フッ素を含有するガス内のフッ素含有化学種などの対象ガス種、例えば、ＨＦ、ＮＦ_３等によるエッチ洗浄を受ける半導体処理ツールの排出物を検出するためのガス検出器及び方法。一の態様のガス検出器は、フッ素含有化学種に対し感受性のニッケル含有フィラメントを使用し、このフィラメントは、高温の検知が必要なとき、検知構成要素及び熱源の両方として機能できる。一の態様のガス検出器は、支持構造に垂直に装着されることができる細長いガスセンサ要素を使用する。このような細長いガスセンサ要素を支持構造に垂直に装着することにより、信号強度が相当高められ、応答時間が低減され、ガス検出器のフットプリントが最小にされ、またこのようなガスセンサ要素の熱膨張／収縮を受け入れるための構造的な柔軟性が提供される。

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【課題】
海水や河川水の水質観測のためのサンプリングを自動連続観測可能とし、サンプリングの際の水位変化や観測機器を搭載した浮体が不定の方向に漂流することで電線が水中の物体に絡まるなど問題を解消する。
【解決手段】
コイル型自動水面水質観測装置であって、１つの観測装置２６、１つの観測センサー３１、センサーを載せる浮体３０、浮体に連結するロープ２０及びセンサーと１つの観測装置を連結する信号ライン２５から構成され、ロープはトルクスプリング１３を備えたスプール１０によって水位変化に対応して繰り出され、また信号ラインはコイル状に前記ロープに配置されることにより水位変化に応じて延長可能であり、ロープと別体構造として安価に製造することができる。 （もっと読む）