燃焼性や人体蓄積性に問題がなく、発生する酸の酸性度および沸点が高く、レジスト被膜中での酸の拡散長が適度に短く、マスクパターンの疎密度への依存性が小さく、平滑性に優れたレジストパターンを形成しうる新規な酸発生剤、該酸発生剤から発生するスルホン酸、該酸発生剤を合成する原料等として有用なスルホニルハライド化合物、並びに該酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物を提供する。
酸発生剤は、下記一般式（Ｉ）で表される構造を有する。


〔但し、Ｒ^１はアルコキシカルボニル基、アルキルスルホニル基、アルコキシスルホニル基等の１価の置換基を示し、Ｒ^２〜Ｒ^４は水素原子またはアルキル基を示し、ｋは０以上の整数、ｎは０〜５の整数である。〕
感放射線性樹脂組成物は、前記酸発生剤以外に、ポジ型では酸解離性基含有樹脂を含有し、ネガ型ではアルカリ可溶性樹脂と架橋剤を含有する。
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【課題】 保存安定性に優れ、液晶表示素子製造用の大型で角状の基板においても、平坦性に優れたレジスト膜を形成することができるポジ型フォトレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂（ａ）、キノンジアジド基含有化合物（ｂ）及び有機溶剤（ｃ）を含有してなるポジ型フォトレジスト組成物であって、有機溶剤（ｃ）が、プロピレングリコールモノアルキルエーテルのエステル化合物（ｃ１）７５〜９８重量％及びアルコール性水酸基を含有する化合物（ｃ２）２〜２５重量％からなる混合溶剤であることを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】 非回転型の塗布装置を用いて大型の基板に塗布した場合でも平坦性の良好な塗布膜を得ることができる感光性樹脂組成物を提供する。また、この感光性樹脂組成物を用いるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂、感光剤及び溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物であって、これをモリブデン被覆ガラス基板に滴下したときのモリブデン被覆ガラス基板に対する動的接触角の経時変化率の時間微分値が０となるまでに要する時間が、滴下直後から２００〜８００ミリ秒の範囲内にあることを特徴とする感光性樹脂組成物。上記感光性樹脂組成物を、基板上に塗布し、乾燥して感光性樹脂膜を形成する工程、この感光性樹脂膜を所定形状のフォトマスクを介して露光する工程、及び露光された感光性樹脂膜を現像して感光性樹脂パターンを形成する工程を有するパターンの形成方法。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルディスプレイ分野に好適に用いられる、低温での熱フローが可能で、かつ剥離残の問題のない感放射線性樹脂組成物、及び前記樹脂組成物を用いる感放射線性樹脂パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂と、（Ｂ）キノンジアジド基含有化合物と、（Ｃ）アリル基を有する特定構造のフェノール化合物を含む感放射線性樹脂組成物、及び（ａ）前記樹脂組成物を基板に塗布し、（ｂ）この基板をプリベイクしてレジスト膜を形成した後、（ｃ）レジスト膜に活性放射線を照射してパターンの潜像を形成し、次いで（ｄ）アルカリ現像液で現像処理した後、（ｅ）ポストベイクして感放射線性樹脂パターンを形成するに際し、前記（ｅ）ポストベイクが、１００〜１４０℃の雰囲気下で行われる感放射線性樹脂パターンの形成方法である。 （もっと読む）

【課題】液晶表示体装置に最適に用いられる、パターン形成が容易で、色再現性、光安定性、さらに耐熱性、信頼性に優れた特性を有する感光性樹脂組成物、それを用いた表示装置及びその製造方法。
【解決手段】表示体装置のカラーフィルター用感光性樹脂組成物であって、酸性基を有する環状オレフィン系樹脂（Ａ）、光酸発生剤（Ｂ）、１３０℃以上で（Ａ）中の酸性基と結合しうる反応基を有する化合物（Ｃ）、及び着色剤（Ｄ）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】 インクのにじみ現象を最小化することができるブラックマトリクス用組成物、これを用いたブラックマトリクスパターンの形成方法及びブラックマトリクスを提供する。
【解決手段】 ブラックマトリクス用組成物は、顔料分散体４０重量部を含み、顔料分散体４０重量部に対して、光開示剤０．１乃至１．０重量部と、光重合単量体５乃至２０重量部と、フッ素原子を含み、側鎖にヒドロキシ基を有するアクリル系共重合体を含むバインダ樹脂５乃至２０重量部と、フッ素原子を含むエポキシ系単量体０．１乃至０．５重量部と、溶媒３５乃至５５重量部とを含む。ブラックマトリクス用組成物を用いて形成されたブラックマトリクスパターンは、インクのにじみ現象を最小化して液晶表示装置のカラー特性をより向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】低応力性、耐溶剤性、低吸水性、電気特性等に優れた感光性樹脂組成物とそれを用いた高位置精度、サイズ及び高さの均一性などに優れた接続端子を有するウエハーレベルチップサイズパッケージ用半導体装置を提供する。
【解決手段】 半導体回路が形成されたチップ１と、該チップの半導体回路形成側表面に設けられたデバイス端子２と、該デバイス端子と電気的に結合された外部回路基板接合用端子６とから構成されるウエハーレベルチップサイズの半導体装置において、外部回路基板接合用端子が絶縁体からなる突起部７と該絶縁体表面に設けられた金属層９からなり、該絶縁体５が酸性基を有する環状オレフィン樹脂（Ａ）と光酸発生剤（Ｂ）と１３０℃以上の温度で（Ａ）の酸性基と結合しうる反応基を有する化合物（Ｃ）を含む樹脂組成物よりなることを特徴とする半導体装置。 （もっと読む）

