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Fターム[2H025CB42]の内容

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【課題】電圧保持率の低下を抑え、画像再現性が良好で安定した画像表示を可能とする。
【解決手段】平均粒子径が200nm以下の着色剤と、一分子中にカルボキシル基及びリン酸基の少なくとも一つとスルホン酸基とを有するアルカリ可溶性樹脂とを含んでいる。 (もっと読む)


【課題】所定の重合性化合物を組み合わせ、さらに感光層の感度を一定の範囲に調節することにより、感度及び解像度が高く、かつ、テント膜強度が強く、密着性に優れ、未露光膜破れの防止効果に優れるパターン形成材料、並びに、パターン形成装置、及びパターン形成方法は未だ提供する。
【解決手段】支持体と、該支持体上に少なくとも感光層を有してなり、該感光層がバインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含み、前記重合性化合物が、ビスフェノール骨格を有する重合性化合物(a−1)と、分子内に反応性基を4つ以上有し、且つ分子量700以上の重合性化合物(a−2)とを含有してなり、前記感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが、0.1〜50mJ/cmであることを特徴とするパターン形成材料、及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法等である。 (もっと読む)


【課題】レジスト性能を悪化させることなく、レジスト用樹脂を効率よく製造する方法及びその製造方法により製造されたレジスト用樹脂を提供し、更には、解像度、露光ラチチュードが改良されたレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】樹脂溶液に対し、該樹脂を溶解する能力の低い溶剤を添加することにより、粉体樹脂を析出させ、該粉体樹脂を回収する工程を含むレジスト用樹脂の製造方法、この製造方法により得られたレジスト用樹脂、該レジスト用樹脂を含有するレジスト組成物及び該レジストを用いたパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】高感度で矩形な微細パターン形成が可能で、かつ、塗布時の膜面内均一性が高い染料含有ネガ型硬化性組成物の提供。
【解決手段】染料と、光重合開始剤と、ラジカル重合性モノマーとを含む染料含有ネガ型硬化性組成物であって、前記光重合開始剤を下記一般式(1)で表される化合物とする。
【化1】


[一般式(1)において、Rはフェニル基を表し、Rは炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数5〜8のシクロアルキル基を表し、Rは炭素数1〜4のアルキル基を表す。] (もっと読む)


【課題】パターンを投影露光するときの露光量の変化が小さい着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】染料、光酸発生剤、硬化剤、アルカリ可溶性樹脂、溶剤および式(I)で表される化合物を含む着色感光性樹脂組成物。


[式(I)中、R〜Rは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6の直鎖状アルキル基、炭素数3〜12の分岐状アルキル基、炭素数3〜6のシクロアルキル基または炭素数6〜12のアリール基を表す。該炭素数1〜6の直鎖状アルキル基上の水素原子、該炭素数3〜12の分岐状アルキル基上の水素原子、該シクロアルキル基上の水素原子および該アリール基上の水素原子は、水酸基で置換されていてもよい。ただし、R〜Rのうち、少なくとも1つは水素原子以外の基を表す。] (もっと読む)


【課題】FPCに用いられたときに要求される可撓性を十分に満足するとともに、難燃性及び耐熱プレス性も十分に優れたレジストパターンを形成することが可能な感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)カルボキシル基を有するポリマ−、(B)エチレン性不飽和結合を有し、ハロゲン原子を含有しない光重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)フェノキシフォスファゼン化合物、(E)リン酸エステル化合物、及び(F)ハロゲン系難燃剤を含有する感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】ラインエッジラフネスに優れ、かつ液浸液の水追随性も優れたポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する珪素原子を有さない樹脂、
(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、
(C)下記(X)〜(Z)の群から選ばれる基を少なくとも1つ有する珪素原子含有樹脂、並びに、
(X)アルカリ可溶性基、
(Y)アルカリ現像液の作用により分解し樹脂(C)のアルカリ現像液に対する溶解度を増大させる基及び
(Z)酸の作用により分解し樹脂(C)のアルカリ現像液に対する溶解度を増大させる基、
(D)溶剤
を含有するポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】精度の高いパターンを形成することができるとともに、有機成分の熱分解性に優れ、かつ、焼成後に収縮の少ない無機粒子含有感光性組成物を提供すること。
【解決手段】本発明に係る無機粒子含有感光性樹脂組成物は、無機粒子と、アルカリ可溶性樹脂と、1分子中に少なくとも2つの(メタ)アクリロイル基を有し、かつ、アセタール結合、ヘミアセタールエステル結合およびモノチオアセタール結合から選ばれる結合を少なくとも1つ有する光硬化剤と、光重合開始剤とを含有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ディスプレイデバイスで使用される誘電体を提供すること。
【解決手段】誘電体は、感光性組成物からなる下側誘電体層と、上記下側誘電体層の上に形成された感光性組成物からなる上側誘電体層とを有し、あるパターン露光において使用される光に対する上記上側誘電体層の透過率は、前記パターン露光において使用される光に対する上記下側誘電体層の透過率よりも低い。 (もっと読む)


