【課題】光学ビームの周波数を安定化する分光器アセンブリを提供する。
【解決手段】分光器アセンブリ７は熱分離プラットフォーム４００、ガス４１を囲い、熱分離プラットフォームに取り付けられるガス参照セル４０を含み、ガス参照セルは、少なくとも１つの光学透明窓４１５、囲まれるガスの温度を上昇させるように構成される少なくとも１つのヒーターを備える。ビームスプリッタ３０が、レーザー１０から放射される入力光学ビームの一部が反射されてガス参照セルの少なくとも１つの光学透明窓に入射するように構成される場合、入力光学ビーム２０の反射された部分は、ガスを二度通過する。検出器３５０がガスを二度通過した光学ビームを受け取るように構成される場合、レーザーを安定化させるために、レーザーにフィードバック信号５０が提供される。 （もっと読む）

【課題】赤外線の影響によるノイズを十分に抑制する。
【解決手段】ガス流通路の上流側から下流側を見たとき、上流抵抗体（１ｂ）の各抵抗線と下流抵抗体（２ｂ）の各抵抗線とが同じ面積で見えるように、上流抵抗体（１ｂ）の各抵抗線および下流抵抗体（２ｂ）の各抵抗線が交互に配置されている。
【効果】赤外線がガス流通路の壁面などで反射して間接的に熱線式フローセンサ（１０）に入射してきても、上流抵抗体（１ｂ）に間接的に入射する赤外線と下流抵抗体（２ｂ）に間接的に入射する赤外線とに強さの差がほとんどなくなる。従って、赤外線の影響によるノイズを十分に抑制することが出来る。 （もっと読む）

【課題】個々の受光素子間での固有のバラツキを低減し、測定環境が変動しても、受光素子による検出値の比較を精度良く行うことができ、各受光素子間の光のクロストークを低減した光検出器を提供する。
【解決手段】参照光受光素子３１側の領域と信号光受光素子３２側の領域とを内側キャップ仕切り板３７ｃによって分割する。よって、受光素子３１，３２間での光のクロストークが低減され、異なる光路上の光を精度良く検出することができる。受光素子チップ３４上に隣接して形成された受光素子３１，３２を用いる。このため、受光素子３１，３２間での固有のバラツキを低減することができる。よって、測定環境が変動しても、受光素子３１，３２間での検出値の変動が同じ変化特性となり、これらの検出値の変動の相殺を容易に行うことができる。従って、受光素子３１，３２による検出値の比較を精度良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、雰囲気温度が変化しても半導体レーザから常に設定された一定の波長のレーザ光が発光されるように半導体レーザを制御し、吸収スペクトルに基づく排ガスの温度とその中に含まれるガス成分の濃度を安定して計測できるガス分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のガス分析装置は、計測対象ガス成分が吸収する波長を含む波長帯のレーザ光を発光するレーザ光発光部20と、レーザ光発光部20で発光されたレーザ光を排気ガス中に照射する照射部15と、排ガス中を透過したレーザ光を受光して電気信号に変換する受光部24と、前記受光部24からの電気信号に基づいて排ガスに吸収された吸収スペクトルを解析する解析装置19とを備えている。前記レーザ光は既知濃度の計測対象ガス成分が封入された参照セル22を透過して用受光部24で受光されるように構成されており、前記解析装置19で得られた吸収スペクトルのピーク値が波長帯における所定の位置になるように半導体レーザ10の波長掃引制御を行う。 （もっと読む）

【課題】ガスを封入した後のガス漏れ発生を抑制可能な相関セル、ガス分析装置及び相関セルの組み立て方法を提供する。
【解決手段】ホイール４は、外周面から半径方向に延びて雌ねじが形成される連通路４４と、略平たんに形成された取付面４６と、を有する。窓板５は、所定の厚さを有する透光性の板材である。ねじ部材６は、雄ねじ部６３と、雄ねじ部６３の先端である端部６１と、雄ねじ部６３よりも大径のねじ頭６２と、を有する。ホイール４の連通路４４の長さ方向に関して、ホイール４の端部４７の位置は、ねじ部材６の端部６１の位置よりも測定ガス室４２又は比較ガス室４３に近い。 （もっと読む）