【課題】半導体基板や液晶表示装置等を製造する際のナフトキノンジアジドとノボラック樹脂とを含有するポジ型フォトレジストを用いたフォトリソグラフィー工程において、ナフトキノンジアジドの配合量を少なくしても、現像時の膜減率が小さく、高解像度のレジストパターンを得ることができ、更に、レジスト膜の透明性が高いため露光時の感度が高く、コスト面でも有利な回路パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】ノボラック樹脂１００重量部に対してナフトキノンジアジドを３〜２５重量部含有するポジ型フォトレジストを用いたフォトリソグラフィーによる回路パターンの形成方法であって、基板表面にポジ型フォトレジストを塗布してレジスト膜を形成する工程（１）、前記レジスト膜を露光する工程（２）、前記レジスト膜をその表面温度が１４０℃以上となるように、かつ、前記レジスト膜の表面温度が底面温度よりも高くなるように加熱する工程（３）、及び、前記レジスト膜をアルカリ水溶液中で現像する工程（４）を有する回路パターンの形成方法。 （もっと読む）

【課題】 コンピュータ等のからのデジタル信号に基づいた走査露光による直接製版が可能であり、現像ラチテュードが広く、且つ画像部のインキ着肉性に優れた平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】 支持体上に、水不溶性且つアルカリ可溶性樹脂を含む下層と、ヨードニウム塩、赤外線吸収剤、及び水不溶性且つアルカリ可溶性樹脂を含有し、赤外レーザ露光によりアルカリ性水溶液に対する溶解性が増大する上層と、を順次積層してなる記録層を有することを特徴とするポジ型平版印刷版原。 （もっと読む）

【課題】 耐薬品性、及び、耐刷性に優れたポジ型平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】 支持体上に、（Ａ）マレイミド由来の環状構造、及び、ビニルアルコールのアセタール由来の環状構造を有するアルカリ可溶性高分子化合物、及び、好ましくは（Ｂ）赤外線吸収剤を含有するポジ型記録層を設けたことを特徴とする。（Ａ）マレイミド由来の環状構造は下記一般式（１）、ビニルアルコールのアセタール由来の環状構造は下記一般式（２）で表される構造単位で有することが好ましい。
【化１】
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【課題】 デジタル信号に基づいた走査露光による直接製版が可能であり、耐刷性に優れ、かつ不要な画像部における消去性の良好な平版印刷版原版を提供する
【解決手段】 支持体上に、原料モノマーの総量に対して、１モル％以上の重合開始剤と、１モル％以上の連鎖移動剤との存在下でラジカル重合することにより得られ、アミノ酸基、好ましくは、下記一般式（Ｉ）で表されるアミノ酸基を有するポリマーを含有する中間層と、赤外線レーザー感光性ポジ型記録層と、を順次設けたことを特徴とする。一般式（Ｉ）中、Ｙはポリマー主鎖骨格との連結基を表す。Ｒ¹は水素原子又は一価の有機基を表す。Ｒ²は二価の有機基を表す。
【化１】
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【課題】特に１９３ｎｍ波長の光で露光したときに優れた溶解性をレジスト被膜に与えるレジスト組成物、およびそのレジスト組成物を用いたコントラストに優れた微細パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】（ａ）酸解離性官能基含有ポリマー、（ｂ）光酸発生剤および（ｃ）溶解抑止剤からなり、該溶解抑止剤（ｃ）が、式（１）：
【化１】


（式中、Ｒｆ¹およびＲｆ²は同じかまたは異なり、エーテル結合を含んでいてもよい炭素数１〜１０の含フッ素アルキル基；ＸはＦまたはＣＦ₃；Ｙ¹はＯＨ基または酸で解離してＯＨ基に変化する酸解離性官能基）で表される部位を有する含フッ素ノルボルネン誘導体から選ばれる少なくとも１種の単量体（ｍ１）由来の構造単位を必ず含むポリマーであるレジスト組成物を用いて微細パターンを形成する方法。 （もっと読む）

