感光性樹脂転写材料及びフォトスペーサーの製造方法、カラーフィルター、並びに液晶表示素子
【課題】高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを形成し得る感光性樹脂転写材料を提供する。
【解決手段】仮支持体上に、少なくとも、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有し、前記感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることを特徴とする感光性樹脂転写材料である。前記熱可塑性樹脂層の厚み（Ａ）と、前記感光性樹脂層の厚み（Ｂ）との比率（Ｂ／Ａ）としては、１／２．５以下であることが好ましい。
【解決手段】仮支持体上に、少なくとも、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有し、前記感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることを特徴とする感光性樹脂転写材料である。前記熱可塑性樹脂層の厚み（Ａ）と、前記感光性樹脂層の厚み（Ｂ）との比率（Ｂ／Ａ）としては、１／２．５以下であることが好ましい。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置を構成する構造物（例えば基板上に配置されて所定の間隙を保持するスペーサー）の形成に好適な感光性樹脂転写材料、及び該感光性樹脂転写材料を用いて製造するフォトスペーサーの製造方法、並びに該フォトスペーサーを有するカラーフィルター、液晶表示素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶表示装置は、高画質画像を表示する表示装置に広く利用されている。液晶表示装置は一般に、一対の基板間に所定の配向により画像表示を可能とする液晶層が配置されており、この基板間隔、すなわち液晶層の厚みを均一に維持することが画質を決定するため、液晶層の厚みを一定に保持するためのフォトスペーサーが配設されている。
【０００３】
樹脂組成物を用いたフォトスペーサー形成を行う場合、仮支持体上に樹脂組成物からなる感光性樹脂層を有する転写材料（感光性樹脂転写材料）を用いた方法が知られている（例えば、特許文献１〜３参照。）。この転写材料は、通常、感光性樹脂層の他、被転写材の被転写面に存在する凹凸に伴う転写不良を回避するためにクッション性を有する熱可塑性樹脂層が仮支持体と感光性樹脂層との間に設けられる。そして、フォトスペーサーを形成しようとする基板表面に感光性樹脂層を転写し、該感光性樹脂層に対し、パターニング露光・現像を経て、フォトスペーサーが形成される。
【０００４】
ところで、溶液塗布により塗布膜を形成してフォトスペーサーを形成する場合、該フォトスペーサーの高さは塗布層厚に大きく影響されることが知られている（例えば、特許文献４参照。）。このことは転写材料によってフォトスペーサーを形成する場合も然りである。すなわち、感光性樹脂転写材料を用いてフォトスペーサーを形成する場合、感光性樹脂層の層厚がそのままフォトスペーサーの高さとなり、フォトスペーサーの高さ精度は感光性樹脂層の厚み精度に依存し、感光性樹脂層の厚みが不均一であると、フォトスペーサーの高さも不均一となる。従って、フォトスペーサーの高さを均一とするには感光性樹脂層の厚みを均一とすることが不可欠である。
しかしながら、従来においては、感光性樹脂層の厚みについて厳密な検討がなされておらず、フォトスペーサーの高さの均一性について改善の余地が残されていた。
【特許文献１】特開２００１−１２５１１３号公報
【特許文献２】特開２００１−１６６３１５号公報
【特許文献３】特開２００３−２０７７８７号公報
【特許文献４】特開２００４−３７６９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記従来の問題点に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。すなわち、
本発明の目的は、高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを形成し得る感光性樹脂転写材料、該感光性樹脂転写材料を用い高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを製造し得るフォトスペーサーの製造方法、該フォトスペーサーを有するカラーフィルター、液晶表示素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するための手段は以下の通りである。すなわち、
＜１＞ 仮支持体上に、少なくとも、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有し、前記感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることを特徴とする感光性樹脂転写材料である。
【０００７】
＜２＞ 前記熱可塑性樹脂層の厚み（Ａ）と、前記感光性樹脂層の厚み（Ｂ）との比率（Ｂ／Ａ）が１／２．５以下であることを特徴とする前記＜１＞に記載の感光性樹脂転写材料である。
【０００８】
＜３＞ 前記感光性樹脂層の溶融粘度が１１０℃において１．０×１０3Ｐａ・ｓ以上であり、前記熱可塑性樹脂層の１１０℃における溶融粘度が前記感光性樹脂層の溶融粘度よりも低いことを特徴とする前記＜１＞または＜２＞に記載の感光性樹脂転写材料である。
【０００９】
＜４＞ 請求項１から３のいずれか１項に記載の感光性樹脂転写材料を用いて、加熱及び／又は加圧により基板上に感光性樹脂層を転写する工程と、転写した感光性樹脂層に対してパターン露光を行う工程と、パターン露光後の感光性樹脂層を現像処理する工程と、ポストベーク処理を行う工程とを有することを特徴とするフォトスペーサーの製造方法である。
【００１０】
＜５＞ 前記パターン露光後の現像処理が有機塩基を含む現像液により現像を行った後、再度、無機塩基を含む現像液により現像を行う処理であることを特徴とする前記＜４＞に記載のフォトスペーサーの製造方法である。
【００１１】
＜６＞ 前記有機塩基の種類がアルキルアルコールアミンであり、前記有機塩基を含む現像液のｐＨが１０〜１２の範囲であることを特徴とする前記＜５＞に記載のフォトスペーサーの製造方法である。
【００１２】
＜７＞ 前記無機塩基の種類が、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、及び水酸化カリウムからなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする前記＜５＞または＜６＞に記載のフォトスペーサーの製造方法である。
【００１３】
＜８＞ 前記＜４＞から＜７＞のいずれかに記載のフォトスペーサーの製造方法により製造したフォトスペーサーを有することを特徴とするカラーフィルターである。
【００１４】
＜９＞ 前記＜４＞から＜７＞のいずれかに記載のフォトスペーサーの製造方法により製造したフォトスペーサーを有することを特徴とする液晶表示素子である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを形成し得る感光性樹脂転写材料、該感光性樹脂転写材料を用い高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを製造し得るフォトスペーサーの製造方法、該フォトスペーサーを有するカラーフィルター、液晶表示素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明について詳細に説明する。
《感光性樹脂転写材料》
本発明の感光性樹脂転写材料は、仮支持体上に、該仮支持体側から順に少なくとも、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを少なくとも設けて構成され、前記感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることを特徴とするものである。
また、必要に応じて熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層との間に中間層など他の層を有していてもよい。
【００１７】
−アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層−
本発明の感光性樹脂転写材料は、少なくとも一層のアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層を有する。アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層（以下、単に「熱可塑性樹脂層」ともいう。）は、アルカリ現像を可能とし、また、転写時にはみ出した熱可塑性樹脂層自身による被転写体の汚染防止を可能とする点からアルカリ可溶性である必要があり、後述する感光性樹脂層を被転写体上に転写する際に、被転写体上に存在する凹凸に起因して発生する転写不良を効果的に防止するクッション材としての機能を有し、感光性樹脂転写材料を被転写体上に加熱密着させた際の被転写体上の凹凸に対応して変形可能な層である。
【００１８】
アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層の層厚は、クッション性及び現像により容易に除去可能とすることから、２．０〜２０．０μｍとすることが好ましく、５．５．０〜１８．０μｍとすることがより好ましく、１２．０〜１６．０μｍとすることがさらに好ましい。
【００１９】
前記熱可塑性樹脂層は、少なくともアルカリ可溶な熱可塑性樹脂を用いて構成することができ、必要に応じて適宜他の成分を用いることができる。アルカリ可溶な熱可塑性樹脂は、特に制限はなく適宜選択することができるが、実質的な軟化点が８０℃以下であるものが好ましい。
【００２０】
アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に含まれる樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体とのケン化物、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体とのケン化物、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体とのケン化物、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、および（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等との（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のケン化物、等より選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。さらに「プラスチック性能便覧」（日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、１９６８年１０月２５日発行）による有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することもできる。これらは１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。また、これらの熱可塑性樹脂のうち、軟化点が８０℃以下のものが好ましい。尚、本発明において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸およびメタクリル酸を総称し、その誘導体の場合も同様である。
【００２１】
上記アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に含まれる樹脂の中でも、重量平均分子量５万〜５０万（Ｔｇ＝０〜１４０℃）の範囲で、更に好ましくは重量平均分子量６万〜２０万（Ｔｇ＝３０〜１１０℃）の範囲で選択して使用することができる。これらの樹脂の具体例としては、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５５−３８９６１号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭６１−１３４７５６号、特公昭５９一４４６１５号、特開昭５４−９２７２３号、特開昭５４−９９４１８号、特開昭５４−１３７０８５号、特開昭５７−２０７３２号、特開昭５８−９３０４６号、特開昭５９−９７１３５号、特開昭６０−１５９７４３号、特開昭６０−２４７６３８号、特開昭６０−２０８７４８号、特開昭６０−２１４３５４号、特開昭６０−２３０１３５号、特開昭６０−２５８５３９号、特開昭６１−１６９８２９号、特開昭６１−２１３２１３号、特開昭６３−１４７１５９号、特開昭６３−２１３８３７号、特開昭６３−２６６４４８号、特開昭６４−５５５５１号、特開昭６４一５５５５０号、特開平２−１９１９５５号、特開平２−１９９４０３号、特開平２−１９９４０４号、特開平２−２０８６０２号、特開平５−２４１３４０号の各公報明細書に記載されているアルカリ水溶液に可溶な樹脂を挙げることができる。特に好ましいのは、特開昭６３−１４７１５９号明細書に記載されたメタクリル酸／２一エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メチルメタクリレート共重合体である。
【００２２】
また、上記した種々の樹脂の中から、好ましくは重量平均分子量３千〜３万（Ｔｇ＝３０〜１７０℃）の範囲で、更に好ましくは重量平均分子量４千〜２万（Ｔｇ＝６０〜１４０℃）の範囲で選択して使用することができる。これらの好ましい具体例は、上記の特許明細書に記載されているものの中から選ぶことができるが、特に好ましくは、特公昭５５−３８９６１号、特開平５−２４１３４０号の各公報に記載のスチレン／（メタ）アクリル酸共重合体が挙げられる。
【００２３】
アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層には、前記熱可塑性樹脂以外に他の成分として、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的に軟化点が８０℃を超えない範囲内で各種ポリマー、過冷却物質、密着改良剤、界面活性剤、離型剤等を添加することができる。これらによりＴｇの調整も可能である。好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エポキシ樹脂とポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアネートとポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアネートとポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、ビスフェノールＡとポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの縮合反応生成物を挙げることができる。アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層中の、可塑剤の量は熱可塑性樹脂に対して２００質量％以下が一般的で、２０〜１００質量％の範囲が好ましい。
【００２４】
前記界面活性剤は、本発明の前記熱可塑性樹脂と混ざり合うものであれば使用可能である。本発明に用いる好ましい界面活性剤としては、特開２００３−３３７４２４号公報［００１５］〜［００２４］、特開２００３−１７７５２２号公報［００１２］〜［００１７］、特開２００３−１７７５２３号公報［００１２］〜［００１５］、特開２００３−１７７５２１号公報［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５１９号公報［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５２０号公報［００１２］〜［００１５］、特開平１１−１３３６００号公報の［００３４］〜［００３５］、特開平６−１６６８４号公報の発明として開示されている界面活性剤が好適なものとして挙げられる。より高い効果を得る為にはフッ素系界面活性剤、及び/又はシリコン系界面活性剤（フッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤、フッソ原子と珪素原子の両方を含有する界面活性剤）のいずれか、あるいは２種以上を含有することが好ましく、フッ素系界面活性剤が最も好ましい。
【００２５】
フッ素系界面活性剤を用いる場合、該界面活性剤分子中のフッ素含有置換基のフッ素原子数は１〜３８が好ましく、５〜２５がより好ましく、７〜２０が最も好ましい。フッ素原子数が多すぎるとフッ素を含まない通常の溶媒に対する溶解性が落ちる点で好ましくない。フッ素原子数が少なすぎると、ムラの改善効果が得られない点で好ましくない。
【００２６】
特に好ましい界面活性剤として、下記一般式（ａ）及び、一般式（ｂ）で表されるモノマーを含み、且つ一般式（ａ）／一般式（ｂ）の質量比が２０／８０〜６０／４０の共重合体を含有するものが挙げられる。
【００２７】
【化１】
（式中、Ｒ1、Ｒ2、及びＲ3はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示し、Ｒ4は水素原子または炭素数１〜５のアルキル基を示す。ｎは１〜１８の整数、ｍは２〜１４の整数を示す。ｐ、ｑは０〜１8の整数を示すが、ｐ、ｑが同時に０になる場合は含まない。）
上記界面活性剤の具体例は特開２００３−３３７４２４号公報の段落番号［００６８］の表１に記載されている。
【００２８】
また、下記市販の界面活性剤をそのまま用いることもできる。使用できる市販の界面活性剤として、例えばエフトップＥＦ301、ＥＦ303、(新秋田化成(株)製)、フロラードＦＣ４３０、４３１(住友スリーエム(株)製)、メガファックＦ−７８０−Ｆ、Ｆ１７１、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１８９、Ｒ０８（大日本インキ（株）製）、サーフロンＳ-３８２、ＳＣ１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６（旭硝子（株）製）等のフッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤を挙げることができる。またポリシロキサンポリマーKP−341（信越化学工業（株）製）、トロイゾルＳ−３６６（トロイケミカル（株）製）もシリコン系界面活性剤として用いることができる。
【００２９】
本発明において、熱可塑性樹脂層の溶融粘度は、感光性樹脂層を凹凸のある基板にするときに元の感光性樹脂層の層厚変化を最小限に抑える点で、１１０℃において１００Ｐａ・ｓ〜３５０００Ｐａ・ｓであることが好ましく、５００Ｐａ・ｓ〜１００００Ｐａ・ｓであることがより好ましく、１０００Ｐａ・ｓ〜４０００Ｐａ・ｓであることがさらに好ましい。１１０℃における溶融粘度が高すぎるとラミネート時に熱可塑性樹脂層の変形が十分に起こらず、逆に１１０℃における溶融粘度が低すぎるとラミネート時に熱可塑性樹脂層の変形が起こりすぎてしまいその結果支持体の影響を受けて、いずれも感光性樹脂層の膜厚変化が大きくなってしまう。又、熱可塑性樹脂層の層厚の分布は、層厚の標準偏差／層厚の平均値が０％〜１０％以下が好ましく、０％〜５％が更に好ましく、０％〜３％が最も好ましい。熱可塑性樹脂層の層厚の分布のバラツキを減らすことにより感光性樹脂層を層厚変化を最小限に抑えることができる。
【００３０】
−中間層−
本発明の感光性樹脂転写材料は、少なくとも一層の中間層を有してもよい。中間層は、仮支持体上に設けられた前記熱可塑性樹脂層の上であって、該熱可塑性樹脂層と後述する感光性樹脂層との間に設けられる。中間層が配設されることにより、熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層との形成には有機溶剤が用いられるため、両層が互いに混ざり合うのを防止できる点で好ましい。
【００３１】
中間層としては、水又はアルカリ水溶液に分散ないし溶解するものが好ましい。中間層の構成材料には、公知のものを使用でき、例えば、特開昭４６−２１２１号公報及び特公昭５６−４０８２４号公報に記載のポリビニルエーテル／無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド類、水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種澱粉及びその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン／マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、などが挙げられる。
これらは、１種単独で用いる以外に２種以上を併用してもよい。
【００３２】
上記の中でも、水溶性樹脂、すなわち水溶性の高分子材料を使用するのが好ましく、この中でも少なくともポリビニルアルコールを使用するのがより好ましく、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの併用が特に好ましい。
前記ポリビニルアルコールとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、その鹸化度が８０ｍｏｌ％以上のものが好ましい。
【００３３】
前記ポリビニルピロリドンを使用する場合には、その含有量としては、中間層の固形分に対し、１〜７５体積％が好ましく、１〜６０体積％がより好ましく、１０〜５０体積％が特に好ましい。該含有量が、１体積％未満であると前記熱可塑性樹脂層との充分な密着性が得られないことがあり、７５体積％を超えると酸素遮断能が低下することがある。
【００３４】
本発明に係る中間層については、酸素透過率が小さいことが好ましい。中間層の酸素透過率が大きく酸素遮断能が低い場合には、後述の感光性樹脂層に対する露光時における光量をアップする必要が生じたり、露光時間を長くする必要が生ずることがあり、解像度も低下してしまうことがある。
【００３５】
中間層の層厚としては、０．１〜３．０μｍ程度が好ましく、１．０〜２．０μｍがより好ましい。該厚みが、０．１μｍ未満であると酸素透過性が高過ぎてしまうことがあり、３．０μｍを超えると現像時や中間層除去時に長時間を要することがあるため好ましくない。
中間層の層厚調整は、中間層塗布液の濃度により、調整することができる。又、中間層の層厚の分布は、層厚の標準偏差／層厚の平均値が０％〜１０％以下が好ましく、０％〜５％が更に好ましく、０％〜３％が最も好ましい。中間層の層厚の分布のバラツキを減らすことにより感光性樹脂層を層厚変化を最小限に抑えることができる。
【００３６】
−感光性樹脂層−