【課題】所要のガス検知を高い精度でかつ高い安定性で行うことができ、しかも、小型・軽量化および省電力化を図ることのできる赤外線式ガス検知器を提供すること。
【解決手段】被検ガスが導入されるガス導入空間を形成するサンプルセルを備え、このサンプルセル内の一端に点滅駆動される赤外線光源が配置されていると共に他端に赤外センサが配置されてなるガス検知部を有する赤外線式ガス検知器であって、サンプルセル内には、赤外線に対して不活性なガスが封入された測定ガス室および検知対象ガスと同種のガスが封入された比較ガス室を有するガスフィルタが設けられており、赤外線光源から測定ガス室を介して赤外センサに至る赤外線光路を有する測定光学系および赤外光源から比較ガス室を介して赤外センサに至る赤外線光路を有する測定光学系の２つの測定光学系が、共通のガス導入空間内に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ガス封入作業時におけるガス漏れの程度が小さく、所期の機能が確実に得られ、しかも、気密性の高いガス検知用相関セル（以下「相関セル」という。）およびこのような相関セルを高い作業性で確実に作製することのできる方法、並びに所期のガス検知を高い信頼性をもって確実に行うことのできる赤外線式ガス検知装置を提供すること。
【解決手段】相関セルは、検知対象ガスと同種のガスが封入された測定ガス室および比較ガスが封入された比較ガス室を有するものであって、測定ガス室および比較ガス室の各々に連通するガス封入用流路を封止した後、測定ガス室および比較ガス室の各々に所定のガスを封入することにより得られたものである。赤外線式ガス検知装置は上記相関セルを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】
水素解離用触媒を蒸着した構造を持つ光学式水素センサにおいては、貴重な貴金属である水素解離用触媒の使用量を減少させつつセンサの応答性を保つことは困難であった。
【解決手段】
基板上に補助触媒薄膜を蒸着した後、その上に金属酸化物薄膜を作製し、更にその上に水素解離用触媒を蒸着することによって、少量の水素解離用触媒の使用によってもセンサの応答性を低下させることなく水素を検知可能な水素センサ。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡易で、小型化が容易な分光式ガスセンサを提供する。
【解決手段】 赤外線を発生する赤外線光源と、光強度を電気信号に変換する受光素子と、検出ガスを含む大気を介して赤外線光源の光を受光素子に導く導光管と、を有する分光式ガスセンサであって、検出ガスの光吸収波長に隣接する特定波長域の赤外線を吸収する特定波長光吸収部を受光素子の前面に有してなり、前記特定波長光吸収部は、導光管を塞ぐように導光管と一体成形してなるものである。 （もっと読む）

【課題】 熱応答性に優れ、高速のオンオフ動作が可能な赤外線光源を使用した場合に、簡単な構成で高精度の測定を行うことのできる赤外線ガス分析計および赤外線ガス分析方法を実現する。
【解決手段】 試料ガスが流通する試料セルを有し、この試料セルを通過した赤外光における吸収量の変化を利用して、試料ガス中の測定対象成分濃度を検出する赤外線ガス分析計において、試料セルに赤外光を照射する第１の赤外線光源と、この第１の赤外線光源と等しい応答特性を有する第２の赤外線光源と、前記第１の赤外線光源から出射され前記試料セルを通過した第１の赤外光と前記第２の赤外線光源から出射された第２の赤外光との差を検出する検出器と、前記第１および第２の赤外線光源を同期的に駆動する光源駆動制御部と、この光源駆動制御部に対して前記第１および第２の赤外線光源の駆動量を指示するとともに前記検出器からの出力信号を受け、試料ガス中の測定対象成分濃度に応じた測定出力を発生する測定制御部とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 試料気体中の微量物質の濃度を、装置コストを高くすることなく、且つ、ｐｐｍ以下の濃度を高精度で測定できる、光共振器吸収セルの透過光スペクトルの半値幅を使用した気体中微量物質の濃度測定方法を提供する。
【解決手段】 試料気体を導入した光共振器吸収セル１に、連続波レーザー光３を入力し、連続波レーザー光３の周波数を掃引すると共に、掃引する各々の周波数に光共振器吸収セル１が共振するように共振器長Ｌを調節して透過光４の強度を測定し、透過光強度４の最小値を与える周波数に共振する共振器長Ｌで、上記周波数を中心周波数として周波数掃引して試料気体の透過光スペクトル８を求め、透過光スペクトル８の半値幅と共振器干渉スペクトルの半値幅とから試料気体に含まれる被測定物質の濃度を求める。 （もっと読む）