【課題】背景が含まれる場合であっても、背景の明るさの影響を低減して検査対象物表面の明るさを自動的に調整することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、撮像領域を前記撮像部で撮像した画像に対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、撮像部から出力された画像の撮像領域内に設けられ、各々が複数の画素を含む複数の小領域ごとに、検査対象物が存在する可能性を示す特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、少なくとも検査対象物を含む画像の明るさの評価値を算出し、算出した評価値に基づいて、画像の明るさを調整するための調整信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】回折光や散乱光等の外乱による影響を受けにくく、パターンの微細化に十分対応できる基板検査装置及びマスク検査装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板検査装置は、検査データの取得と対物レンズ（８）の焦点データ信号の取得を並行して行う。検査中に対物レンズの光軸方向の位置を制御するオートフォーカス装置は、焦点誤差信号を出力する焦点誤差検出手段（４０）と、対物レンズ位置信号又は焦点誤差信号が加算された対物レンズ位置信号により構成される焦点データ信号を用いて対物レンズの光軸方向の位置を制御する焦点制御信号を走査ラインごとに生成する焦点制御信号生成手段（６０）とを有する。ｉを正の整数とした場合に、ｉ番目の走査ラインの走査により取得した焦点データ信号を用いて生成された焦点制御信号は、（ｉ＋２ｍ）番目の走査ラインを走査するときの焦点制御信号として用いられる。 （もっと読む）

【課題】ヘイズのような微小な段差の異物を簡素な構成の装置により正確に検出する。
【解決手段】レチクル検査装置１００は、レチクル３に照射される照射光１０を発光する光源（例えばレーザ１）を有する。レチクル検査装置１００は、レチクル３の表面３ａにおける照射光１０の照射位置Ｐを調整し、該照射光１０をレチクル３上で走査させる照射位置調整部と、レチクル３の表面３ａからの正反射光１１を受光する受光部（例えばフォトマル８）とを有する。レチクル検査装置１００は、受光部により受光される正反射光１１の光量の変動に基づいてレチクル３の表面３ａの異物（例えばヘイズ）の有無を判定する判定部（制御部９）を有する。 （もっと読む）

【課題】 前面ガラスの裏面に配置された異種の物質の影響を受けずに、前面ガラスの損傷を低コストで検知すること。
【解決手段】 薄型表示装置は、表示部の前面ガラスの損傷を光学的に検出する機能をもつ。光源１１乃至１７は前面ガラス３０に対して光を発し、光は前面ガラス３０の端面３１から入射して内部を進行し、前面ガラス３０の端面３２から出射して受光素子２１乃至２９に到達する。前面ガラス３０にヒビ８が生じた場合、受光素子２１乃至２９が検出する受光量が変化し、損傷の発生が検出される。 （もっと読む）

【課題】ボアの内側表面の傷の検出精度を高める。
【解決手段】シリンダブロック５に切削加工で形成したボア３の内側表面３Ａに光を照射しながら走査し、前記光の反射光の光量に応じた検出信号Ｓｋを出力するセンサヘッド７と、前記検出信号Ｓｋに基づいて前記内側表面３Ａの傷を検出する検出部５３と、を備え、前記検出部５３は、前記センサヘッド７の走査位置Ｐでの走査方向と前記切削加工の切削加工痕Ｍの方向との交差角度αに応じて前記傷と判定する前記検出信号Ｓｋの傷判定用閾値電圧Ｖｃを変更する表面検査装置９を構成した。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、試料の検査に用いられる検査システムの検出範囲を拡張する検査システムと方法に関する。一実施態様に準じ、検査システムは、散乱光を受け取り、出力信号に変換するように結合された複数のステージを有する光検出器と、少なくとも一つのステージを飽和させることで、それによって光検出器が非線形領域で作動するように強制し、光検出器の検出範囲（従って、検査システムの検出範囲）を拡張するように接続された電圧分割ネットワークを備え得る。このことは、光検出器が非線形的に作動することを強制する。しかしながら、測定の不正確さは、少なくとも一つのステージを意図的に飽和させることで生成され得るあらゆる非線形効果を除去するように光検出器の出力を較正することで避けられる。一例に於いて、光検出器の出力を散乱光の実際量に変換するように較正中に値表を生成可能である。 （もっと読む）

【課題】 複数の発光体の輝度低下を正確に把握して適切な輝度補正が容易にできる、輝度補正付き照明装置を有する画像処理システムを提供する。
【解決手段】 輝度補正部１０により、検査対象物Mの検査時に、画像上の輝度分布情報に基づいて、照明装置１の設置時における照明使用開始時から検査時における照明使用時までの間に生じた複数の発光体１ａの輝度の低下傾向が正常か否かを判断し、正常と判断したとき、当該低下した輝度を回復させるように、照明用電源１ｂを制御するので、現在の照明使用時における発光体１ａの輝度低下を正確に把握できるから、複数の発光体１ａの輝度低下を正確に把握して適切な輝度補正が容易にできる。 （もっと読む）

【課題】 ローラに付着してシート上にしわや凹凸状の欠陥を発生させる異物を確実かつ容易に検出可能な異物検出装置及び異物検出方法を提供する。
【解決手段】 異物検出装置（１０）は、ローラ（３）に光を照射する光源（７）と、ローラ（３）からの反射光を受光して当該ローラ（３）の画像を撮像する撮像手段（８）と、撮像手段（８）により撮像された撮像画像の輝度の変化を輝度データとして抽出する輝度データ抽出手段（１３）と、前記撮像画像の輝度データが予め設定された閾値内か否かを判定し、その閾値外の場合にローラ（３）に付着した異物と判定する判定手段（１４）とを備える。 （もっと読む）

光電子増倍管（ＰＭＴ）検出器の測定検出範囲の制限要因として陽極飽和に対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路、方法が提供される。検査システムの測定検出範囲の制限要因として増幅器及びアナログ・デジタル回路の飽和レベルに対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路及び方法も提供される。加えて、表面検査の走査の間に試料に供給される入射レーザ・ビームパワー・レベルを動的に変更することによって大きな粒子に対する熱破損を削減することにより欠陥検出を強化するための検査システムや回路、方法が提供される。
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