本発明の感光性樹脂転写材料は、少なくとも一層の感光性樹脂層を有してなる。感光性樹脂層は、フォトスペーサー等の樹脂構造物を形成する場合に該樹脂構造物を構成する層であり、高分子物質と、重合性モノマーと、光重合開始剤とを少なくとも含んでなり、必要に応じて着色剤や他の成分を用いて構成することができる。着色剤を含有する場合には、カラーフィルターを構成する着色画素を形成することができる。
【００３７】
本発明においては、既述のように、感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であるが、好ましくは１．０％以下であり、より好ましくは０．５％以下である。このように、本発明の感光性樹脂転写材料においては、感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることにより、フォトスペーサーを形成した場合に、その高さの均一性を向上することができる。逆に、当該比率が１．５％を超えると、形成するフォトスペーサー高さが不均一となり好ましくない。
【００３８】
本発明において、感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差を層厚の平均値の１．５％以下とするには、塗布液を仮支持体に塗布する際の塗布機の振動を減らし、仮支持体の搬送速度を精度良く一定に保ち、更に塗布液の吐出量を仮支持体の幅方向、仮支持体の塗布方向について精度良く一定に保つことによって実現される。
【００３９】
感光性樹脂層の層厚は２．５〜５．０μｍであることが好ましく、２．７〜４．５μｍであることがより好ましく、３．０〜３．８μｍであることがさらに好ましい。
また、既述の熱可塑性樹脂層の層厚（Ａ）と、感光性樹脂層の層厚（Ｂ）の比率（Ｂ／Ａ）は、凹凸を有する基板上にラミネートによる感光性樹脂層の転写を行った時に、感光性樹脂層の膜厚が変化しない観点から、１／２．５以下であることが好ましく、１／３．７５以下であることがより好ましく、１／５以下であることがさらに好ましい。
【００４０】
感光性樹脂層は、後述する各成分を含有する塗布液を調製し、該塗布液を塗布することにより形成することにより形成することができるが、層厚を均一化するという観点から、塗布液の粘度としては、１．０〜５．０Ｐａ・ｓとすることが好ましい。また、塗布液の比重としては、０．９〜１．１とすることが好ましい。
塗布方法としては、ダイコート、ロールコート、カーテンコート等の公知の方法を用いることができる。
また、塗布後、塗布層を乾燥させるが、乾燥方法としては溶剤蒸気量をコントロールした温風を塗布面に当てる事に行う。
【００４１】
〈高分子物質〉
高分子物質は、スペーサーや着色画素等の積層体を形成した場合にバインダー成分としての機能を有するものであり、前記＜熱可塑性樹脂層＞で述べた樹脂や、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーやそれ自体重合性を有する、特開２００３−１３１３７９の段落番号［００３１］〜［００５４］に記載の光により重合可能なアリル基を有する高分子樹脂が好ましい例として挙げられる。
【００４２】
高分子物質は、目的に応じて適宜選択した単量体の単独重合体、複数の単量体からなる共重合体のいずれであってもよく、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。
側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーの例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、また、この他にも水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく用いることができる。また、特に好ましい例としては、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートレと（メタ）アクリル酸との共重合体や，ベンジル(メタ）アクリレートと(メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。
【００４３】
アリル基を有する高分子物質の単量体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アルキル（メタ)アクリレート、アリル（メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ)アクリレート、ビニル化合物、アリル基含有（メタ)アクリレート、等が挙げられる。尚、本明細書中において、（メタ)アクリレートは、アクリレート又はメタクリレートを表す。
これら単量体は、１種単独で用いる以外に２種以上を併用してもよい。
【００４４】
前記アルキル（メタ)アクリレート及びアリル（メタ)アクリレートとしては、例えば、メチル（メタ)アクリレート、エチル（メタ)アクリレート、プロピル（メタ)アクリレート、ブチル（メタ)アクリレート、イソブチル（メタ)アクリレート、ペンチル（メタ)アクリレート、ヘキシル（メタ)アクリレート、オクチル（メタ)アクリレート、フェニル（メタ)アクリレート、ベンジルアクリレート、トリルアクリレート、ナフチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、等が好適に挙げられる。
【００４５】
前記ヒドロキシアルキル（メタ)アクリレートとしては、例えば、ヒドロキシメチル（メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル（メタ)アクリレート、ヒドロキシイソブチル（メタ)アクリレート、ヒドロキシペンチル（メタ)アクリレート、ヒドロキシヘキシル（メタ)アクリレート、ヒドロキシオクチル（メタ)アクリレート等が挙げられ、中でも特に、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシｎ−ブチル（メタ）アクリレート等が好ましい。
【００４６】
前記ビニル化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、等が好適に挙げられる。
【００４７】
前記アリル基含有（メタ）アクリレートとしては、例えば、アリル（メタ）アクリレート、２−メチルアリルアクリレート、クロチルアクリレート、クロルアリルアクリレート、フェニルアリルアクリレート、シアノアリルアクリレート、等が挙げられ、中でもアリル（メタ）アクリレートが特に好ましい。
【００４８】
上記した高分子物質の中でも、アリル基含有（メタ)アクリレートをモノマーユニットとして少なくとも有する樹脂が好ましく、アリル基含有（メタ)アクリレートと（メタ)アクリル酸及びアリル基非含有（メタ)アクリレートから選択されるモノマーとをモノマーユニットとして有する樹脂がより好ましい。
【００４９】
前記高分子物質の好ましい具体例としては、（メタ）アクリル酸(M1)とアリル（メタ）アクリレート(M2)との二元共重合樹脂〔好適な共重合比［モル比］はM1：M2＝２〜９０：１０〜９８〕や、（メタ）アクリル酸(M3)とアリル（メタ）アクリレート(M4)とベンジル（メタ）アクリレート(M5)との三元共重合樹脂〔好適な共重合比［モル比］はM3：M4：M5＝５〜４０：２０〜９０：５〜７０〕などが挙げられる。
【００５０】
前記高分子物質がアリル基を有する場合のアリル基含有モノマーの含有率としては、１０モル％以上が好ましく、好ましくは１０〜１００モル％、より好ましくは１５〜９０モル％、更に好ましくは２０〜８５モル％である。
【００５１】
前記高分子物質の重量平均分子量としては、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定値のポリスチレン換算値で５，０００〜１００，０００が好ましく、８,０００〜５０,０００がより好ましい。該重量平均分子量を５，０００〜１００，０００の範囲内とすることで、膜強度を良化することができる。
【００５２】
前記高分子物質の感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、１５〜９５質量％が好ましく、３０〜８５質量％がより好ましく、４０〜７５質量％が更に好ましい。
【００５３】
〈重合性モノマー〉
重合性モノマーとしては、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有するものであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、エステル化合物、アミド化合物、並びにその他の化合物が挙げられる。
【００５４】
前記エステル化合物としては、例えば、単官能（メタ）アクリル酸エステル、多官能（メタ）アクリル酸エステル、イタコン酸エステル、クロトン酸エステル、イソクロトン酸エステル、マレイン酸エステル、その他のエステル化合物、などが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよいが、これらの中でも、単官能（メタ）アクリル酸エステル、多官能（メタ）アクリル酸エステル等が好ましい。
【００５５】
前記単官能（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチルモノ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００５６】
前記多官能（メタ）アクリル酸エステルしては、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレート、ソルビトールトリ（メタ）アクリレート、ソルビトールテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。中でも特に、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレートが好ましい。
【００５７】
前記多官能（メタ）アクリル酸エステルの他の例としては、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号公報、特公昭５０−６０３４号公報、特開昭５１−３７１９３号公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報、及び特公昭５２−３０４９０号公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載の（メタ）アクリル酸エステルやウレタン（メタ）アクリレートやビニルエステル、などが挙げられる。
【００５８】
前記「その他のエステル化合物」としては、例えば、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．７，第３００〜３０８頁に記載の光硬化性モノマー及びオリゴマー、などが挙げられる。
【００５９】
また、上記のアミド化合物としては、例えば、不飽和カルポン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド（モノマー）などが挙げられ、具体的には、メチレンビス−（メタ）アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−（メタ）アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、などが挙げられ、また、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載の（メタ）アクリル酸アミド、などが挙げられる。
【００６０】
また、上記の「その他の化合物」としては、例えば、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載のアリル化合物、などが挙げられる。
【００６１】
上記した重合性モノマーは、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。重合性モノマーの感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、１０〜６０質量％が好ましく、２０〜５０質量％がより好ましい。
【００６２】
本発明においては、感光性樹脂層の１１０℃における溶融粘度は１．０×１０3Ｐａ・ｓ以上であることが好ましく、１８００Ｐａ・ｓ以上であることがより好ましく、２５０００Ｐａ・ｓ以上であることがさらに好ましい。そして更に、当該感光性樹脂層の溶融粘度は前記熱可塑性樹脂層の溶融粘度よりも低いことが好ましい。このような規定により、感光性樹脂層をラミネートにより基板へ転写した時に、元の感光性樹脂層を維持したまま転写することが出来るようになる。
【００６３】
感光性樹脂層の上記溶融粘度の好ましい範囲を達成するために、感光性樹脂層中における、前記高分子ポリマーの含有量Ａ（質量％）と前記重合性モノマーの含有量（質量％）Ｂとの比Ｂ／Ａを調整する手段が好ましい。
本発明の感光性樹脂層の１１０℃における溶融粘度を１．０×１０3Ｐａ・ｓ以上に調整する場合、この比Ｂ／Ａを０．４以上１．１未満の範囲、好ましくは０．５５以上０．９５未満の範囲に調整することが好ましい。比Ｂ／Ａが大きすぎると感光性樹脂層が室温においてすらもベタツキはじめるため取り扱い性が悪化する。比Ｂ／Ａが小さいほど溶融粘度は高くなるが小さすぎると光重合が十分に起こらなくするためにフォトスペーサーの力学的な耐久性が低下する。
また、上記溶融粘度の好ましい範囲を達成する他の手段として、感光性樹脂層に体質顔料、又は着色顔料を含有させることが好ましい。前記体質顔料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、特開２００３−３０２６３９号公報［００３５］〜［００４１］に記載の体質顔料が好ましい。前記着色顔料としては、特開２００３−３０２６３９号公報［００４３］に記載の顔料が挙げられる。
【００６４】
〈光重合開始剤〉
光重合開始剤としては、およそ３００ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域に約５０以上の分子吸光係数を有する成分を少なくとも１種含有しているものが好ましく、例えば、特開平２−４８６６４号公報、特開平１−１５２４４９号公報、及び特開平２−１５３３５３号公報に記載の芳香族ケトン類、ロフィン２量体、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類、ポリハロゲン類、ハロゲン化炭化水素誘導体、ケトン化合物、ケトオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、などが挙げられる。
【００６５】
上記の中でも、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンと２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体との組合せ、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ’−ジ（エトキシカルボニルメチル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン〕、２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ’−ジエトキシカルボニルメチルアミノ）−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジンなどが好ましい。
【００６６】
上記の光重合開始剤は、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。光重合開始剤の含有量としては、前記重合性モノマーの量に対して、０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％がより好ましい。
【００６７】
本発明に係る感光性樹脂層には、上記した高分子物質、重合性モノマー、及び光重合開始剤の他、染料、顔料等の着色剤を含有してもよい。好ましい顔料の種類、サイズ等については、例えば特開平１１−１４９００８号公報の記載から適宜選択することができる。顔料等の着色剤を含有させた場合は、着色画素を形成することができる。また、必要に応じて界面活性剤等の添加剤を添加することもできる。
【００６８】
感光性樹脂層の層厚としては、１〜１４μｍが好ましく、１〜６μｍがより好ましい。該層厚が、１μｍ未満であると製造時の塗布形成の際にピンホールが発生することがあり、１４μｍを超えると現像時に未露光部を除去するのに長時間を要することがあり好ましくない。
【００６９】
−仮支持体−
仮支持体としては、転写の支障とならない程度に前記熱可塑性樹脂層に対する剥離性を有するものが好ましく、化学的・熱的に安定で可撓性を有するものが好ましい。
【００７０】
前記仮支持体の材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリ四フッ化エチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、などが挙げられる。
【００７１】
仮支持体の構造としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。これらは、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用してもよい。
【００７２】
仮支持体には、前記熱可塑性樹脂層との間に良好な剥離性を確保する観点から、グロー放電等の表面処理を行わないことが好ましく、また、ゼラチン等の下塗層も設けないことが好ましい。仮支持体の厚みとしては、５〜３００μｍ程度が好ましく、２０〜１５０μｍが好ましい。
【００７３】
前記仮支持体としては、その少なくとも一方の表面に導電性層が設けられているか、或いは仮支持体自体が導電性を有することが好ましい。仮支持体がこのように導電性を有する構成であると、該仮支持体を備えた感光性樹脂転写材料を被転写体上に密着させた後に仮支持体を剥離する場合に、該仮支持体や該被転写体等が帯電して周囲のゴミ等を引き寄せることがなく、その結果、該仮支持体を剥離した後においても熱可塑性樹脂層上にゴミ等が付着せず、その後の露光過程で余分な未露光部ができることに伴うピンホールの形成を効果的に防止することができる。仮支持体上の導電性層又は導電性を有する仮支持体の表面における表面電気抵抗としては、１０13Ω以下が好ましい。
【００７４】
前記導電性を有する仮支持体とするには、該仮支持体中に導電性物質を含有させればよい。導電性物質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、金属酸化物、帯電防止剤などが挙げられる。
【００７５】
前記金属酸化物としては、例えば、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化モリブデンなどが挙げられる。これらは１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。また、金属酸化物の形態としては、結晶微粒子、複合微粒子などが挙げられる。
【００７６】
前記帯電防止剤としては、例えば、エレクトロストリッパーＡ（花王（株）製）、エレノンＮｏ．１９（第一工業製薬（株）製）等のアルキル燐酸塩系アニオン界面活性剤、アモーゲンＫ（第一工業製薬（株）製）等のベタイン系両性界面活性剤、ニッサンノニオンＬ（日本油脂（株）製）等のポリオキシエチレン脂肪酸エステル系非イオン界面活性剤、エマルゲン１０６、同１２０、同１４７、同４２０、同２２０、同９０５、同９１０（花王（株）製）やニッサンノニオンＥ（日本油脂（株）製）等のポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル系、多価アルコール脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンアルキルアミン系等のその他の非イオン系界面活性剤が挙げられる。これらは１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００７７】
前記導電性層としては、公知の導電性物質の中から適宜選択して使用することにより形成することができ、該導電性物質としては、例えば、ＺｎＯ、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＭｇＯ、ＢａＯ、ＭｏＯ3などが湿度環境に影響されず安定した導電効果が得られる点で好ましい。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００７８】
前記金属酸化物又は前記導電性物質の体積抵抗値としては、１０7Ω・ｃｍ以下が好ましく、１０5Ω・ｃｍ以下がより好ましい。前記金属酸化物又は前記導電性物質の粒子径としては、０．０１〜０．７μｍが好ましく、０．０２〜０．５μｍがより好ましい。
【００７９】
前記導電性層には、バインダーとして、例えば、ゼラチン、セルロースナイトレート、セルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート等のセルロースエステル、塩化ビニリデン、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、炭素数１〜４のアルキルアクリレート、ビニルピロリドン等を含むホモポリマー又はコポリマー、可溶性ポリエステル、ポリカーボネート、可溶性ポリアミド、などを使用することができる。
【００８０】
−その他の層−
本発明の感光性樹脂転写材料においては、上記した層以外に、例えば、カバーフィルムなど他の層を更に設けることができる。
【００８１】
前記カバーフィルムは、保管等の際に汚れや損傷等から前記感光性樹脂層を保護する機能を有し、上記の仮支持体と同一又は類似の材料で構成することができる。カバーフィルムとしては、前記感光性樹脂層から容易に剥離可能なものであればよく、例えば、シリコン紙、ポリオレフィンシート、ポリテトラフルオロエチレンシート等が好適に挙げられる。これらの中でも、ポリエチレンシートないしフイルム、ポリプロピレンシートないしフイルムが好ましい。カバーフィルムの厚みとしては、５〜１００μｍ程度が好ましく、１０〜３０μｍがより好ましい。
【００８２】