【課題】 デジタル信号に基づいた走査露光による直接製版が可能であり、耐刷性に優れ、かつ不要な画像部における消去性の良好な平版印刷版原版を提供する
【解決手段】 支持体上に、好ましくは下記一般式（Ｉ）で表されるアミノ酸基、及び、該アミノ酸基に対して２倍以上のアミノ酸基以外の酸基を側鎖に有するポリマーを含有する中間層と、赤外線レーザー感光性ポジ型記録層と、を順次設けたことを特徴とする。一般式（Ｉ）中、Ｙはポリマー主鎖骨格との連結基を表す。Ｒ¹は水素原子又はカルボン酸基を有する炭化水素基を表す。Ｒ²はアルキレン基を表す。
【化１】
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【課題】 現像ラチチュードが広く、且つ耐薬品性に優れた、赤外線レーザ用のポジ型平版印刷版原版として有用な画像記録材料を提供すること。
【解決手段】 支持体上に、（Ａ）ＨＬＢ１０未満の界面活性剤、（Ｂ）ＨＬＢ１０以上の界面活性剤、（Ｃ）少なくとも２種のアルカリ可溶性樹脂、及び（Ｄ）赤外線吸収剤を含有する画像記録層を有し、前記アルカリ可溶性樹脂の少なくとも１種が分散相を形成していることを特徴とする画像記録材料。 （もっと読む）

【課題】 高感度で、且つ、矩形なパターン形成が可能な染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 （Ａ）アルカリ可溶性バインダーと、（Ｂ）有機溶剤可溶性染料と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）ラジカル重合性モノマーと、（Ｅ）有機溶剤と、（Ｆ）多官能チオール化合物と、を少なくとも含むことを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物である。 （もっと読む）

【課題】 高感度、高耐刷性を有しつつ、現像性を両立し、印刷時に汚れを生じない、とくにＣＴＰ技術に好適に用いられ得る感光性平版印刷版を提供すること。
【解決手段】 支持体上に、エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合可能な化合物、アルカリ可溶または膨潤性バインダー、および光重合開始剤を含有する光重合性感光層を有する感光性平版印刷版において、該光重合性感光層が、エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合可能な化合物として、（ａ）分子量が８００以下であり、かつアルキレンオキサイド部位を有しないウレタン基含有（メタ）アクリレート化合物および（ｂ）連結基にアルキレンオキサイド部位を有し、かつエチレン性不飽和二重結合を２個有する（メタ）アクリレート化合物を含有することを特徴とする感光性平版印刷版。 （もっと読む）

【課題】 ヒートモード対応ポジ型平版印刷版原版に有用であり、溶解性ディスクリミネーションに優れ、且つ、耐汚れ性が良好であり、平版印刷版原版の記録層として有用なポジ型感光性組成物を提供する。
【解決手段】 （Ａ）赤外線吸収剤、及び、（Ｂ）トリアリールスルホニウム塩構造を有し、且つ、アリール骨格に結合する置換基のハメット値の総和が０．４６より大きい化合物、を含有することを特徴とする。（Ｂ）化合物のアニオン構造として、親疎水性パラメーターｌｏｇＰが２未満であるアニオン構造を有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光による描画に適し、スクリーン線数２００線以上の高精細ＡＭスクリーン印刷やＦＭスクリーン印刷、特にＦＭスクリーンを使用した中間調の平網ムラの均一性が良好な光重合性感光性平版印刷版を提供すること。
【解決手段】 親水性支持体上に、重合性感光層を少なくとも１層有し、レーザーで露光する感光性平版印刷版において、該感光層の非露光部が、ｐＨ１３以下のアルカリ性水性現像液に対し完全に溶解除去される時間をｔ秒としたときに、２≦ｔ≦３０を満たすことを特徴とする光重合型感光性平版印刷版。 （もっと読む）

平版印刷版前駆体のための基板を開示する。この基板、は順番に、アルミニウム又はアルミニウム合金支持体、シリケート層、及び中間層を含んで成る。中間層材料は、(1)ホスホン酸基及び/又はホスフェート基、並びに(2)酸基及び/又はエチレングリコール又はポリエチレングリコール側鎖を含む基を含むコポリマーである。この中間層材料の上に画像形成性層を含んでなる画像形成性要素は平版印刷版前駆体として有用である。 （もっと読む）

【課題】 パターンの耐熱性が良好な染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルターおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 置換若しくは無置換のグアニジノ基を有する化合物およびその塩の少なくとも１種と、染料と、アルカリ可溶性バインダーと、光重合開始剤と、重合性モノマーと、を含有することを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルタおよびその製造方法。 （もっと読む）