サンプリング装置およびサンプルを入手する方法が提供される。装置は、本体、本体に連結されたヘッド、および基板をヘッド上に保持するための機構を有する。装置は、ある領域がすばやくかつ十分にサンプリングされることを可能にしながら、サンプルの二次汚染および分析器内におけるサンプルの不正確な配置を最小限に抑える。
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【課題】 少なくとも油分抽出能力をクロロトリフロロエチレンダイマーを用いた場合と同等に維持しながら、オゾン破壊係数だけでなく、地球温暖化係数も小さくできる油分濃度測定方法および油分濃度測定装置を提供すること。
【解決手段】 油分を含んだ液体に油分抽出用溶媒を加えて油分を抽出した油分抽出用溶媒を赤外吸光法によって分析する油分濃度測定装置において、前記油分抽出用溶媒としてハイドロクロロフルオロカーボンを用い、油分を抽出したハイドロクロロフルオロカーボンが供給されるセル１１と、その一端側に配置された赤外光源１６と、セル１１の他端側に配置された光学フィルタ１９，２０および赤外光検出器１７，１８とを備えている。 （もっと読む）