本発明の感光性樹脂転写材料は、仮支持体上に、アルカリ可溶に構成された熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥することによりアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層を設け、該熱可塑性樹脂層上に、該熱可塑性樹脂層を溶解しない水系溶媒を用いた中間層用塗布液を塗布、乾燥することにより中間層を設け、更に中間層上に、該中間層を溶解しない溶剤を用いた感光性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥することにより感光性樹脂層を設けることによって製造することができる。また別の方法として、カバーフィルム上に感光性樹脂層を設けたものと、仮支持体上に該支持体側から順にアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と中間層とを設けたものとを作製し、前者の感光性樹脂層表面と後者の中間層表面とが互いに接するように貼り合わせることによって、或いは、カバーフィルム上に該カバーフィルム側から順に感光性樹脂層と中間層とを設けたものと、仮支持体上にアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層を設けたものとを作製し、前者の中間層表面と後者の熱可塑性樹脂層表面とが互いに接するように貼り合わせることによって製造することができる。
【００８３】
本発明の感光性樹脂転写材料は、液晶表示装置を構成する一対の基板間を所定の間隙に保持するためのスペーサー（間隙保持部材）の形成や、着色剤を含む場合は着色画像（着色画素など）の形成、等の用途に好適に用いることができる。該形成方法として、該感光性樹脂転写材料を、少なくとも一方の表面に凹凸を有する基板に転写し、少なくとも１回の露光を行い、１回の現像工程、少なくとも１回のベークを行うことが好ましい。この場合において、少なくとも一方の表面に凹凸を有する基板である被転写体としては、液晶表示装置を構成する透明基板（例えばガラス基板やプラスチックス基板）、配線付基板、遮光膜などにより形成されてた額縁付基板、透明導電膜（例えばＩＴＯ膜）付基板、カラーフィルター付基板、駆動素子（例えば薄膜トランジスタ［ＴＦＴ］）付駆動基板、などが挙げられる。
【００８４】
次に、本発明の感光性樹脂転写材料を用いた液晶表示装置の構成部材の形成例について述べる。
上記のようにして作製した本発明の感光性樹脂転写材料からカバーフィルムを取り除いた後、露出した感光性樹脂層を加圧・加熱下で所望の被転写体上に貼り合わせる（ラミネート）。貼り合わせは、公知のラミネーター、真空ラミネーター等を用いて好適に行うことができ、より生産性を高める観点からはオートカット機構を備えたラミネーターや感光性樹脂転写材料の欠陥を自動的に検出してスキップし，正常部をラミネートできるインテリジェントラミネートや、より幅の広い感光性樹脂転写材料のロールをラミネート可能な大型ラミネーターが好適に使用できる。
【００８５】
大型サイズの液晶パネルやプラズマディスプレイ等に対応して、基板サイズが大型化しているため、大型基板では、感光性樹脂転写材料の転写エリアが幅方向（搬送方向に交差する方向）に拡大し、感光性樹脂転写材料自体の幅方向の寸法を増加させる必要性がある。
幅広な感光性樹脂転写材料では、ロール状態での取り扱い性が低下するとともに、ロールから前記感光性樹脂転写材料を巻き戻す送り出し機構の大型化が惹起されるという問題や、幅広な感光性樹脂転写材料が重量物となり、取り扱いが煩雑となる問題、さらには、重量に起因する前記感光性樹脂転写材料の幅方向のたわみから面内に皺等が発生し易く、ラミネート時の気泡を巻き込み、表示性能を悪化させるという問題があるため、２以上のロール状の感光性樹脂転写材料を１枚の大型基板にラミネートできるラミネーターが特に好適に使用することができる。
【００８６】
上記の好ましい大型基板用ラミネーターとして、支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性樹脂転写材料を同期して送り出し可能な２以上のウエブ送り出し機構と、送り出された各長尺状感光性樹脂転写材料の前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する２以上の加工機構と、前記剥離部分を前記残存部分を残して各長尺状感光性樹脂転写材料から剥離させる２以上の剥離機構と、基板を所定の温度に加熱した状態で接合位置に搬送する基板搬送機構と、前記接合位置で、各残存部分を前記基板間に配設するとともに、各剥離部分が剥離されて露出した２以上の感光材料層を前記基板に一体的且つ並列に接合して接合基板を得る接合機構と、前記接合位置の近傍に配設され、各長尺状感光性ウエブの前記境界位置を直接検出し、又は該境界位置に対応して各長尺状感光性ウエブに設けられたマーク部を検出する２以上の検出機構と、各検出機構により検出された各境界位置情報に基づいて、前記接合位置における各境界位置と前記基板との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を調整可能な制御機構とを備えているものが好適なものとして挙げられる。（特開２００４−３３３６４７号公報）、「トランサーシステムによる大型液晶用カラーフィルターの生産方法」（「極限に挑む−１：゛ナノサイズに挑む、マクロサイズに挑む"」２００４年８月２７日；化学工学会主催）参照
【００８７】
上記の大型基板用ラミネーターを用いることで、幅広な基板に対して幅方向に２以上の感光性樹脂転写材料を良好に転写することができるとともに、高品質な感光性樹脂層を効率的に得ることが可能になる。さらに、長尺状感光性樹脂転写材料は、幅広に構成する必要がなく、前記長尺状感光性樹脂転写材料の取り扱い性が有効に向上し、作業の効率化及び設備費の削減が容易に図られる点で好ましい。
【００８８】
例えば透明なスペーサーを形成する場合、例えば、本発明の感光性樹脂転写材料のカバーフィルムを取り除き、露出した感光性樹脂層を被転写体にラミネートして貼り合わせ、仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離除去することにより被転写体に転写する。その後、感光性樹脂層に対し、熱可塑性樹脂層及び中間層を介して所定のマスクを通して露光を行い、ネガ型の場合は感光性樹脂層の非露光部を、ポジ型の場合は露光部をアルカリ性水溶液を用いて現像除去し、露光部又は、非露光部のみを硬化させることでスペーサーを形成することができる。
【００８９】
現像は、公知のアルカリ現像の方法にしたがって行うことができ、例えば、溶剤若しくは水性の現像液、特にアルカリ水溶液（アルカリ現像液）等を用いて、露光後の被転写体を、現像液を収容した現像浴中に浸漬させるか、被転写体上の層に対してスプレー等で噴霧等し、更にその表面を回転ブラシ、湿潤スポンジ等で擦ったり超音波を照射させながら処理することによって行うことができる。現像温度としては、通常、室温付近〜４０℃程度が好ましい。また、現像後には、水洗処理を行うのが好ましい。
尚、露光後の現像や不要部分の除去の過程において、感光性樹脂層及び熱可塑性樹脂層の溶解に用いるアルカリ性水溶液としては、例えば、アルカリ性物質の希薄水溶液が好ましく、更に水混和性のある有機溶剤を少量添加したものも好ましい。
【００９０】
前記アルカリ性物質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物類、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等のアルカリ金属炭酸塩類、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等のアルカリ金属重炭酸塩類、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム等のアルカリ金属ケイ酸塩類、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム等のアルカリ金属メタケイ酸塩類、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のテトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類又は燐酸三ナトリウム、などが挙げられる。これらは、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用してもよい。
【００９１】
前記アルカリ性水溶液としては、アルカリ性物質の濃度が０．０１〜３０質量％であるのが好ましく、ｐＨが８〜１４であるのが好ましい。
【００９２】
前記水混和性を有する有機溶剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドンなどが挙げられる。水混和性を有する有機溶剤の添加量としては、０．１〜３０質量％が好ましい。
【００９３】
尚、前記アルカリ性水溶液には、公知の種々の界面活性剤を添加することができ、該界面活性剤を添加する場合の添加量は、０．０１〜１０質量％であるのが好ましい。
【００９４】
《フォトスペーサーの製造方法》
本発明のフォトスペーサーの製造方法は、既述の本発明の感光性樹脂転写材料を用いて、加熱及び／又は加圧により基板上に感光性樹脂層を転写する工程（以下、「転写工程」と呼ぶ。）と、転写した感光性樹脂層に対してパターン露光を行う工程（以下、「パターニング工程」と呼ぶ。）と、パターン露光後の感光性樹脂層を現像処理する工程（以下、「現像処理工程」と呼ぶ。）と、ポストベーク処理を行う工程（以下、「ポストベーク処理工程」）とを有することを特徴としている。
【００９５】
［転写工程］
転写工程は、感光性樹脂転写材料を、仮支持体とは反対側の面と基板とを当接して基板上に積層し、仮支持体を剥離して基板表面に感光性樹脂層を転写する工程である。
仮支持体上に膜状に形成された感光性樹脂層を、表面に保護フイルムを有する場合には、それを剥離して、露出した感光樹脂層の表面を被転写材である基板面と当接し、その後、加熱及び／又は加圧したローラー又は平板で圧着又は加熱圧着することによって貼り合せた後、仮支持体を剥離することで、感光性樹脂層を基板上に転写する。貼り合わせは、公知のラミネーター（真空ラミネーターなど）を用いて好適に行うことができ、より生産性を高める観点からは、オートカットラミネーターが好適である。
具体的には、特開平７−１１０５７５号公報、特開平１１−７７９４２号公報、特開２０００−３３４８３６号公報、特開２００２−１４８７９４号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法などを適用することができ、異物混入防止の観点からは、特開平７−１１０５７５号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
【００９６】
［パターニング工程］
パターニング工程は、基板上に形成された感光性樹脂層に対しパターニング露光及びアルカリ現像してパターニングする。具体的には、基板上に形成された感光性樹脂層の上方に所定のマスクを配置し、該マスク及び場合により熱可塑性樹脂層及び中間層を介してマスクの更に上方（マスクの感光性樹脂層と対向しない側）から露光する。
【００９７】
前記露光に用いる光源としては、感光性樹脂層を硬化しうる波長域の光（例えば、３６５ｎｍ、４０５ｎｍなど）を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常５〜２００ｍＪ／ｃｍ2程度であり、好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ2程度である。
【００９８】
［現像処理工程］
前記露光完了後、現像液を用いた現像処理を行う。現像処理は、公知のアルカリ現像方法にしたがって行うことができ、例えば、溶剤若しくは水性の現像液、特にアルカリ水溶液（アルカリ現像液）等を用いて、感光性樹脂転写材料が転写された露光後の基板を、現像液を収容した現像浴中に浸漬させるか、感光性樹脂層上の層に対してスプレー等で噴霧する等すると共に、更に回転ブラシ、湿潤スポンジ等で擦ったり、超音波を照射させながら処理する等により行うことができる。現像液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましく、また、現像液のｐＨは８〜１３が好ましい。また、現像後には、水洗処理を行うのが好ましい。
【００９９】
現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー＆スピン現像、ディプ現像等、公知の方法を用いることができる。
シャワー現像による場合、露光後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。なお、現像前に予め、感光性樹脂層の溶解性が低いアルカリ水溶液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。
【０１００】
なお、露光後の現像や不要部分の除去の過程において、感光性樹脂層及び熱可塑性樹脂層や中間層の溶解に用いるアルカリ性水溶液としては、例えば、アルカリ性物質の希薄水溶液が好ましく、更に水混和性のある有機溶剤を少量添加したものも好ましい。アルカリ性物質には、特に制限はなく目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物類、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等のアルカリ金属炭酸塩類、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等のアルカリ金属重炭酸塩類、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム等のアルカリ金属ケイ酸塩類、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム等のアルカリ金属メタケイ酸塩類、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のテトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類又は燐酸三ナトリウムなどが挙げられる。これらは、１種単独で用いる以外に２種以上を併用してもよい。
【０１０１】
アルカリ性水溶液としては、アルカリ性物質の濃度が０．０１〜３０質量％であるのが好ましく、ｐＨが８〜１４であるのが好ましい。
【０１０２】
前記水混和性のある有機溶剤は、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドンなどが挙げられる。水混和性を有する有機溶剤の添加量は、０．１〜３０質量％が好ましい。
【０１０３】
なお、アルカリ性水溶液には、公知の種々の界面活性剤を添加することができ、該界面活性剤を添加する場合の添加量は、０．０１〜１０質量％であるのが好ましい。
【０１０４】
本発明において、現像処理は、有機塩基を含む現像液により現像を行った後、再度無機塩基を含む現像液により現像を行う処理であることが好ましい。
以下、各現像液について説明する。
【０１０５】
〜有機塩基を含む現像液〜
有機塩基としては、アルキルアルコールアミン、などが挙げられる。アルキルアルコールアミンとしては、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミンなどが挙げられる。
【０１０６】
有機塩基を含む現像液のｐＨは、現像速度、現像時間や温度のふれに対するパターニング性の許容範囲の広さの点で、１０〜１２の範囲であることが好ましい。
【０１０７】
〜無機塩基を含む現像液〜
無機塩基としては、既述のような、金属水酸化物類、金属炭酸塩類、金属重炭酸塩類、アルカリ金属ケイ酸塩類、アルカリ金属メタケイ酸塩類などが挙げられ、中でも炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、及び水酸化カリウムからなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。
【０１０８】
［ポストベーク処理工程］
ポストベーク処理工程は、パターニングされた感光性樹脂層を加熱処理して、層中の樹脂部分（高分子物質やモノマー、オリゴマー等の重合性モノマーなど）の架橋基の架橋を促進させて硬化させる。このとき、加熱温度、加熱時間を調整することにより、架橋反応率が６０％以上の範囲となるように調整することができる。
【０１０９】
加熱温度、加熱時間は、熱処理による黄ばみの発生が少なく、かつ生産タクトを落さないように、高めの温度で短めの時間に設定して行うことができる。
以上により、架橋反応率が６０〜１００％である塑性変形した際の変形回復性に優れたフォトスペーサーを得ることができる、
【０１１０】
前記架橋反応率としては、６０〜１００％がより好ましく、最も好ましくは８０〜１００％である。
【０１１１】
例えば透明なフォトスペーサーを作製する場合、例えば、架橋基密度が０．００７３モル／ｇ以上である感光性樹脂組成物で構成された感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用意し、その保護フイルムを取り除いて露出した感光性樹脂層の表面を基板面に重ね合せてラミネートして貼り合わせ、仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離除去することにより基板上に感光性樹脂層を転写する（転写工程）。その後、感光性樹脂層に対して、熱可塑性樹脂層及び中間層を介して所定のマスクを通して露光を行い、感光性樹脂層の未露光部をアルカリ性水溶液を用いて現像除去し、スペーサーパターンを形成する（パターニング工程〜現像処理工程）。形成されたスペーサーパターンに加熱処理を施して架橋反応率が８６〜１００％となるように露光部を硬化させる（ポストベーク処理工程）ことによって、フォトスペーサーを得ることができる。
【０１１２】
《フォトスペーサー》
以上の本発明のフォトスペーサーの製造方法により製造されるフォトスペーサーは、高さとしては、１．５〜１０．０μｍ（好ましくは、２．０〜５．５μｍであり、より好ましくは３．０〜４．５μｍ）とすることができる。
また、フォトスペーサーの高さ分布の標準偏差が高さの平均値の３％以下（好ましくは１．５％以下、より好ましくは１．０％以下、さらに好ましくは０．５％以下）とすることができる。すなわち、本発明のフォトスペーサーの製造方法により、非常に均一な高さのフォトスペーサーを製造することができる。
また、フォトスペーサーの形は、基板面を上方から見たときに、円形、楕円形、多角形等様々な形があり、カラーフィルター基板設計上の要求から種々の形状を用いることができる。基板面に平行な方向からみたフォトスペーサーの形は四角形（すなわちフォトスペーサー全体の形としては円柱や多角柱など）や、台形、（すなわちフォトスペーサーの全体の形としては円錘台形、多角錘台形）、逆台形（すなわちフォトスペーサーの全体の形としては逆円錘台形、逆多角錘台形）などがあり、これもカラーフィルター基板設計上の要求から種々の形状を用いることが出来る。
【０１１３】
又、フォトスペーサーに要求される力学的な特性として、弾性回復率、総変形量の２つが上げられる。これらは微小硬度計DUH−W201（島津製作所）等を用いて円錘台圧子により一定の負荷速度でフォトスペーサーを圧縮し、規定の最大荷重に達した後一定の時間その荷重を保持した時のフォトスペーサーの高さをＸ１、引き続いて一定の除荷速度により荷重を取り除き、荷重を取り除いた後一定時間保持後のフォトスペーサーの高さをＸ２、荷重をかける前の初期のフォトスペーサーの高さをＸ０とした時に、弾性回復率は（Ｘ２−Ｘ１）÷（Ｘ０−Ｘ１）×１００［単位：％］で与えられ、総変形量は（Ｘ０−Ｘ１）［単位：μｍ］で与えられる。弾性回復率、総変形量の好ましい範囲の目安としては、最大荷重を５０ｍＮ、負荷時、除荷時の保持時間を５sec、負荷速度、除荷速度を３．３ｍＮ／ｓｅｃとした時に、直径２５μｍ、高さ４．２〜５．０μｍのフォトスペーサーにおいて弾性回復率は８０〜１００％が好ましく、さらに好ましくは９０％〜１００％である。総変形量は０．１μｍ〜０．５μｍが好ましく、さらに好ましくは０．２μｍ〜０．４μｍである。
【０１１４】
《カラーフィルター》
本発明のカラーフィルターは、本発明の感光性樹脂転写材料を用いて形成されたフォトスペーサーを有してなるものである。フォトスペーサーは、基板上に形成されたブラックマトリクス等の表示用遮光部の上やＴＦＴ等の駆動素子上に形成されることが好ましく、また、必要に応じてブラックマトリクス等の表示用遮光部やＴＦＴ等の駆動素子とスペーサーとの間には、ＩＴＯ等の透明導電層やポリイミド等の液晶配向膜が存在していてもよい。
【０１１５】
例えば、フォトスペーサーが表示用遮光部や駆動素子の上に設けられる場合、本発明のカラーフィルターは、あらかじめ配設された表示用遮光部や駆動素子を覆うように、本発明の感光性樹脂転写材料を既述したようにしてラミネートし、剥離転写した後、露光、現像等を行うことによりスペーサーを形成することで作製することができる。
【０１１６】
本発明のカラーフィルターにおいては、高さ均一性が高いフォトスペーサーを使用しているため、その特質を生かすためブラックマトリックスの高さ、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）画素間の高さの差は、１．０μｍ以下であることが好ましい。さらに好ましくは０．５μｍ以下が好ましい。又、ブラックマトリックス、ＲＧＢ画素の高さのばらつきは高さの標準偏差÷高さの平均値×１００の値が３．０以下が好ましい。さらに好ましくは１．５％以下が好ましい。
【０１１７】
《液晶表示素子》
本発明の液晶表示素子は、対向する一対の基板の間に、液晶材料が封入された液晶層を有する素子であって、前記基板の一方が、本発明の感光性樹脂転写材料を用いて形成されたフォトスペーサーを備えた液晶表示用基板である。
【０１１８】
《液晶表示装置》
本発明の液晶表示装置は、互いに対向して配置される一対の基板間をスペーサーによって所定幅に規制しその間隙に液晶材料が封入（封入部分を液晶層と称する）された液晶表示装置であり、その液晶層の厚さを一定に保持するために基板上に配置されるスペーサーが、既述した本発明の感光性樹脂転写材料を用いて形成されたものである。すなわち、前記一対の基板の一方として既述の本発明の液晶表示装置用基板を用いて構成したものである。
【０１１９】
液晶表示装置における液晶としては、ＳＴＮ型、ＴＮ型、ＧＨ型、ＥＣＢ型、強誘電性液晶、反強誘電性液晶、ＶＡ型、ＭＶＡ型、ＡＳＭ型、ＩＰＳ型、ＯＣＢ型、ＡＦＦＳ型その他種々のものが好適に挙げられる。本発明のフォトスペーサーは均一性に優れるためＩＰＳ型、ＭＶＡ型、ＡＦＦＳ型、ＯＣＢ型等のセルギャップ均一性が特に要求される方式に対して特に適している。
【０１２０】
本発明の液晶表示装置の基本的な構成態様としては、（ａ）薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等の駆動素子と画素電極（導電層）とが配列形成された駆動側基板と、カラーフィルター及び対向電極（導電層）を備えたカラーフィルター側基板とをスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、（ｂ）カラーフィルターが前記駆動側基板に直接形成されたカラーフィルター一体型駆動基板と、対向電極（導電層）を備えた対向基板とをスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、等を挙げることができる。本発明の液晶表示装置は、各種液晶表示機器に好適に適用することができる。
