【課題】数μｍ〜数十μｍの厚膜においても、すそ引きを発生することなく、テーパ形状の精度良いパターンが形成可能である光カチオン重合性エポキシ樹脂組成物を用いた液体吐出ヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】基板１上にネガ型感光性樹脂１１の層を形成する工程と、層に対して３６５ｎｍの波長の光で露光を行い、吐出部７を形成する工程と、を有し、ネガ型感光性樹脂は、エポキシ樹脂と、光カチオン重合開始剤と、非共有電子対を有する原子を有し、非共有電子対を持つ原子が、芳香環に直接結合している、もしくはヘテロ環として取り込まれている多環式芳香族化合物と、を含む、液体吐出ヘッドの製造方法 （もっと読む）

【課題】 均一性（ユニフォミティー）に優れ、感度、解像性、現像時の密着性や現像性などパターン形成の品質を向上するフォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 ポリビニルアルコールにビニルピロリドンがグラフト重合した、ビニルピロリドン変性ポリビニルアルコールを含有してなることを特徴とするフォトレジスト組成物。前記ビニルピロリドン変性ポリビニルアルコールは、ポリビニルアルコール溶液にビニルピロリドンを配合し、重合開始剤として過酸化水素又は有機過酸化物を用いてグラフト重合し得ることができる。
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（ｉ）１つ又はそれ以上のフッ素化芳香族基、及び（ｉｉ）１つ又はそれ以上のイオン性基を包含する、架橋化合物を提供し、ここにおける架橋化合物は、少なくとも１つの極性溶媒に溶解する。架橋化合物の製造方法もまた、開示されている。更に、架橋化合物の製造方法から得られるデバイスも提供する。 （もっと読む）

（ｉ）ポリマーまたはオリゴマーおよび架橋部分を含む溶液を基板上に成膜して層を形成する工程、および（ｉｉ）不溶性架橋化ポリマーを形成する条件下で工程（ｉ）で形成された層を硬化する工程を備え、架橋部分が溶液中のポリマーまたはオリゴマーおよび架橋部分の繰返し単位のモル総数に対して０．０５から５モル％の範囲の量で工程（ｉ）に存在することを特徴とする、ポリマーデバイスを形成する方法。 （もっと読む）