知し、さらに表面の欠陥の種類を判定する。 （もっと読む）

【課題】照明手段の電子制御可能な可変レンジが複数の同じタイプのシステムのために維持される装置と方法を提供する。
【解決手段】本発明は、光源と検査のためにウェーハを照明する照明光学系とを有するウェーハを自動的に検査するための装置に関し、照明光学系が照明パワーを調節する可変グレーフィルタを有する。 （もっと読む）

【課題】 パネル内面側の欠陥とパネル外面側の汚れとを高精度に判別することができ、パネル内面側の欠陥を正確に検出して作業者に通知することが可能な陰極線管の検査装置、及びこれを用いた陰極線管の製造方法を提供する。
【解決手段】 パネル４０の外面側で反射された反射光を受光することにより、パネル外面側を撮像するＣＣＤカメラ（第３の撮像部）１０ｃ、及びＣＣＤカメラ１０ｃの撮像結果を用いてパネル外面側の汚れを検出する汚れ検出手段５０ｂを設ける。そして、欠陥検出手段５０ｃにより、抽出手段５０ａでＣＣＤカメラ（第１及び第２の撮像部）１０ａ、１０ｂの撮像結果を用いて抽出されたパネル内面側の欠陥及びパネル外面側の汚れを含んだ当該パネル４０の欠点から、汚れ検出手段５０ｂで検出されたパネル外面側の汚れを除いて、パネル内面側の欠陥を検出させる。 （もっと読む）

【課題】ブラシ模様を有するステンレス鋼板であっても、ヘゲ疵とブラシ模様とを好適に区別し、それぞれを検出し得るステンレス鋼板の表面検査方法およびステンレス鋼板用表面検査装置を提供する。
【解決手段】このステンレス鋼板用表面検査装置１０は、ブラシ模様９０を有するステンレス鋼板１００の表面に検査用の光８０を投光する光源１と、その光源１から投光されてステンレス鋼板１００の表面で反射した反射光のうち、正反射成分６０を受光する正反射カメラ２と、反射光のうち、乱反射成分７０を受光する乱反射カメラ３と、処理装置４とを備えている。そして、処理装置４は、正反射カメラ２で受光した正反射成分６０のグレイ値に基づいて疵欠陥９５の有無を検出する疵欠陥検出手段と、乱反射カメラ３で受光した乱反射成分７０のグレイ値に基づいてブラシ模様９０の程度を弁別するブラシ模様弁別手段と、を備えて構成されている。 （もっと読む）