【実施例】
【０１２１】
以下、本発明を、実施例を用いて更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、以下において「部」及び「％」は「質量部」及び「質量％」を表す。
【０１２２】
［実施例１］
厚みが７５μｍであるポリエチレンテレフタレートフィルム製の仮支持体上に、下記組成の熱可塑性樹脂層用塗布液Ｈ１を塗布し乾燥させることにより、厚みが１５μｍである熱可塑性樹脂層を形成した。層厚の分布の標準偏差／層厚の平均値が３％であった。
【０１２３】
＜熱可塑性樹脂層用塗布液Ｈ１＞
メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（モル比）＝５５／２８．８／１１．７／４．５
（商品名：アロマテックスＦＭ６０１、三井化学株式会社製、重量平均分子量＝９００００、固形分濃度２１質量％）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・８．５部
１−メトキシ−２−プロピルアセテート・・・・・・・・・・・・・・・・・・３．５部
スチレン／アクリル酸共重合体（モル比）＝６３／３７（商品名：アロセット７０５５、株式会社日本触媒製、重量平均分子量＝８０００、固形分濃度４１質量％）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２５部
２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル]プロパン（新中村化学(株)製）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・６．４部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製：Ｃ6Ｆ13ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2：４０部とＨ（Ｏ（ＣＨ3)ＣＨＣＨ2)7ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2：５５部とＨ（ＯＣＨＣＨ2)7ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2：５部との共重合体、重量平均分子量３万：３０部、メチルイソブチルケトン：７０部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．８３部
メチルエチルケトン ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・４３部
メタノール ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１３部
【０１２４】
次に、前記熱可塑性樹脂層上に、下記組成の中間層用塗布液Ｂ１を塗布し乾燥させることにより、厚みが０．８μｍである中間層を形成した。層厚の分布の標準偏差／層厚の平均値が２．９％であった。
＜中間層用塗布液Ｂ１＞
ポリビニルアルコール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２．１部
（ＰＶＡ２０５（鹸化率＝８８％）；クラレ（株）製）
ポリビニルピロリドン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．９５部
（ＰＶＰ、Ｋ−３０；ＧＡＦコーポレーション社製）
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・４４部
蒸留水・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・５３部
【０１２５】
更に、下記組成の感光性樹脂層用塗布液Ｐ１を塗布し乾燥させることにより、厚みが５μｍである感光性樹脂層を形成した。この感光性樹脂層上に、ポリプロピレン製（厚み１２μｍ）のカバーフィルムを圧着貼付して設けることにより、感光性樹脂転写材料Ｔ１を作製した。
【０１２６】
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ１＞
コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルエチルケトン：７０部、日産化学工業製 ＭＩＢＫｓｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１４０．９部
１−メトキシ−２−プロピルアセテート・・・・・・・・・・・・・・・・３４７．６部
メタクリル酸／アリルメタクリレート共重合体（モル比）＝２０／８０
（重量平均分子量＝３．６万）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９３．４３部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９２．２０部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０３６部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチルアミノ）−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・２．２９７部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・１．０２７部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・０．３２３部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３００．６部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１９．５０部
塗布液の粘度は２９℃において２．４Ｐａ・ｓであった。比重は２９℃において０．９３４であった。
【０１２７】
作製した感光性樹脂転写材料Ｔ１のカバーフィルムを剥離し、これを、ＩＴＯをスパッタしたガラス板上に、ラミネーター（株式会社日立インダストリイズ製（LamicＩＩ型））を用いて、線圧１００Ｎ／ｃｍ、１３０℃の加圧加熱条件下、搬送速度２ｍ／分で貼り合わせた。その後、ポリエチレンテレフタレートフィルム製の仮支持体を熱可塑性樹脂層から剥離し、除去した。次に、所定のフォトマスクを介して超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立電子エンジニアリング株式会社製）で８０ｍＪ／ｃｍ2の露光した後、１％トリエタノールアミン水溶液を用いて熱可塑性樹脂層及び中間層を溶解除去した。この際、感光性樹脂層は実質的に現像されていなかった（有機塩基現像）。
【０１２８】
次いで、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて感光性樹脂層を現像し（無機塩基現像）、ブラシ工程を経て不要部を除去した後、２３０℃で６０分ベークし、液晶表示装置用基板上に１辺１６μｍ、平均高さ約４．７μｍの柱状の透明なスペーサー画像パターン（スペーサードット）を形成した。
【０１２９】
（液晶表示装置の作製方法）
得られたスペーサー画素パターンを形成したカラーフィルターの上にポリイミドの配向膜を形成し、ナイロン製布を巻きつけたロールでラビングした後、液晶表示装置用基板と対向する電極基板を１８０℃にてシール材でシールし、液晶を注入し、液晶表示装置を作製した。
【０１３０】
［実施例２］
実施例１において感光層樹脂層用塗布液Ｐ１の組成を以下の感光性樹脂層用塗布液Ｐ２に変更したこと以外は実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。作製したフォトスペーサーの高さは４．７μｍであった。
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ２＞
コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルエチルケトン：７０部、日産化学工業製 ＭＩＢＫｓｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１６０．０部
メタクリル酸／ベンジルメタクリレート（モル比）＝２８／７２共重合体溶液
（重量平均分子量＝３万、上記高分子化合物２７部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート７３部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３４３．４部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１０４．６部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０４１部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・・２．６０６部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・・１．１６６部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・・１．１４２部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３２８．４部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２２．１５部
調製した塗布液の粘度は２９℃において３．６Ｐａ・ｓであった。比重は２９℃において０．９３８であった。
【０１３１】
［実施例３］
実施例２において、感光性樹脂層塗布液Ｐ２の組成を以下のＰ３に変更したことと、感光性樹脂層の層厚を３.９μｍにしたこと以外は実施例２と同様にして液晶表示装置を作製した。作製したフォトスペーサーの高さは３．６５μｍであった。
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ３＞
コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルエチルケトン：７０部、日産化学工業製 ＭＩＢＫｓｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１４０．０部
１−メトキシ−２−プロピルアセテート・・・・・・・・・・・・・・・・４３．３５部
メタクリル酸／ベンジルメタクリレート（モル比）＝２８／７２共重合体溶液
（重量平均分子量＝３万、上記高分子化合物２７部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート７３部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３４３．４部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９１．５０部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０３６部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・・２．２８０部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・・１．０２０部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・・１．０００部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３５５．９部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１９．３８部
調製した塗布液の粘度は２９℃において３．０Ｐａ・ｓであった。比重は２９℃において０．９２６であった。
【０１３２】
［実施例４］
実施例１において、感光性樹脂層用塗布液Ｐ１の組成を以下のＰ４に変更した以外は実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。作製したフォトスペーサーの高さは４．７μｍであった。
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ４＞
１−メトキシ−２−プロピルアセテート・・・・・・・・・・・・・・・３４７．６部
メタクリル酸／アリルメタクリレート共重合体（モル比）＝２０／８０
（重量平均分子量＝３．６万）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９３．４３部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９２．２０部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０３６部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・２．２９７部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・１．０２７部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・０．３２３部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３００．６部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１９．５０部
調製した塗布液の粘度は２９℃において３．１Ｐａ・ｓであった。比重は２９℃において０．９２８であった。
【０１３３】
［実施例５］
実施例２において感光層樹脂層用塗布液Ｐ２の組成を以下の感光性樹脂層用塗布液Ｐ５に変更したことと、熱可塑性樹脂層の層厚を７μｍにした以外は実施例２と同様にして液晶表示装置を作製した。
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ５＞
コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルエチルケトン：７０部、日産化学工業製 ＭＩＢＫｓｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・７０．０部
１−メトキシ−２−プロピルアセテート・・・・・・・・・・・・・・・・４３．３５部
メタクリル酸／ベンジルメタクリレート（モル比）＝２８／７２共重合体溶液
（重量平均分子量＝３万、上記高分子化合物２７部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート７３部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３４３．４部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９１．５０部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０３６部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・・２．２８０部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・・１．０２０部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・・１．０００部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３５５．９部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１９．３８部
調製した塗布液の粘度は２９℃において２．９Ｐａ・ｓであった。比重は２９℃において０．９２６であった。
【０１３４】
［実施例６］
実施例１において、有機塩基現像を行わなかったこと以外は実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。
【０１３５】
［比較例１］
実施例１において、熱可塑性樹脂層と中間層とを設けなかったこと、及び有機塩基現像を行わなかったこと以外は実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。出来上がったフォトスペーサーの高さは４．７μｍであった。
【０１３６】
［比較例２］
実施例１において感光性樹脂層用塗布液Ｐ１の組成を以下の感光性樹脂層用塗布液Ｐ６に変更したこと以外は実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。出来上がったフォトスペーサーの高さは４．７μｍであった。
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ４＞
コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルエチルケトン：７０部、日産化学工業製 ＭＩＢＫｓｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１６０．０部
メタクリル酸／ベンジルメタクリレート（モル比）＝２８／７２共重合体溶液
（重量平均分子量＝３万、上記高分子化合物２７部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート７３部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３４３．４部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１０４．６部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０４１部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・・２．６０６部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・・１．１６６部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・・０．０５０部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３２８．４部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２２．１５部
【０１３７】
［評価］
（溶融粘度測定）
上記熱可塑性樹脂層用塗布液及び感光性樹脂層用塗布液をガラス板に塗布し、風乾した後、45℃で4時間真空乾燥を行った。ガラス板から剥がし試料とした。測定はJasco International Co.Ltd製の粘弾性測定装置DynAlyser DAS-100を用いて測定温度１１０℃、周波数 1Hzで測定した。測定結果を表１に示す。
【０１３８】
（層厚測定）
層厚は表面粗さ計Ｐ−１０（ＴＥＮＣＯＲ社製）を用いて測定した。測定は、基板上に塗布乾燥された膜を削り取り、生じた段差を測定して層厚とした。又、塗布サンプルの面内において５０箇所の層厚測定を行って、その標準偏差と平均値を求めた。結果を表１に示す。
【０１３９】
（スペーサーの高さ分布（バラツキ）測定）
三次元表面構造解析顕微鏡（メーカー：ＺＹＧＯ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、型式：Ｎｅｗ Ｖｉｅｗ ５０２２）を用いてランダムに無作為に選択されたフォトスペーサーを測定した。測定結果を表１に示す。
【０１４０】
（表示品質）
作製した液晶表示装置にグレーのベタ画像を表示し、以下の評価基準に従い、画像の表示品質を評価した。結果を表１に示す。
−評価基準−
◎：表示されたベタ画像に明暗のムラは見られない。
○：表示されたベタ画像に明暗のムラが極僅か見られる。
△：表示されたベタ画像に明暗のムラが見られるが、実用上は許容できるレベル。
×：表示されたベタ画像明暗のムラが多くみられ、実用上も許容できないレベル。
【０１４１】
【表１】
【０１４２】
表１より、本発明に従う実施例１〜６のフォトスペーサーの高さ分布の均一性が高く、液晶表示装置を作製した場合に優れた画像表示品質が得られたことが分かる。これに対して、比較例１〜２では、フォトスペーサーの高さ分布の均一性が低く、良好な画像表示品質が得られなかった。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置を構成する構造物（例えば基板上に配置されて所定の間隙を保持するスペーサー）の形成に好適な感光性樹脂転写材料、及び該感光性樹脂転写材料を用いて製造するフォトスペーサーの製造方法、並びに該フォトスペーサーを有するカラーフィルター、液晶表示素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶表示装置は、高画質画像を表示する表示装置に広く利用されている。液晶表示装置は一般に、一対の基板間に所定の配向により画像表示を可能とする液晶層が配置されており、この基板間隔、すなわち液晶層の厚みを均一に維持することが画質を決定するため、液晶層の厚みを一定に保持するためのフォトスペーサーが配設されている。
【０００３】
樹脂組成物を用いたフォトスペーサー形成を行う場合、仮支持体上に樹脂組成物からなる感光性樹脂層を有する転写材料（感光性樹脂転写材料）を用いた方法が知られている（例えば、特許文献１〜３参照。）。この転写材料は、通常、感光性樹脂層の他、被転写材の被転写面に存在する凹凸に伴う転写不良を回避するためにクッション性を有する熱可塑性樹脂層が仮支持体と感光性樹脂層との間に設けられる。そして、フォトスペーサーを形成しようとする基板表面に感光性樹脂層を転写し、該感光性樹脂層に対し、パターニング露光・現像を経て、フォトスペーサーが形成される。
【０００４】
ところで、溶液塗布により塗布膜を形成してフォトスペーサーを形成する場合、該フォトスペーサーの高さは塗布層厚に大きく影響されることが知られている（例えば、特許文献４参照。）。このことは転写材料によってフォトスペーサーを形成する場合も然りである。すなわち、感光性樹脂転写材料を用いてフォトスペーサーを形成する場合、感光性樹脂層の層厚がそのままフォトスペーサーの高さとなり、フォトスペーサーの高さ精度は感光性樹脂層の厚み精度に依存し、感光性樹脂層の厚みが不均一であると、フォトスペーサーの高さも不均一となる。従って、フォトスペーサーの高さを均一とするには感光性樹脂層の厚みを均一とすることが不可欠である。
しかしながら、従来においては、感光性樹脂層の厚みについて厳密な検討がなされておらず、フォトスペーサーの高さの均一性について改善の余地が残されていた。
