【課題】設置に際して制限の少ない振動センサを提供する。
【解決手段】種類の異なる第一流体４１及び第二流体４２を密閉する容器４０に、流体界面４３に向けて投光する投光用光ファイバ２０と、その光を受光する受光用光ファイバ３０とを設置して、センサヘッド部５０とする。振動により流体界面４３が揺動すると受光用光ファイバ３０の受光量が変化するので、本体部１０が受光量の変化に基づいて振動を検知する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象の振動情報と高さ情報を複数点同時に計測する。
【解決手段】
光源部１１０から出射された互いに位相同期され干渉性のある参照光L_Rと測定光L_Ｍを干渉光学系１４０において分割して参照光学系１２０と測定光学系１３０に入射し、測定光L_Ｍを光分合波器１３１によりチャンネル毎に２つ以上の周波数成分を含む複数チャンネルの測定光Ｌ_ＣＨ１〜Ｌ_ＣＨｎに分離して測定面１０の複数の測定点に照射し、測定面１０で反射されて戻ってきた複数チャンネルの測定光Ｌ_ＣＨ１〜’Ｌ_ＣＨｎ’を測定L_Ｍ’として測定光学系１３０から干渉光学系１４０に戻し、参照光学系１２０と測定光学系１３０から戻ってくる参照光L_R’と測定光L_Ｍ’の干渉光L_Ｘに含まれる光スペクトルを検出部１５０で検出して信号処理部１６０において各スペクトル成分を解析し、測定面１０の複数の測定点における振動情報と高さ情報を得る。 （もっと読む）

【課題】複雑な光軸調整をすることなく、可動部を有する微細部品からなる測定対象の多点の振動情報を同時に測定可能な振動計測装置を提供する。
【解決手段】所定の周波数間隔のスペクトルであり、互いに変調周波数及び中心周波数が異なり、互いに位相同期され干渉性のある参照光と測定光とを出射する光源部１０と、光源部１０で出射された測定光を周波数成分毎に分けて、可動部を有する微細部品からなる測定対象の測定面５９の複数点に顕微鏡光学系を介して照射する測定光学系と、測定光を測定光学系に入射するとともに、測定面５９で反射され顕微鏡光学系を介して入射された測定光と参照光との重ね合わせを行うための反射光学系とを有するヘッド部５０と、反射光学系によりにより重ね合わされた光に基づく干渉信号を検出する検出部３０と、検出した干渉信号に基づいて測定面５９の複数点における振動情報を解析する信号処理部７０とを備える。 （もっと読む）