【課題】確実で直接的な試料の取り扱いを可能とする。
【解決手段】電子顕微鏡、特に透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いた検査用試料を調製する方法であって、（ａ）試料位置に、調製すべき試料を含む基板１０を真空チャンバ内に配置する工程と、（ｂ）保護層２１を試料位置の表面上に設ける工程と、（ｃ）保護層２１をマスクとして、保護層２１下に位置する試料をイオンビーム１９によって基板１０から分離し、（ｄ）分離した試料１２を、真空チャンバ３２内で基板１０から取り去る工程を備える。 （もっと読む）