【特許文献１】特開２００１−１２５１１３号公報
【特許文献２】特開２００１−１６６３１５号公報
【特許文献３】特開２００３−２０７７８７号公報
【特許文献４】特開２００４−３７６９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記従来の問題点に鑑みなされたものであり、以下の目的を達成することを課題とする。すなわち、
本発明の目的は、高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを形成し得る感光性樹脂転写材料、該感光性樹脂転写材料を用い高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを製造し得るフォトスペーサーの製造方法、該フォトスペーサーを有するカラーフィルター、液晶表示素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するための手段は以下の通りである。すなわち、
＜１＞ 仮支持体上に、少なくとも、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有し、前記感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることを特徴とする感光性樹脂転写材料である。
【０００７】
＜２＞ 前記熱可塑性樹脂層の厚み（Ａ）と、前記感光性樹脂層の厚み（Ｂ）との比率（Ｂ／Ａ）が１／２．５以下であることを特徴とする前記＜１＞に記載の感光性樹脂転写材料である。
【０００８】
＜３＞ 前記感光性樹脂層の溶融粘度が１１０℃において１．０×１０3Ｐａ・ｓ以上であり、前記熱可塑性樹脂層の１１０℃における溶融粘度が前記感光性樹脂層の溶融粘度よりも低いことを特徴とする前記＜１＞または＜２＞に記載の感光性樹脂転写材料である。
【０００９】
＜４＞ 請求項１から３のいずれか１項に記載の感光性樹脂転写材料を用いて、加熱及び／又は加圧により基板上に感光性樹脂層を転写する工程と、転写した感光性樹脂層に対してパターン露光を行う工程と、パターン露光後の感光性樹脂層を現像処理する工程と、ポストベーク処理を行う工程とを有することを特徴とするフォトスペーサーの製造方法である。
【００１０】
＜５＞ 前記パターン露光後の現像処理が有機塩基を含む現像液により現像を行った後、再度、無機塩基を含む現像液により現像を行う処理であることを特徴とする前記＜４＞に記載のフォトスペーサーの製造方法である。
【００１１】
＜６＞ 前記有機塩基の種類がアルキルアルコールアミンであり、前記有機塩基を含む現像液のｐＨが１０〜１２の範囲であることを特徴とする前記＜５＞に記載のフォトスペーサーの製造方法である。
【００１２】
＜７＞ 前記無機塩基の種類が、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、及び水酸化カリウムからなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする前記＜５＞または＜６＞に記載のフォトスペーサーの製造方法である。
【００１３】
＜８＞ 前記＜４＞から＜７＞のいずれかに記載のフォトスペーサーの製造方法により製造したフォトスペーサーを有することを特徴とするカラーフィルターである。
【００１４】
＜９＞ 前記＜４＞から＜７＞のいずれかに記載のフォトスペーサーの製造方法により製造したフォトスペーサーを有することを特徴とする液晶表示素子である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを形成し得る感光性樹脂転写材料、該感光性樹脂転写材料を用い高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを製造し得るフォトスペーサーの製造方法、該フォトスペーサーを有するカラーフィルター、液晶表示素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明について詳細に説明する。
《感光性樹脂転写材料》
本発明の感光性樹脂転写材料は、仮支持体上に、該仮支持体側から順に少なくとも、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを少なくとも設けて構成され、前記感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることを特徴とするものである。
また、必要に応じて熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層との間に中間層など他の層を有していてもよい。
【００１７】
−アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層−
本発明の感光性樹脂転写材料は、少なくとも一層のアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層を有する。アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層（以下、単に「熱可塑性樹脂層」ともいう。）は、アルカリ現像を可能とし、また、転写時にはみ出した熱可塑性樹脂層自身による被転写体の汚染防止を可能とする点からアルカリ可溶性である必要があり、後述する感光性樹脂層を被転写体上に転写する際に、被転写体上に存在する凹凸に起因して発生する転写不良を効果的に防止するクッション材としての機能を有し、感光性樹脂転写材料を被転写体上に加熱密着させた際の被転写体上の凹凸に対応して変形可能な層である。
【００１８】
アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層の層厚は、クッション性及び現像により容易に除去可能とすることから、２．０〜２０．０μｍとすることが好ましく、５．５．０〜１８．０μｍとすることがより好ましく、１２．０〜１６．０μｍとすることがさらに好ましい。
【００１９】
前記熱可塑性樹脂層は、少なくともアルカリ可溶な熱可塑性樹脂を用いて構成することができ、必要に応じて適宜他の成分を用いることができる。アルカリ可溶な熱可塑性樹脂は、特に制限はなく適宜選択することができるが、実質的な軟化点が８０℃以下であるものが好ましい。
【００２０】
アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に含まれる樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体とのケン化物、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体とのケン化物、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体とのケン化物、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、および（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等との（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のケン化物、等より選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。さらに「プラスチック性能便覧」（日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、１９６８年１０月２５日発行）による有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することもできる。これらは１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。また、これらの熱可塑性樹脂のうち、軟化点が８０℃以下のものが好ましい。尚、本発明において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸およびメタクリル酸を総称し、その誘導体の場合も同様である。
【００２１】
上記アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層に含まれる樹脂の中でも、重量平均分子量５万〜５０万（Ｔｇ＝０〜１４０℃）の範囲で、更に好ましくは重量平均分子量６万〜２０万（Ｔｇ＝３０〜１１０℃）の範囲で選択して使用することができる。これらの樹脂の具体例としては、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５５−３８９６１号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭６１−１３４７５６号、特公昭５９一４４６１５号、特開昭５４−９２７２３号、特開昭５４−９９４１８号、特開昭５４−１３７０８５号、特開昭５７−２０７３２号、特開昭５８−９３０４６号、特開昭５９−９７１３５号、特開昭６０−１５９７４３号、特開昭６０−２４７６３８号、特開昭６０−２０８７４８号、特開昭６０−２１４３５４号、特開昭６０−２３０１３５号、特開昭６０−２５８５３９号、特開昭６１−１６９８２９号、特開昭６１−２１３２１３号、特開昭６３−１４７１５９号、特開昭６３−２１３８３７号、特開昭６３−２６６４４８号、特開昭６４−５５５５１号、特開昭６４一５５５５０号、特開平２−１９１９５５号、特開平２−１９９４０３号、特開平２−１９９４０４号、特開平２−２０８６０２号、特開平５−２４１３４０号の各公報明細書に記載されているアルカリ水溶液に可溶な樹脂を挙げることができる。特に好ましいのは、特開昭６３−１４７１５９号明細書に記載されたメタクリル酸／２一エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メチルメタクリレート共重合体である。
【００２２】
また、上記した種々の樹脂の中から、好ましくは重量平均分子量３千〜３万（Ｔｇ＝３０〜１７０℃）の範囲で、更に好ましくは重量平均分子量４千〜２万（Ｔｇ＝６０〜１４０℃）の範囲で選択して使用することができる。これらの好ましい具体例は、上記の特許明細書に記載されているものの中から選ぶことができるが、特に好ましくは、特公昭５５−３８９６１号、特開平５−２４１３４０号の各公報に記載のスチレン／（メタ）アクリル酸共重合体が挙げられる。
【００２３】
アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層には、前記熱可塑性樹脂以外に他の成分として、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的に軟化点が８０℃を超えない範囲内で各種ポリマー、過冷却物質、密着改良剤、界面活性剤、離型剤等を添加することができる。これらによりＴｇの調整も可能である。好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エポキシ樹脂とポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアネートとポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアネートとポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、ビスフェノールＡとポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの縮合反応生成物を挙げることができる。アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層中の、可塑剤の量は熱可塑性樹脂に対して２００質量％以下が一般的で、２０〜１００質量％の範囲が好ましい。
【００２４】
前記界面活性剤は、本発明の前記熱可塑性樹脂と混ざり合うものであれば使用可能である。本発明に用いる好ましい界面活性剤としては、特開２００３−３３７４２４号公報［００１５］〜［００２４］、特開２００３−１７７５２２号公報［００１２］〜［００１７］、特開２００３−１７７５２３号公報［００１２］〜［００１５］、特開２００３−１７７５２１号公報［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５１９号公報［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５２０号公報［００１２］〜［００１５］、特開平１１−１３３６００号公報の［００３４］〜［００３５］、特開平６−１６６８４号公報の発明として開示されている界面活性剤が好適なものとして挙げられる。より高い効果を得る為にはフッ素系界面活性剤、及び/又はシリコン系界面活性剤（フッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤、フッソ原子と珪素原子の両方を含有する界面活性剤）のいずれか、あるいは２種以上を含有することが好ましく、フッ素系界面活性剤が最も好ましい。
【００２５】
フッ素系界面活性剤を用いる場合、該界面活性剤分子中のフッ素含有置換基のフッ素原子数は１〜３８が好ましく、５〜２５がより好ましく、７〜２０が最も好ましい。フッ素原子数が多すぎるとフッ素を含まない通常の溶媒に対する溶解性が落ちる点で好ましくない。フッ素原子数が少なすぎると、ムラの改善効果が得られない点で好ましくない。
【００２６】
特に好ましい界面活性剤として、下記一般式（ａ）及び、一般式（ｂ）で表されるモノマーを含み、且つ一般式（ａ）／一般式（ｂ）の質量比が２０／８０〜６０／４０の共重合体を含有するものが挙げられる。
【００２７】
【化１】
（式中、Ｒ1、Ｒ2、及びＲ3はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示し、Ｒ4は水素原子または炭素数１〜５のアルキル基を示す。ｎは１〜１８の整数、ｍは２〜１４の整数を示す。ｐ、ｑは０〜１8の整数を示すが、ｐ、ｑが同時に０になる場合は含まない。）
上記界面活性剤の具体例は特開２００３−３３７４２４号公報の段落番号［００６８］の表１に記載されている。
【００２８】
また、下記市販の界面活性剤をそのまま用いることもできる。使用できる市販の界面活性剤として、例えばエフトップＥＦ301、ＥＦ303、(新秋田化成(株)製)、フロラードＦＣ４３０、４３１(住友スリーエム(株)製)、メガファックＦ−７８０−Ｆ、Ｆ１７１、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１８９、Ｒ０８（大日本インキ（株）製）、サーフロンＳ-３８２、ＳＣ１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６（旭硝子（株）製）等のフッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤を挙げることができる。またポリシロキサンポリマーKP−341（信越化学工業（株）製）、トロイゾルＳ−３６６（トロイケミカル（株）製）もシリコン系界面活性剤として用いることができる。
【００２９】
本発明において、熱可塑性樹脂層の溶融粘度は、感光性樹脂層を凹凸のある基板にするときに元の感光性樹脂層の層厚変化を最小限に抑える点で、１１０℃において１００Ｐａ・ｓ〜３５０００Ｐａ・ｓであることが好ましく、５００Ｐａ・ｓ〜１００００Ｐａ・ｓであることがより好ましく、１０００Ｐａ・ｓ〜４０００Ｐａ・ｓであることがさらに好ましい。１１０℃における溶融粘度が高すぎるとラミネート時に熱可塑性樹脂層の変形が十分に起こらず、逆に１１０℃における溶融粘度が低すぎるとラミネート時に熱可塑性樹脂層の変形が起こりすぎてしまいその結果支持体の影響を受けて、いずれも感光性樹脂層の膜厚変化が大きくなってしまう。又、熱可塑性樹脂層の層厚の分布は、層厚の標準偏差／層厚の平均値が０％〜１０％以下が好ましく、０％〜５％が更に好ましく、０％〜３％が最も好ましい。熱可塑性樹脂層の層厚の分布のバラツキを減らすことにより感光性樹脂層を層厚変化を最小限に抑えることができる。
【００３０】
−中間層−
本発明の感光性樹脂転写材料は、少なくとも一層の中間層を有してもよい。中間層は、仮支持体上に設けられた前記熱可塑性樹脂層の上であって、該熱可塑性樹脂層と後述する感光性樹脂層との間に設けられる。中間層が配設されることにより、熱可塑性樹脂層と感光性樹脂層との形成には有機溶剤が用いられるため、両層が互いに混ざり合うのを防止できる点で好ましい。
【００３１】
中間層としては、水又はアルカリ水溶液に分散ないし溶解するものが好ましい。中間層の構成材料には、公知のものを使用でき、例えば、特開昭４６−２１２１号公報及び特公昭５６−４０８２４号公報に記載のポリビニルエーテル／無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド類、水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種澱粉及びその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン／マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、などが挙げられる。
これらは、１種単独で用いる以外に２種以上を併用してもよい。
【００３２】
上記の中でも、水溶性樹脂、すなわち水溶性の高分子材料を使用するのが好ましく、この中でも少なくともポリビニルアルコールを使用するのがより好ましく、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの併用が特に好ましい。
前記ポリビニルアルコールとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、その鹸化度が８０ｍｏｌ％以上のものが好ましい。
【００３３】
前記ポリビニルピロリドンを使用する場合には、その含有量としては、中間層の固形分に対し、１〜７５体積％が好ましく、１〜６０体積％がより好ましく、１０〜５０体積％が特に好ましい。該含有量が、１体積％未満であると前記熱可塑性樹脂層との充分な密着性が得られないことがあり、７５体積％を超えると酸素遮断能が低下することがある。
【００３４】
本発明に係る中間層については、酸素透過率が小さいことが好ましい。中間層の酸素透過率が大きく酸素遮断能が低い場合には、後述の感光性樹脂層に対する露光時における光量をアップする必要が生じたり、露光時間を長くする必要が生ずることがあり、解像度も低下してしまうことがある。
【００３５】
中間層の層厚としては、０．１〜３．０μｍ程度が好ましく、１．０〜２．０μｍがより好ましい。該厚みが、０．１μｍ未満であると酸素透過性が高過ぎてしまうことがあり、３．０μｍを超えると現像時や中間層除去時に長時間を要することがあるため好ましくない。
中間層の層厚調整は、中間層塗布液の濃度により、調整することができる。又、中間層の層厚の分布は、層厚の標準偏差／層厚の平均値が０％〜１０％以下が好ましく、０％〜５％が更に好ましく、０％〜３％が最も好ましい。中間層の層厚の分布のバラツキを減らすことにより感光性樹脂層を層厚変化を最小限に抑えることができる。
【００３６】
−感光性樹脂層−
本発明の感光性樹脂転写材料は、少なくとも一層の感光性樹脂層を有してなる。感光性樹脂層は、フォトスペーサー等の樹脂構造物を形成する場合に該樹脂構造物を構成する層であり、高分子物質と、重合性モノマーと、光重合開始剤とを少なくとも含んでなり、必要に応じて着色剤や他の成分を用いて構成することができる。着色剤を含有する場合には、カラーフィルターを構成する着色画素を形成することができる。
【００３７】
本発明においては、既述のように、感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であるが、好ましくは１．０％以下であり、より好ましくは０．５％以下である。このように、本発明の感光性樹脂転写材料においては、感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることにより、フォトスペーサーを形成した場合に、その高さの均一性を向上することができる。逆に、当該比率が１．５％を超えると、形成するフォトスペーサー高さが不均一となり好ましくない。
【００３８】
本発明において、感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差を層厚の平均値の１．５％以下とするには、塗布液を仮支持体に塗布する際の塗布機の振動を減らし、仮支持体の搬送速度を精度良く一定に保ち、更に塗布液の吐出量を仮支持体の幅方向、仮支持体の塗布方向について精度良く一定に保つことによって実現される。
【００３９】
感光性樹脂層の層厚は２．５〜５．０μｍであることが好ましく、２．７〜４．５μｍであることがより好ましく、３．０〜３．８μｍであることがさらに好ましい。
また、既述の熱可塑性樹脂層の層厚（Ａ）と、感光性樹脂層の層厚（Ｂ）の比率（Ｂ／Ａ）は、凹凸を有する基板上にラミネートによる感光性樹脂層の転写を行った時に、感光性樹脂層の膜厚が変化しない観点から、１／２．５以下であることが好ましく、１／３．７５以下であることがより好ましく、１／５以下であることがさらに好ましい。
【００４０】
感光性樹脂層は、後述する各成分を含有する塗布液を調製し、該塗布液を塗布することにより形成することにより形成することができるが、層厚を均一化するという観点から、塗布液の粘度としては、１．０〜５．０Ｐａ・ｓとすることが好ましい。また、塗布液の比重としては、０．９〜１．１とすることが好ましい。
塗布方法としては、ダイコート、ロールコート、カーテンコート等の公知の方法を用いることができる。
また、塗布後、塗布層を乾燥させるが、乾燥方法としては溶剤蒸気量をコントロールした温風を塗布面に当てる事に行う。
【００４１】
〈高分子物質〉
高分子物質は、スペーサーや着色画素等の積層体を形成した場合にバインダー成分としての機能を有するものであり、前記＜熱可塑性樹脂層＞で述べた樹脂や、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーやそれ自体重合性を有する、特開２００３−１３１３７９の段落番号［００３１］〜［００５４］に記載の光により重合可能なアリル基を有する高分子樹脂が好ましい例として挙げられる。
【００４２】
高分子物質は、目的に応じて適宜選択した単量体の単独重合体、複数の単量体からなる共重合体のいずれであってもよく、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。
