【課題】試料上の微小領域を加熱し、この加熱に伴う同領域の温度計測並びに磁気計測を実施することが可能な磁気光学効果計測装置を提供するにある。
【解決手段】磁気光学効果計測装置においては、磁気計測モードにおいて、直線偏光又は円偏光の特性を与えられている第１の光ビームが発生され、また、温度計測モードにおいて、赤外波長を有する第２の光ビームが発生される。磁性体試料上の微小領域に第２の光ビームが直入射型反射光学素子によって集光されてこの領域が加熱され、この微小領域の加熱に伴いこの微小領域から輻射される赤外線が直入射型反射光学素子によって伝播されて温度が計測される。また、磁性体試料に磁界が印加された状態で、第１の光ビームが直入射型反射光学素子によって集光照射され、微小領域で磁気光学効果の作用を受けて伝播される。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハの表面温度を放射率に依存することなく精密に放射温度計測することを可能にする。
【解決手段】高温高速放射温度計用参照光源装置であって、光源用材料として貴金属箔からなるリボン２を使用し、このリボンに電流を流して光源とすると共に、該光源の前方部に、２枚のレンズ３をそれぞれの焦点距離の和の間隔を置いて配置し、かつそれぞれのレンズの焦点位置にチョッパ４を配置することを特徴とする光源装置。次世代ウエハ熱処理工程として開発中のフラッシュランプアニール法（ＦＬＡ）やレーザーアニール法（ＬＡ）において処理されるシリコンウエハの表面温度を放射温度計測するための高温高速放射温度計用参照光源装置を提供することが可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、サーモリフレクタンス法による温度測定が製造現場で可能な表面温度の非接触測定方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】測定対象の基板表面に楕円偏光を入射するステップと、基板表面による反射光を、回転検光子をとおして検出し、基準温度で回転周波数の２倍の信号がゼロになるように入射楕円偏光を調整するステップと、基準温度からの温度変化に伴う回転周波数の２倍周波数の信号を検出するステップとを含み、回転周波数の２倍周波数の信号に基づいて測定対象の基板表面の温度を算出することを特徴とする基板表面温度の計測方法及び装置。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面が振動していたりしたとしても、精確な遠隔温度測定を可能とする。
【解決部】本発明に係る放射による温度測定方法は、被測定物Ｗから放射される電磁波の異なる２つの偏光成分を用いて被測定物Ｗの温度を計測する温度測定方法であって、２つの偏光成分を測定すると共に、被測定物Ｗの振動状況を測定すべく設けられた振動測定部４の出力を検出して、２つの偏光成分のそれぞれについて、振動測定部４の出力を基に当該偏光成分に含まれる振動による外乱を除去し、外乱が除去された後の２つの偏光成分を基に、被測定物Ｗの温度を算出する。 （もっと読む）

身体部分の熱画像を解析する方法が開示される。この方法は、熱画像を表す熱データおよび身体部分の非平面状表面を表し前記熱データと関連付けられる空間データを有する熱空間表現を得るステップと、前記表面全体の前記熱データの表面積分を計算するステップと、前記表面積分の値に基づいて熱的に区別可能な領域が前記身体部分に存在する可能性を決定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】低温プロセスにおいてもウエハ温度をその場で精度良く温度測定することができる非接触方式のウエハ温度測定装置を提供する。
【解決手段】このウエハ温度測定装置は、温度測定対象であるウエハに照射された光の反射光に基づいてウエハ温度を測定する装置であって、波長が４００ｎｍ以下のＰ偏光成分を含む光を発生してウエハ１００に照射する光源部１１０と、ウエハによって反射された光を受光して、少なくとも、反射光に含まれる波長が４００ｎｍ以下のＰ偏光成分の強度を検出する受光部１３０と、該受光部によって検出された波長が４００ｎｍ以下のＰ偏光成分の強度に基づいて、温度測定対象の温度を算出する信号処理部１５０とを含む。 （もっと読む）

【課題】焼鈍炉内で熱処理される鋼板の表面温度をオンラインで連続的に測定するのに好適な、鋼板温度計測方法と装置を提供することを目的とする。
【解決手段】加熱炉の炉壁の一部に赤外波長領域での放射率が高い耐熱物質を埋め込み、該耐熱物質からの放射光が前記鋼板の表面で正反射する方向において、複数の波長の放射輝度を、各々複数の偏光角成分において測定し、その測定した複数の波長での複数の偏光角成分のおける各々の放射輝度信号と前記耐熱物質の表面温度とにもとづいて前記鋼板の放射率を算出し、該放射率を元にして前記鋼板の表面温度を算出する。 （もっと読む）