【課題】得られる樹脂膜の耐熱形状保持性に優れ、パターン化樹脂膜を形成する際のメルトフロー時の温度マージンが広く、しかもレジスト材としても好適に用い得る感放射線性樹脂組成物、基板とこの上に積層された前記感放射線性樹脂組成物からなる樹脂膜とからなる積層体、及び、この積層体の製造方法を提供すること。
【解決手段】主鎖に環状構造を有する環状オレフィン系重合体100重量部、感放射線性化合物1〜100重量部及びブロックされたイソシアネート基を有するブロック型ポリイソシアネート化合物5〜80重量部を含有してなる感放射線性樹脂組成物;基板と、この上に積層された前記感放射線性樹脂組成物からなる樹脂膜と、からなる積層体;前記感放射線性樹脂組成物を用いて樹脂膜を基板上に形成する工程を有する積層体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】パターン加工時の残膜性に優れ、かつ、加熱処理による形状の変化が極めて少ない感光性樹脂組成物ならびにそれを用いた金属樹脂複合体を提供する。
【解決手段】(a)アルカリ可溶性ポリイミドおよび/またはアルカリ可溶性ポリイミド前駆体、(b)連結基が規定される長鎖ポリオールから誘導される脂肪族ジ(メタ)アクリレートおよび(c)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、印刷適性に優れ、機上現像性と耐刷性に優れた平版印刷版材料およびそれを用いた平版印刷版の作製方法を提供することにある。
【解決手段】親水性支持体上に、熱溶融性粒子および、マイクロカプセルから選ばれた少なくとも1種と水溶性樹脂とを含有する画像形成層を有する平版印刷版材料であって、前記水溶性樹脂が、25℃における10質量%水溶液が50×10-3Pa・s〜1000×10-3Pa・sの粘度を有することを特徴とする平版印刷版材料。 (もっと読む)


【課題】形状安定性が良好であり、高解像度で、かつ、焦点深度にも優れるレジストパターンを形成することが可能なレジスト保護膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】レジスト膜上に設けられ、このレジスト膜を保護するレジスト保護膜を形成するためのレジスト保護膜形成用組成物であって、レジスト膜中の酸の発生を補助する酸発生補助剤を配合した。 (もっと読む)


【課題】pH2〜10のマイルドな現像処理または水溶性高分子を含む水溶液処理が可能であり、しかも現像処理により現像液中にカスが発生することがない平版印刷版原版の作製方法、およびそれに用いる平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】親水性表面を有する支持体上に、少なくとも1種の特定のジカルボニル基または含窒素ヘテロアリール基を側鎖に有するポリマーで被覆されたフタロシアニン顔料および、酸価が0.3meq/g以下の疎水性バインダーポリマーとを含有する感光層を有する平版印刷版原版を、露光した後、擦り部材を備えた自動処理機により、pHが2〜10の現像液の存在下、保護層および非露光部の感光層を除去することを特徴とする平版印刷版の作製方法、およびそれに用いる平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】優れた分散性と、塗工表面の平滑性を保持する感光性着色組成物、および膜厚均一性に優れたフィルタセグメントを具備するカラーフィルタの提供。
【解決手段】樹脂、モノマーおよび着色材を含有する感光性着色組成物であって、前記樹脂が、下記一般式(I)で表される化合物(a)とベンジルメタクリレート(b)と他のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物(c)とを共重合してなる共重合体樹脂である感光性着色組成物、および透明基板と、該透明基板上に前記感光性着色組成物を用いて形成されたフィルタセグメントとを具備するカラーフィルタ。
【化1】


(式中、R1はHまたはCH3、R2は炭素数2または3のアルキレン基、R3は水素、またはベンゼン環を含んでいてもよい炭素数1〜20のアルキル基、nは1〜15の整数を表す。) (もっと読む)


【課題】pH2〜10のマイルドな現像処理が可能であり、しかも現像処理により現像液中にカスが発生することがなく、また平版印刷版とした場合に優れた耐刷性を示す平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】親水性表面を有する支持体上に、少なくとも1種の油溶性フタロシアニン化合物と、酸価が0.3meq/g以下の疎水性バインダーポリマーとを含有する感光層、および保護層を有する平版印刷版原版を、露光した後、擦り部材を備えた自動処理機により、pHが2〜10の現像液の存在下、保護層および非露光部の感光層を除去することを特徴とする平版印刷版の作製方法。 (もっと読む)


【課題】耐熱性、感度及び解像度に優れ、オゾン水によるレジスト剥離速度が速く、アルカリ水溶液で現像することができ、さらに現像の際にレジストの溶け残り物であるスカムが生じ難いポジ型フォトレジストを提供する。
【解決手段】本発明は、易オゾン分解性かつアルカリ可溶性のノボラック樹脂(A)と、キノンジアジド基含有感光剤(B)と、難オゾン分解性かつアルカリ可溶性の樹脂又はオリゴマー(C)と、を含むポジ型フォトレジストを提供する。 (もっと読む)


【課題】解像度に優れた化学増幅型ポジ型レジスト組成物を与える化学増幅型ポジ型レジスト組成物用酸発生剤となる化学増幅型ポジ型レジスト組成物用酸発生樹脂を提供する。
【解決手段】高分子からなり、該高分子を構成する繰り返し単位として、放射線照射により酸を発生する塩のアニオン部分が結合した繰り返し単位であり、かつ繰り返し単位のカチオン部分以外の炭素原子間の結合がすべて一重結合である繰り返し単位を含むことを特徴とする酸発生樹脂。 (もっと読む)


【課題】高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを形成し得る感光性樹脂転写材料を提供する。
【解決手段】仮支持体上に、少なくとも、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有し、前記感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の1.5%以下であることを特徴とする感光性樹脂転写材料である。前記熱可塑性樹脂層の厚み(A)と、前記感光性樹脂層の厚み(B)との比率(B/A)としては、1/2.5以下であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】十分な難燃性を確保でき、十分な伸び率を有する硬化物が得られ、ブリードアウトの問題が十分に低減されたリン含有重合体を提供すること。
【解決手段】下記一般式(1)で表わされる単量体単位を有するリン含有重合体。
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