側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーの例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、また、この他にも水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく用いることができる。また、特に好ましい例としては、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートレと（メタ）アクリル酸との共重合体や，ベンジル(メタ）アクリレートと(メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。
【００４３】
アリル基を有する高分子物質の単量体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、アルキル（メタ)アクリレート、アリル（メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ)アクリレート、ビニル化合物、アリル基含有（メタ)アクリレート、等が挙げられる。尚、本明細書中において、（メタ)アクリレートは、アクリレート又はメタクリレートを表す。
これら単量体は、１種単独で用いる以外に２種以上を併用してもよい。
【００４４】
前記アルキル（メタ)アクリレート及びアリル（メタ)アクリレートとしては、例えば、メチル（メタ)アクリレート、エチル（メタ)アクリレート、プロピル（メタ)アクリレート、ブチル（メタ)アクリレート、イソブチル（メタ)アクリレート、ペンチル（メタ)アクリレート、ヘキシル（メタ)アクリレート、オクチル（メタ)アクリレート、フェニル（メタ)アクリレート、ベンジルアクリレート、トリルアクリレート、ナフチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、等が好適に挙げられる。
【００４５】
前記ヒドロキシアルキル（メタ)アクリレートとしては、例えば、ヒドロキシメチル（メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル（メタ)アクリレート、ヒドロキシイソブチル（メタ)アクリレート、ヒドロキシペンチル（メタ)アクリレート、ヒドロキシヘキシル（メタ)アクリレート、ヒドロキシオクチル（メタ)アクリレート等が挙げられ、中でも特に、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシｎ−ブチル（メタ）アクリレート等が好ましい。
【００４６】
前記ビニル化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、等が好適に挙げられる。
【００４７】
前記アリル基含有（メタ）アクリレートとしては、例えば、アリル（メタ）アクリレート、２−メチルアリルアクリレート、クロチルアクリレート、クロルアリルアクリレート、フェニルアリルアクリレート、シアノアリルアクリレート、等が挙げられ、中でもアリル（メタ）アクリレートが特に好ましい。
【００４８】
上記した高分子物質の中でも、アリル基含有（メタ)アクリレートをモノマーユニットとして少なくとも有する樹脂が好ましく、アリル基含有（メタ)アクリレートと（メタ)アクリル酸及びアリル基非含有（メタ)アクリレートから選択されるモノマーとをモノマーユニットとして有する樹脂がより好ましい。
【００４９】
前記高分子物質の好ましい具体例としては、（メタ）アクリル酸(M1)とアリル（メタ）アクリレート(M2)との二元共重合樹脂〔好適な共重合比［モル比］はM1：M2＝２〜９０：１０〜９８〕や、（メタ）アクリル酸(M3)とアリル（メタ）アクリレート(M4)とベンジル（メタ）アクリレート(M5)との三元共重合樹脂〔好適な共重合比［モル比］はM3：M4：M5＝５〜４０：２０〜９０：５〜７０〕などが挙げられる。
【００５０】
前記高分子物質がアリル基を有する場合のアリル基含有モノマーの含有率としては、１０モル％以上が好ましく、好ましくは１０〜１００モル％、より好ましくは１５〜９０モル％、更に好ましくは２０〜８５モル％である。
【００５１】
前記高分子物質の重量平均分子量としては、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定値のポリスチレン換算値で５，０００〜１００，０００が好ましく、８,０００〜５０,０００がより好ましい。該重量平均分子量を５，０００〜１００，０００の範囲内とすることで、膜強度を良化することができる。
【００５２】
前記高分子物質の感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、１５〜９５質量％が好ましく、３０〜８５質量％がより好ましく、４０〜７５質量％が更に好ましい。
【００５３】
〈重合性モノマー〉
重合性モノマーとしては、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有するものであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、エステル化合物、アミド化合物、並びにその他の化合物が挙げられる。
【００５４】
前記エステル化合物としては、例えば、単官能（メタ）アクリル酸エステル、多官能（メタ）アクリル酸エステル、イタコン酸エステル、クロトン酸エステル、イソクロトン酸エステル、マレイン酸エステル、その他のエステル化合物、などが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよいが、これらの中でも、単官能（メタ）アクリル酸エステル、多官能（メタ）アクリル酸エステル等が好ましい。
【００５５】
前記単官能（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチルモノ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００５６】
前記多官能（メタ）アクリル酸エステルしては、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレート、ソルビトールトリ（メタ）アクリレート、ソルビトールテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。中でも特に、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレートが好ましい。
【００５７】
前記多官能（メタ）アクリル酸エステルの他の例としては、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号公報、特公昭５０−６０３４号公報、特開昭５１−３７１９３号公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報、及び特公昭５２−３０４９０号公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載の（メタ）アクリル酸エステルやウレタン（メタ）アクリレートやビニルエステル、などが挙げられる。
【００５８】
前記「その他のエステル化合物」としては、例えば、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．７，第３００〜３０８頁に記載の光硬化性モノマー及びオリゴマー、などが挙げられる。
【００５９】
また、上記のアミド化合物としては、例えば、不飽和カルポン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド（モノマー）などが挙げられ、具体的には、メチレンビス−（メタ）アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−（メタ）アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、などが挙げられ、また、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載の（メタ）アクリル酸アミド、などが挙げられる。
【００６０】
また、上記の「その他の化合物」としては、例えば、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載のアリル化合物、などが挙げられる。
【００６１】
上記した重合性モノマーは、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。重合性モノマーの感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、１０〜６０質量％が好ましく、２０〜５０質量％がより好ましい。
【００６２】
本発明においては、感光性樹脂層の１１０℃における溶融粘度は１．０×１０3Ｐａ・ｓ以上であることが好ましく、１８００Ｐａ・ｓ以上であることがより好ましく、２５０００Ｐａ・ｓ以上であることがさらに好ましい。そして更に、当該感光性樹脂層の溶融粘度は前記熱可塑性樹脂層の溶融粘度よりも低いことが好ましい。このような規定により、感光性樹脂層をラミネートにより基板へ転写した時に、元の感光性樹脂層を維持したまま転写することが出来るようになる。
【００６３】
感光性樹脂層の上記溶融粘度の好ましい範囲を達成するために、感光性樹脂層中における、前記高分子ポリマーの含有量Ａ（質量％）と前記重合性モノマーの含有量（質量％）Ｂとの比Ｂ／Ａを調整する手段が好ましい。
本発明の感光性樹脂層の１１０℃における溶融粘度を１．０×１０3Ｐａ・ｓ以上に調整する場合、この比Ｂ／Ａを０．４以上１．１未満の範囲、好ましくは０．５５以上０．９５未満の範囲に調整することが好ましい。比Ｂ／Ａが大きすぎると感光性樹脂層が室温においてすらもベタツキはじめるため取り扱い性が悪化する。比Ｂ／Ａが小さいほど溶融粘度は高くなるが小さすぎると光重合が十分に起こらなくするためにフォトスペーサーの力学的な耐久性が低下する。
また、上記溶融粘度の好ましい範囲を達成する他の手段として、感光性樹脂層に体質顔料、又は着色顔料を含有させることが好ましい。前記体質顔料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、特開２００３−３０２６３９号公報［００３５］〜［００４１］に記載の体質顔料が好ましい。前記着色顔料としては、特開２００３−３０２６３９号公報［００４３］に記載の顔料が挙げられる。
【００６４】
〈光重合開始剤〉
光重合開始剤としては、およそ３００ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域に約５０以上の分子吸光係数を有する成分を少なくとも１種含有しているものが好ましく、例えば、特開平２−４８６６４号公報、特開平１−１５２４４９号公報、及び特開平２−１５３３５３号公報に記載の芳香族ケトン類、ロフィン２量体、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類、ポリハロゲン類、ハロゲン化炭化水素誘導体、ケトン化合物、ケトオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、などが挙げられる。
【００６５】
上記の中でも、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンと２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体との組合せ、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ’−ジ（エトキシカルボニルメチル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン〕、２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ’−ジエトキシカルボニルメチルアミノ）−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジンなどが好ましい。
【００６６】
上記の光重合開始剤は、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。光重合開始剤の含有量としては、前記重合性モノマーの量に対して、０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％がより好ましい。
【００６７】
本発明に係る感光性樹脂層には、上記した高分子物質、重合性モノマー、及び光重合開始剤の他、染料、顔料等の着色剤を含有してもよい。好ましい顔料の種類、サイズ等については、例えば特開平１１−１４９００８号公報の記載から適宜選択することができる。顔料等の着色剤を含有させた場合は、着色画素を形成することができる。また、必要に応じて界面活性剤等の添加剤を添加することもできる。
【００６８】
感光性樹脂層の層厚としては、１〜１４μｍが好ましく、１〜６μｍがより好ましい。該層厚が、１μｍ未満であると製造時の塗布形成の際にピンホールが発生することがあり、１４μｍを超えると現像時に未露光部を除去するのに長時間を要することがあり好ましくない。
【００６９】
−仮支持体−
仮支持体としては、転写の支障とならない程度に前記熱可塑性樹脂層に対する剥離性を有するものが好ましく、化学的・熱的に安定で可撓性を有するものが好ましい。
【００７０】
前記仮支持体の材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリ四フッ化エチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、などが挙げられる。
【００７１】
仮支持体の構造としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。これらは、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用してもよい。
【００７２】
仮支持体には、前記熱可塑性樹脂層との間に良好な剥離性を確保する観点から、グロー放電等の表面処理を行わないことが好ましく、また、ゼラチン等の下塗層も設けないことが好ましい。仮支持体の厚みとしては、５〜３００μｍ程度が好ましく、２０〜１５０μｍが好ましい。
【００７３】
前記仮支持体としては、その少なくとも一方の表面に導電性層が設けられているか、或いは仮支持体自体が導電性を有することが好ましい。仮支持体がこのように導電性を有する構成であると、該仮支持体を備えた感光性樹脂転写材料を被転写体上に密着させた後に仮支持体を剥離する場合に、該仮支持体や該被転写体等が帯電して周囲のゴミ等を引き寄せることがなく、その結果、該仮支持体を剥離した後においても熱可塑性樹脂層上にゴミ等が付着せず、その後の露光過程で余分な未露光部ができることに伴うピンホールの形成を効果的に防止することができる。仮支持体上の導電性層又は導電性を有する仮支持体の表面における表面電気抵抗としては、１０13Ω以下が好ましい。
【００７４】
前記導電性を有する仮支持体とするには、該仮支持体中に導電性物質を含有させればよい。導電性物質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、金属酸化物、帯電防止剤などが挙げられる。
【００７５】
前記金属酸化物としては、例えば、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化モリブデンなどが挙げられる。これらは１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。また、金属酸化物の形態としては、結晶微粒子、複合微粒子などが挙げられる。
【００７６】
前記帯電防止剤としては、例えば、エレクトロストリッパーＡ（花王（株）製）、エレノンＮｏ．１９（第一工業製薬（株）製）等のアルキル燐酸塩系アニオン界面活性剤、アモーゲンＫ（第一工業製薬（株）製）等のベタイン系両性界面活性剤、ニッサンノニオンＬ（日本油脂（株）製）等のポリオキシエチレン脂肪酸エステル系非イオン界面活性剤、エマルゲン１０６、同１２０、同１４７、同４２０、同２２０、同９０５、同９１０（花王（株）製）やニッサンノニオンＥ（日本油脂（株）製）等のポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル系、多価アルコール脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンアルキルアミン系等のその他の非イオン系界面活性剤が挙げられる。これらは１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００７７】
前記導電性層としては、公知の導電性物質の中から適宜選択して使用することにより形成することができ、該導電性物質としては、例えば、ＺｎＯ、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｉｎ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＭｇＯ、ＢａＯ、ＭｏＯ3などが湿度環境に影響されず安定した導電効果が得られる点で好ましい。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００７８】
前記金属酸化物又は前記導電性物質の体積抵抗値としては、１０7Ω・ｃｍ以下が好ましく、１０5Ω・ｃｍ以下がより好ましい。前記金属酸化物又は前記導電性物質の粒子径としては、０．０１〜０．７μｍが好ましく、０．０２〜０．５μｍがより好ましい。
【００７９】
前記導電性層には、バインダーとして、例えば、ゼラチン、セルロースナイトレート、セルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート等のセルロースエステル、塩化ビニリデン、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、炭素数１〜４のアルキルアクリレート、ビニルピロリドン等を含むホモポリマー又はコポリマー、可溶性ポリエステル、ポリカーボネート、可溶性ポリアミド、などを使用することができる。
【００８０】
−その他の層−
本発明の感光性樹脂転写材料においては、上記した層以外に、例えば、カバーフィルムなど他の層を更に設けることができる。
【００８１】
前記カバーフィルムは、保管等の際に汚れや損傷等から前記感光性樹脂層を保護する機能を有し、上記の仮支持体と同一又は類似の材料で構成することができる。カバーフィルムとしては、前記感光性樹脂層から容易に剥離可能なものであればよく、例えば、シリコン紙、ポリオレフィンシート、ポリテトラフルオロエチレンシート等が好適に挙げられる。これらの中でも、ポリエチレンシートないしフイルム、ポリプロピレンシートないしフイルムが好ましい。カバーフィルムの厚みとしては、５〜１００μｍ程度が好ましく、１０〜３０μｍがより好ましい。
【００８２】
本発明の感光性樹脂転写材料は、仮支持体上に、アルカリ可溶に構成された熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥することによりアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層を設け、該熱可塑性樹脂層上に、該熱可塑性樹脂層を溶解しない水系溶媒を用いた中間層用塗布液を塗布、乾燥することにより中間層を設け、更に中間層上に、該中間層を溶解しない溶剤を用いた感光性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥することにより感光性樹脂層を設けることによって製造することができる。また別の方法として、カバーフィルム上に感光性樹脂層を設けたものと、仮支持体上に該支持体側から順にアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と中間層とを設けたものとを作製し、前者の感光性樹脂層表面と後者の中間層表面とが互いに接するように貼り合わせることによって、或いは、カバーフィルム上に該カバーフィルム側から順に感光性樹脂層と中間層とを設けたものと、仮支持体上にアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層を設けたものとを作製し、前者の中間層表面と後者の熱可塑性樹脂層表面とが互いに接するように貼り合わせることによって製造することができる。
【００８３】
本発明の感光性樹脂転写材料は、液晶表示装置を構成する一対の基板間を所定の間隙に保持するためのスペーサー（間隙保持部材）の形成や、着色剤を含む場合は着色画像（着色画素など）の形成、等の用途に好適に用いることができる。該形成方法として、該感光性樹脂転写材料を、少なくとも一方の表面に凹凸を有する基板に転写し、少なくとも１回の露光を行い、１回の現像工程、少なくとも１回のベークを行うことが好ましい。この場合において、少なくとも一方の表面に凹凸を有する基板である被転写体としては、液晶表示装置を構成する透明基板（例えばガラス基板やプラスチックス基板）、配線付基板、遮光膜などにより形成されてた額縁付基板、透明導電膜（例えばＩＴＯ膜）付基板、カラーフィルター付基板、駆動素子（例えば薄膜トランジスタ［ＴＦＴ］）付駆動基板、などが挙げられる。
【００８４】
次に、本発明の感光性樹脂転写材料を用いた液晶表示装置の構成部材の形成例について述べる。
上記のようにして作製した本発明の感光性樹脂転写材料からカバーフィルムを取り除いた後、露出した感光性樹脂層を加圧・加熱下で所望の被転写体上に貼り合わせる（ラミネート）。貼り合わせは、公知のラミネーター、真空ラミネーター等を用いて好適に行うことができ、より生産性を高める観点からはオートカット機構を備えたラミネーターや感光性樹脂転写材料の欠陥を自動的に検出してスキップし，正常部をラミネートできるインテリジェントラミネートや、より幅の広い感光性樹脂転写材料のロールをラミネート可能な大型ラミネーターが好適に使用できる。
【００８５】
大型サイズの液晶パネルやプラズマディスプレイ等に対応して、基板サイズが大型化しているため、大型基板では、感光性樹脂転写材料の転写エリアが幅方向（搬送方向に交差する方向）に拡大し、感光性樹脂転写材料自体の幅方向の寸法を増加させる必要性がある。
幅広な感光性樹脂転写材料では、ロール状態での取り扱い性が低下するとともに、ロールから前記感光性樹脂転写材料を巻き戻す送り出し機構の大型化が惹起されるという問題や、幅広な感光性樹脂転写材料が重量物となり、取り扱いが煩雑となる問題、さらには、重量に起因する前記感光性樹脂転写材料の幅方向のたわみから面内に皺等が発生し易く、ラミネート時の気泡を巻き込み、表示性能を悪化させるという問題があるため、２以上のロール状の感光性樹脂転写材料を１枚の大型基板にラミネートできるラミネーターが特に好適に使用することができる。
【００８６】
上記の好ましい大型基板用ラミネーターとして、支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性樹脂転写材料を同期して送り出し可能な２以上のウエブ送り出し機構と、送り出された各長尺状感光性樹脂転写材料の前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する２以上の加工機構と、前記剥離部分を前記残存部分を残して各長尺状感光性樹脂転写材料から剥離させる２以上の剥離機構と、基板を所定の温度に加熱した状態で接合位置に搬送する基板搬送機構と、前記接合位置で、各残存部分を前記基板間に配設するとともに、各剥離部分が剥離されて露出した２以上の感光材料層を前記基板に一体的且つ並列に接合して接合基板を得る接合機構と、前記接合位置の近傍に配設され、各長尺状感光性ウエブの前記境界位置を直接検出し、又は該境界位置に対応して各長尺状感光性ウエブに設けられたマーク部を検出する２以上の検出機構と、各検出機構により検出された各境界位置情報に基づいて、前記接合位置における各境界位置と前記基板との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を調整可能な制御機構とを備えているものが好適なものとして挙げられる。（特開２００４−３３３６４７号公報）、「トランサーシステムによる大型液晶用カラーフィルターの生産方法」（「極限に挑む−１：゛ナノサイズに挑む、マクロサイズに挑む"」２００４年８月２７日；化学工学会主催）参照
【００８７】
上記の大型基板用ラミネーターを用いることで、幅広な基板に対して幅方向に２以上の感光性樹脂転写材料を良好に転写することができるとともに、高品質な感光性樹脂層を効率的に得ることが可能になる。さらに、長尺状感光性樹脂転写材料は、幅広に構成する必要がなく、前記長尺状感光性樹脂転写材料の取り扱い性が有効に向上し、作業の効率化及び設備費の削減が容易に図られる点で好ましい。
【００８８】
例えば透明なスペーサーを形成する場合、例えば、本発明の感光性樹脂転写材料のカバーフィルムを取り除き、露出した感光性樹脂層を被転写体にラミネートして貼り合わせ、仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離除去することにより被転写体に転写する。その後、感光性樹脂層に対し、熱可塑性樹脂層及び中間層を介して所定のマスクを通して露光を行い、ネガ型の場合は感光性樹脂層の非露光部を、ポジ型の場合は露光部をアルカリ性水溶液を用いて現像除去し、露光部又は、非露光部のみを硬化させることでスペーサーを形成することができる。
【００８９】
現像は、公知のアルカリ現像の方法にしたがって行うことができ、例えば、溶剤若しくは水性の現像液、特にアルカリ水溶液（アルカリ現像液）等を用いて、露光後の被転写体を、現像液を収容した現像浴中に浸漬させるか、被転写体上の層に対してスプレー等で噴霧等し、更にその表面を回転ブラシ、湿潤スポンジ等で擦ったり超音波を照射させながら処理することによって行うことができる。現像温度としては、通常、室温付近〜４０℃程度が好ましい。また、現像後には、水洗処理を行うのが好ましい。
尚、露光後の現像や不要部分の除去の過程において、感光性樹脂層及び熱可塑性樹脂層の溶解に用いるアルカリ性水溶液としては、例えば、アルカリ性物質の希薄水溶液が好ましく、更に水混和性のある有機溶剤を少量添加したものも好ましい。
【００９０】
前記アルカリ性物質としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物類、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等のアルカリ金属炭酸塩類、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等のアルカリ金属重炭酸塩類、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム等のアルカリ金属ケイ酸塩類、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム等のアルカリ金属メタケイ酸塩類、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のテトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類又は燐酸三ナトリウム、などが挙げられる。これらは、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用してもよい。
【００９１】
前記アルカリ性水溶液としては、アルカリ性物質の濃度が０．０１〜３０質量％であるのが好ましく、ｐＨが８〜１４であるのが好ましい。
【００９２】
前記水混和性を有する有機溶剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドンなどが挙げられる。水混和性を有する有機溶剤の添加量としては、０．１〜３０質量％が好ましい。
【００９３】
尚、前記アルカリ性水溶液には、公知の種々の界面活性剤を添加することができ、該界面活性剤を添加する場合の添加量は、０．０１〜１０質量％であるのが好ましい。
【００９４】
《フォトスペーサーの製造方法》
本発明のフォトスペーサーの製造方法は、既述の本発明の感光性樹脂転写材料を用いて、加熱及び／又は加圧により基板上に感光性樹脂層を転写する工程（以下、「転写工程」と呼ぶ。）と、転写した感光性樹脂層に対してパターン露光を行う工程（以下、「パターニング工程」と呼ぶ。）と、パターン露光後の感光性樹脂層を現像処理する工程（以下、「現像処理工程」と呼ぶ。）と、ポストベーク処理を行う工程（以下、「ポストベーク処理工程」）とを有することを特徴としている。
【００９５】
［転写工程］
転写工程は、感光性樹脂転写材料を、仮支持体とは反対側の面と基板とを当接して基板上に積層し、仮支持体を剥離して基板表面に感光性樹脂層を転写する工程である。
仮支持体上に膜状に形成された感光性樹脂層を、表面に保護フイルムを有する場合には、それを剥離して、露出した感光樹脂層の表面を被転写材である基板面と当接し、その後、加熱及び／又は加圧したローラー又は平板で圧着又は加熱圧着することによって貼り合せた後、仮支持体を剥離することで、感光性樹脂層を基板上に転写する。貼り合わせは、公知のラミネーター（真空ラミネーターなど）を用いて好適に行うことができ、より生産性を高める観点からは、オートカットラミネーターが好適である。
具体的には、特開平７−１１０５７５号公報、特開平１１−７７９４２号公報、特開２０００−３３４８３６号公報、特開２００２−１４８７９４号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法などを適用することができ、異物混入防止の観点からは、特開平７−１１０５７５号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
【００９６】
［パターニング工程］
パターニング工程は、基板上に形成された感光性樹脂層に対しパターニング露光及びアルカリ現像してパターニングする。具体的には、基板上に形成された感光性樹脂層の上方に所定のマスクを配置し、該マスク及び場合により熱可塑性樹脂層及び中間層を介してマスクの更に上方（マスクの感光性樹脂層と対向しない側）から露光する。
【００９７】
前記露光に用いる光源としては、感光性樹脂層を硬化しうる波長域の光（例えば、３６５ｎｍ、４０５ｎｍなど）を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常５〜２００ｍＪ／ｃｍ2程度であり、好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ2程度である。
【００９８】
［現像処理工程］
前記露光完了後、現像液を用いた現像処理を行う。現像処理は、公知のアルカリ現像方法にしたがって行うことができ、例えば、溶剤若しくは水性の現像液、特にアルカリ水溶液（アルカリ現像液）等を用いて、感光性樹脂転写材料が転写された露光後の基板を、現像液を収容した現像浴中に浸漬させるか、感光性樹脂層上の層に対してスプレー等で噴霧する等すると共に、更に回転ブラシ、湿潤スポンジ等で擦ったり、超音波を照射させながら処理する等により行うことができる。現像液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましく、また、現像液のｐＨは８〜１３が好ましい。また、現像後には、水洗処理を行うのが好ましい。
【００９９】
現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー＆スピン現像、ディプ現像等、公知の方法を用いることができる。
シャワー現像による場合、露光後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。なお、現像前に予め、感光性樹脂層の溶解性が低いアルカリ水溶液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。
【０１００】
なお、露光後の現像や不要部分の除去の過程において、感光性樹脂層及び熱可塑性樹脂層や中間層の溶解に用いるアルカリ性水溶液としては、例えば、アルカリ性物質の希薄水溶液が好ましく、更に水混和性のある有機溶剤を少量添加したものも好ましい。アルカリ性物質には、特に制限はなく目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物類、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等のアルカリ金属炭酸塩類、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等のアルカリ金属重炭酸塩類、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム等のアルカリ金属ケイ酸塩類、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム等のアルカリ金属メタケイ酸塩類、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のテトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類又は燐酸三ナトリウムなどが挙げられる。これらは、１種単独で用いる以外に２種以上を併用してもよい。
【０１０１】
アルカリ性水溶液としては、アルカリ性物質の濃度が０．０１〜３０質量％であるのが好ましく、ｐＨが８〜１４であるのが好ましい。
【０１０２】
前記水混和性のある有機溶剤は、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドンなどが挙げられる。水混和性を有する有機溶剤の添加量は、０．１〜３０質量％が好ましい。
【０１０３】
なお、アルカリ性水溶液には、公知の種々の界面活性剤を添加することができ、該界面活性剤を添加する場合の添加量は、０．０１〜１０質量％であるのが好ましい。
【０１０４】
本発明において、現像処理は、有機塩基を含む現像液により現像を行った後、再度無機塩基を含む現像液により現像を行う処理であることが好ましい。
以下、各現像液について説明する。
【０１０５】
〜有機塩基を含む現像液〜
有機塩基としては、アルキルアルコールアミン、などが挙げられる。アルキルアルコールアミンとしては、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミンなどが挙げられる。
【０１０６】
有機塩基を含む現像液のｐＨは、現像速度、現像時間や温度のふれに対するパターニング性の許容範囲の広さの点で、１０〜１２の範囲であることが好ましい。
【０１０７】
〜無機塩基を含む現像液〜
無機塩基としては、既述のような、金属水酸化物類、金属炭酸塩類、金属重炭酸塩類、アルカリ金属ケイ酸塩類、アルカリ金属メタケイ酸塩類などが挙げられ、中でも炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、及び水酸化カリウムからなる群より選択される少なくとも１種であることが好ましい。
【０１０８】
［ポストベーク処理工程］
ポストベーク処理工程は、パターニングされた感光性樹脂層を加熱処理して、層中の樹脂部分（高分子物質やモノマー、オリゴマー等の重合性モノマーなど）の架橋基の架橋を促進させて硬化させる。このとき、加熱温度、加熱時間を調整することにより、架橋反応率が６０％以上の範囲となるように調整することができる。
【０１０９】
加熱温度、加熱時間は、熱処理による黄ばみの発生が少なく、かつ生産タクトを落さないように、高めの温度で短めの時間に設定して行うことができる。
以上により、架橋反応率が６０〜１００％である塑性変形した際の変形回復性に優れたフォトスペーサーを得ることができる、
【０１１０】
前記架橋反応率としては、６０〜１００％がより好ましく、最も好ましくは８０〜１００％である。
【０１１１】
例えば透明なフォトスペーサーを作製する場合、例えば、架橋基密度が０．００７３モル／ｇ以上である感光性樹脂組成物で構成された感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用意し、その保護フイルムを取り除いて露出した感光性樹脂層の表面を基板面に重ね合せてラミネートして貼り合わせ、仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離除去することにより基板上に感光性樹脂層を転写する（転写工程）。その後、感光性樹脂層に対して、熱可塑性樹脂層及び中間層を介して所定のマスクを通して露光を行い、感光性樹脂層の未露光部をアルカリ性水溶液を用いて現像除去し、スペーサーパターンを形成する（パターニング工程〜現像処理工程）。形成されたスペーサーパターンに加熱処理を施して架橋反応率が８６〜１００％となるように露光部を硬化させる（ポストベーク処理工程）ことによって、フォトスペーサーを得ることができる。
【０１１２】
《フォトスペーサー》
以上の本発明のフォトスペーサーの製造方法により製造されるフォトスペーサーは、高さとしては、１．５〜１０．０μｍ（好ましくは、２．０〜５．５μｍであり、より好ましくは３．０〜４．５μｍ）とすることができる。
また、フォトスペーサーの高さ分布の標準偏差が高さの平均値の３％以下（好ましくは１．５％以下、より好ましくは１．０％以下、さらに好ましくは０．５％以下）とすることができる。すなわち、本発明のフォトスペーサーの製造方法により、非常に均一な高さのフォトスペーサーを製造することができる。
また、フォトスペーサーの形は、基板面を上方から見たときに、円形、楕円形、多角形等様々な形があり、カラーフィルター基板設計上の要求から種々の形状を用いることができる。基板面に平行な方向からみたフォトスペーサーの形は四角形（すなわちフォトスペーサー全体の形としては円柱や多角柱など）や、台形、（すなわちフォトスペーサーの全体の形としては円錘台形、多角錘台形）、逆台形（すなわちフォトスペーサーの全体の形としては逆円錘台形、逆多角錘台形）などがあり、これもカラーフィルター基板設計上の要求から種々の形状を用いることが出来る。
【０１１３】
又、フォトスペーサーに要求される力学的な特性として、弾性回復率、総変形量の２つが上げられる。これらは微小硬度計DUH−W201（島津製作所）等を用いて円錘台圧子により一定の負荷速度でフォトスペーサーを圧縮し、規定の最大荷重に達した後一定の時間その荷重を保持した時のフォトスペーサーの高さをＸ１、引き続いて一定の除荷速度により荷重を取り除き、荷重を取り除いた後一定時間保持後のフォトスペーサーの高さをＸ２、荷重をかける前の初期のフォトスペーサーの高さをＸ０とした時に、弾性回復率は（Ｘ２−Ｘ１）÷（Ｘ０−Ｘ１）×１００［単位：％］で与えられ、総変形量は（Ｘ０−Ｘ１）［単位：μｍ］で与えられる。弾性回復率、総変形量の好ましい範囲の目安としては、最大荷重を５０ｍＮ、負荷時、除荷時の保持時間を５sec、負荷速度、除荷速度を３．３ｍＮ／ｓｅｃとした時に、直径２５μｍ、高さ４．２〜５．０μｍのフォトスペーサーにおいて弾性回復率は８０〜１００％が好ましく、さらに好ましくは９０％〜１００％である。総変形量は０．１μｍ〜０．５μｍが好ましく、さらに好ましくは０．２μｍ〜０．４μｍである。
【０１１４】
《カラーフィルター》
本発明のカラーフィルターは、本発明の感光性樹脂転写材料を用いて形成されたフォトスペーサーを有してなるものである。フォトスペーサーは、基板上に形成されたブラックマトリクス等の表示用遮光部の上やＴＦＴ等の駆動素子上に形成されることが好ましく、また、必要に応じてブラックマトリクス等の表示用遮光部やＴＦＴ等の駆動素子とスペーサーとの間には、ＩＴＯ等の透明導電層やポリイミド等の液晶配向膜が存在していてもよい。
【０１１５】
例えば、フォトスペーサーが表示用遮光部や駆動素子の上に設けられる場合、本発明のカラーフィルターは、あらかじめ配設された表示用遮光部や駆動素子を覆うように、本発明の感光性樹脂転写材料を既述したようにしてラミネートし、剥離転写した後、露光、現像等を行うことによりスペーサーを形成することで作製することができる。
【０１１６】
本発明のカラーフィルターにおいては、高さ均一性が高いフォトスペーサーを使用しているため、その特質を生かすためブラックマトリックスの高さ、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）画素間の高さの差は、１．０μｍ以下であることが好ましい。さらに好ましくは０．５μｍ以下が好ましい。又、ブラックマトリックス、ＲＧＢ画素の高さのばらつきは高さの標準偏差÷高さの平均値×１００の値が３．０以下が好ましい。さらに好ましくは１．５％以下が好ましい。
【０１１７】
《液晶表示素子》
本発明の液晶表示素子は、対向する一対の基板の間に、液晶材料が封入された液晶層を有する素子であって、前記基板の一方が、本発明の感光性樹脂転写材料を用いて形成されたフォトスペーサーを備えた液晶表示用基板である。
【０１１８】
《液晶表示装置》
本発明の液晶表示装置は、互いに対向して配置される一対の基板間をスペーサーによって所定幅に規制しその間隙に液晶材料が封入（封入部分を液晶層と称する）された液晶表示装置であり、その液晶層の厚さを一定に保持するために基板上に配置されるスペーサーが、既述した本発明の感光性樹脂転写材料を用いて形成されたものである。すなわち、前記一対の基板の一方として既述の本発明の液晶表示装置用基板を用いて構成したものである。
【０１１９】
液晶表示装置における液晶としては、ＳＴＮ型、ＴＮ型、ＧＨ型、ＥＣＢ型、強誘電性液晶、反強誘電性液晶、ＶＡ型、ＭＶＡ型、ＡＳＭ型、ＩＰＳ型、ＯＣＢ型、ＡＦＦＳ型その他種々のものが好適に挙げられる。本発明のフォトスペーサーは均一性に優れるためＩＰＳ型、ＭＶＡ型、ＡＦＦＳ型、ＯＣＢ型等のセルギャップ均一性が特に要求される方式に対して特に適している。
【０１２０】
本発明の液晶表示装置の基本的な構成態様としては、（ａ）薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等の駆動素子と画素電極（導電層）とが配列形成された駆動側基板と、カラーフィルター及び対向電極（導電層）を備えたカラーフィルター側基板とをスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、（ｂ）カラーフィルターが前記駆動側基板に直接形成されたカラーフィルター一体型駆動基板と、対向電極（導電層）を備えた対向基板とをスペーサーを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成したもの、等を挙げることができる。本発明の液晶表示装置は、各種液晶表示機器に好適に適用することができる。
【実施例】
【０１２１】
以下、本発明を、実施例を用いて更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、以下において「部」及び「％」は「質量部」及び「質量％」を表す。
【０１２２】
［実施例１］
厚みが７５μｍであるポリエチレンテレフタレートフィルム製の仮支持体上に、下記組成の熱可塑性樹脂層用塗布液Ｈ１を塗布し乾燥させることにより、厚みが１５μｍである熱可塑性樹脂層を形成した。層厚の分布の標準偏差／層厚の平均値が３％であった。
【０１２３】
＜熱可塑性樹脂層用塗布液Ｈ１＞
メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（モル比）＝５５／２８．８／１１．７／４．５
（商品名：アロマテックスＦＭ６０１、三井化学株式会社製、重量平均分子量＝９００００、固形分濃度２１質量％）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・８．５部
１−メトキシ−２−プロピルアセテート・・・・・・・・・・・・・・・・・・３．５部
スチレン／アクリル酸共重合体（モル比）＝６３／３７（商品名：アロセット７０５５、株式会社日本触媒製、重量平均分子量＝８０００、固形分濃度４１質量％）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２５部
２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル]プロパン（新中村化学(株)製）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・６．４部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製：Ｃ6Ｆ13ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2：４０部とＨ（Ｏ（ＣＨ3)ＣＨＣＨ2)7ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2：５５部とＨ（ＯＣＨＣＨ2)7ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2：５部との共重合体、重量平均分子量３万：３０部、メチルイソブチルケトン：７０部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．８３部
メチルエチルケトン ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・４３部
メタノール ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１３部
【０１２４】
次に、前記熱可塑性樹脂層上に、下記組成の中間層用塗布液Ｂ１を塗布し乾燥させることにより、厚みが０．８μｍである中間層を形成した。層厚の分布の標準偏差／層厚の平均値が２．９％であった。
＜中間層用塗布液Ｂ１＞
ポリビニルアルコール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２．１部
（ＰＶＡ２０５（鹸化率＝８８％）；クラレ（株）製）
ポリビニルピロリドン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．９５部
（ＰＶＰ、Ｋ−３０；ＧＡＦコーポレーション社製）
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・４４部
蒸留水・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・５３部
【０１２５】
更に、下記組成の感光性樹脂層用塗布液Ｐ１を塗布し乾燥させることにより、厚みが５μｍである感光性樹脂層を形成した。この感光性樹脂層上に、ポリプロピレン製（厚み１２μｍ）のカバーフィルムを圧着貼付して設けることにより、感光性樹脂転写材料Ｔ１を作製した。
【０１２６】
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ１＞
コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルエチルケトン：７０部、日産化学工業製 ＭＩＢＫｓｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１４０．９部
１−メトキシ−２−プロピルアセテート・・・・・・・・・・・・・・・・３４７．６部
メタクリル酸／アリルメタクリレート共重合体（モル比）＝２０／８０
（重量平均分子量＝３．６万）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９３．４３部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９２．２０部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０３６部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチルアミノ）−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・２．２９７部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・１．０２７部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・０．３２３部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３００．６部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１９．５０部
塗布液の粘度は２９℃において２．４Ｐａ・ｓであった。比重は２９℃において０．９３４であった。
【０１２７】
作製した感光性樹脂転写材料Ｔ１のカバーフィルムを剥離し、これを、ＩＴＯをスパッタしたガラス板上に、ラミネーター（株式会社日立インダストリイズ製（LamicＩＩ型））を用いて、線圧１００Ｎ／ｃｍ、１３０℃の加圧加熱条件下、搬送速度２ｍ／分で貼り合わせた。その後、ポリエチレンテレフタレートフィルム製の仮支持体を熱可塑性樹脂層から剥離し、除去した。次に、所定のフォトマスクを介して超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立電子エンジニアリング株式会社製）で８０ｍＪ／ｃｍ2の露光した後、１％トリエタノールアミン水溶液を用いて熱可塑性樹脂層及び中間層を溶解除去した。この際、感光性樹脂層は実質的に現像されていなかった（有機塩基現像）。
【０１２８】
次いで、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて感光性樹脂層を現像し（無機塩基現像）、ブラシ工程を経て不要部を除去した後、２３０℃で６０分ベークし、液晶表示装置用基板上に１辺１６μｍ、平均高さ約４．７μｍの柱状の透明なスペーサー画像パターン（スペーサードット）を形成した。
【０１２９】
（液晶表示装置の作製方法）
得られたスペーサー画素パターンを形成したカラーフィルターの上にポリイミドの配向膜を形成し、ナイロン製布を巻きつけたロールでラビングした後、液晶表示装置用基板と対向する電極基板を１８０℃にてシール材でシールし、液晶を注入し、液晶表示装置を作製した。
【０１３０】
［実施例２］
実施例１において感光層樹脂層用塗布液Ｐ１の組成を以下の感光性樹脂層用塗布液Ｐ２に変更したこと以外は実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。作製したフォトスペーサーの高さは４．７μｍであった。
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ２＞
コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルエチルケトン：７０部、日産化学工業製 ＭＩＢＫｓｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１６０．０部
メタクリル酸／ベンジルメタクリレート（モル比）＝２８／７２共重合体溶液
（重量平均分子量＝３万、上記高分子化合物２７部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート７３部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３４３．４部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１０４．６部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０４１部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・・２．６０６部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・・１．１６６部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・・１．１４２部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３２８．４部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２２．１５部
調製した塗布液の粘度は２９℃において３．６Ｐａ・ｓであった。比重は２９℃において０．９３８であった。
【０１３１】
［実施例３］
実施例２において、感光性樹脂層塗布液Ｐ２の組成を以下のＰ３に変更したことと、感光性樹脂層の層厚を３.９μｍにしたこと以外は実施例２と同様にして液晶表示装置を作製した。作製したフォトスペーサーの高さは３．６５μｍであった。
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ３＞
コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルエチルケトン：７０部、日産化学工業製 ＭＩＢＫｓｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１４０．０部
１−メトキシ−２−プロピルアセテート・・・・・・・・・・・・・・・・４３．３５部
メタクリル酸／ベンジルメタクリレート（モル比）＝２８／７２共重合体溶液
（重量平均分子量＝３万、上記高分子化合物２７部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート７３部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３４３．４部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９１．５０部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０３６部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・・２．２８０部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・・１．０２０部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・・１．０００部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３５５．９部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１９．３８部
調製した塗布液の粘度は２９℃において３．０Ｐａ・ｓであった。比重は２９℃において０．９２６であった。
【０１３２】
［実施例４］
実施例１において、感光性樹脂層用塗布液Ｐ１の組成を以下のＰ４に変更した以外は実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。作製したフォトスペーサーの高さは４．７μｍであった。
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ４＞
１−メトキシ−２−プロピルアセテート・・・・・・・・・・・・・・・３４７．６部
メタクリル酸／アリルメタクリレート共重合体（モル比）＝２０／８０
（重量平均分子量＝３．６万）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９３．４３部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９２．２０部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０３６部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・２．２９７部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・１．０２７部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・０．３２３部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３００．６部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１９．５０部
調製した塗布液の粘度は２９℃において３．１Ｐａ・ｓであった。比重は２９℃において０．９２８であった。
【０１３３】
［実施例５］
実施例２において感光層樹脂層用塗布液Ｐ２の組成を以下の感光性樹脂層用塗布液Ｐ５に変更したことと、熱可塑性樹脂層の層厚を７μｍにした以外は実施例２と同様にして液晶表示装置を作製した。
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ５＞
コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルエチルケトン：７０部、日産化学工業製 ＭＩＢＫｓｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・７０．０部
１−メトキシ−２−プロピルアセテート・・・・・・・・・・・・・・・・４３．３５部
メタクリル酸／ベンジルメタクリレート（モル比）＝２８／７２共重合体溶液
（重量平均分子量＝３万、上記高分子化合物２７部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート７３部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３４３．４部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・９１．５０部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０３６部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・・２．２８０部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・・１．０２０部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・・１．０００部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３５５．９部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１９．３８部
調製した塗布液の粘度は２９℃において２．９Ｐａ・ｓであった。比重は２９℃において０．９２６であった。
【０１３４】
［実施例６］
実施例１において、有機塩基現像を行わなかったこと以外は実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。
【０１３５】
［比較例１］
実施例１において、熱可塑性樹脂層と中間層とを設けなかったこと、及び有機塩基現像を行わなかったこと以外は実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。出来上がったフォトスペーサーの高さは４．７μｍであった。
【０１３６】
［比較例２］
実施例１において感光性樹脂層用塗布液Ｐ１の組成を以下の感光性樹脂層用塗布液Ｐ６に変更したこと以外は実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。出来上がったフォトスペーサーの高さは４．７μｍであった。
＜感光性樹脂層用塗布液Ｐ４＞
コロイダルシリカ分散物（コロイダルシリカ：３０部、メチルエチルケトン：７０部、日産化学工業製 ＭＩＢＫｓｔ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１６０．０部
メタクリル酸／ベンジルメタクリレート（モル比）＝２８／７２共重合体溶液
（重量平均分子量＝３万、上記高分子化合物２７部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート７３部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３４３．４部
ＤＰＨＡ液（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：７６部、１−メトキシ−２−プロピルアセテート：２４部）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１０４．６部
ハイドロキノンモノメチルエーテル・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．０４１部
２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン・・・・・・・・・・２．６０６部
ビクトリアピュアブルーＢＯＨＭ（保土ヶ谷化学工業株式会社製）・・・・１．１６６部
メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業株式会社製）・・・・０．０５０部
メチルエチルケトン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・３２８．４部
メタノール・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２２．１５部
【０１３７】
［評価］
（溶融粘度測定）
上記熱可塑性樹脂層用塗布液及び感光性樹脂層用塗布液をガラス板に塗布し、風乾した後、45℃で4時間真空乾燥を行った。ガラス板から剥がし試料とした。測定はJasco International Co.Ltd製の粘弾性測定装置DynAlyser DAS-100を用いて測定温度１１０℃、周波数 1Hzで測定した。測定結果を表１に示す。
【０１３８】
（層厚測定）
層厚は表面粗さ計Ｐ−１０（ＴＥＮＣＯＲ社製）を用いて測定した。測定は、基板上に塗布乾燥された膜を削り取り、生じた段差を測定して層厚とした。又、塗布サンプルの面内において５０箇所の層厚測定を行って、その標準偏差と平均値を求めた。結果を表１に示す。
【０１３９】
（スペーサーの高さ分布（バラツキ）測定）
三次元表面構造解析顕微鏡（メーカー：ＺＹＧＯ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、型式：Ｎｅｗ Ｖｉｅｗ ５０２２）を用いてランダムに無作為に選択されたフォトスペーサーを測定した。測定結果を表１に示す。
【０１４０】
（表示品質）
作製した液晶表示装置にグレーのベタ画像を表示し、以下の評価基準に従い、画像の表示品質を評価した。結果を表１に示す。
−評価基準−
◎：表示されたベタ画像に明暗のムラは見られない。
○：表示されたベタ画像に明暗のムラが極僅か見られる。
△：表示されたベタ画像に明暗のムラが見られるが、実用上は許容できるレベル。
×：表示されたベタ画像明暗のムラが多くみられ、実用上も許容できないレベル。
【０１４１】
【表１】
【０１４２】
表１より、本発明に従う実施例１〜６のフォトスペーサーの高さ分布の均一性が高く、液晶表示装置を作製した場合に優れた画像表示品質が得られたことが分かる。これに対して、比較例１〜２では、フォトスペーサーの高さ分布の均一性が低く、良好な画像表示品質が得られなかった。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
仮支持体上に、少なくとも、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有し、前記感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることを特徴とする感光性樹脂転写材料。
【請求項２】
前記熱可塑性樹脂層の厚み（Ａ）と、前記感光性樹脂層の厚み（Ｂ）との比率（Ｂ／Ａ）が１／２．５以下であることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂転写材料。
【請求項３】
前記感光性樹脂層の溶融粘度が１１０℃において１．０×１０3Ｐａ・ｓ以上であり、前記熱可塑性樹脂層の１１０℃における溶融粘度が前記感光性樹脂層の溶融粘度よりも低いことを特徴とする請求項１または２に記載の感光性樹脂転写材料。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の感光性樹脂転写材料を用いて、加熱及び／又は加圧により基板上に感光性樹脂層を転写する工程と、転写した感光性樹脂層に対してパターン露光を行う工程と、パターン露光後の感光性樹脂層を現像処理する工程と、ポストベーク処理を行う工程とを有することを特徴とするフォトスペーサーの製造方法。
【請求項５】
前記パターン露光後の現像処理が有機塩基を含む現像液により現像を行った後、再度、無機塩基を含む現像液により現像を行う処理であることを特徴とする請求項４に記載のフォトスペーサーの製造方法。
【請求項６】
前記有機塩基の種類がアルキルアルコールアミンであり、前記有機塩基を含む現像液のｐＨが１０〜１２の範囲であることを特徴とする請求項５に記載のフォトスペーサーの製造方法。
【請求項７】
前記無機塩基の種類が、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、及び水酸化カリウムからなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項５または６に記載のフォトスペーサーの製造方法。
【請求項８】
請求項４から７のいずれか１項に記載のフォトスペーサーの製造方法により製造したフォトスペーサーを有することを特徴とするカラーフィルター。
【請求項９】
請求項４から７のいずれか１項に記載のフォトスペーサーの製造方法により製造したフォトスペーサーを有することを特徴とする液晶表示素子。
【請求項１】
仮支持体上に、少なくとも、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有し、前記感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることを特徴とする感光性樹脂転写材料。
【請求項２】
前記熱可塑性樹脂層の厚み（Ａ）と、前記感光性樹脂層の厚み（Ｂ）との比率（Ｂ／Ａ）が１／２．５以下であることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂転写材料。
【請求項３】
前記感光性樹脂層の溶融粘度が１１０℃において１．０×１０3Ｐａ・ｓ以上であり、前記熱可塑性樹脂層の１１０℃における溶融粘度が前記感光性樹脂層の溶融粘度よりも低いことを特徴とする請求項１または２に記載の感光性樹脂転写材料。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の感光性樹脂転写材料を用いて、加熱及び／又は加圧により基板上に感光性樹脂層を転写する工程と、転写した感光性樹脂層に対してパターン露光を行う工程と、パターン露光後の感光性樹脂層を現像処理する工程と、ポストベーク処理を行う工程とを有することを特徴とするフォトスペーサーの製造方法。
【請求項５】
前記パターン露光後の現像処理が有機塩基を含む現像液により現像を行った後、再度、無機塩基を含む現像液により現像を行う処理であることを特徴とする請求項４に記載のフォトスペーサーの製造方法。
【請求項６】
前記有機塩基の種類がアルキルアルコールアミンであり、前記有機塩基を含む現像液のｐＨが１０〜１２の範囲であることを特徴とする請求項５に記載のフォトスペーサーの製造方法。
【請求項７】
前記無機塩基の種類が、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、水酸化ナトリウム、及び水酸化カリウムからなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項５または６に記載のフォトスペーサーの製造方法。
【請求項８】
請求項４から７のいずれか１項に記載のフォトスペーサーの製造方法により製造したフォトスペーサーを有することを特徴とするカラーフィルター。
【請求項９】
請求項４から７のいずれか１項に記載のフォトスペーサーの製造方法により製造したフォトスペーサーを有することを特徴とする液晶表示素子。
【公開番号】特開２００７−１８７７７２（Ｐ２００７−１８７７７２Ａ）
【公開日】平成１９年７月２６日（２００７．７．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−４４４４（Ｐ２００６−４４４４）
【出願日】平成１８年１月１２日（２００６．１．１２）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年７月２６日（２００７．７．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１月１２日（２００６．１．１２）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]