【課題】高感度であり、かつ現像性に優れ、高解像度で高精細なパターンが得られるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】支持体と、該支持体上に少なくとも感光層を有してなり、該感光層がバインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含み、該感光層の感度が２０ｍＪ／ｃｍ^２以下、露光後に現像する際の最短現像時間が１５〜５０秒間である。前記感光層を、線幅１０〜４０μｍでライン／スペース＝１／１の露光により形成されるラインパターンと、Ｌ／Ｓ＝１／１００の露光により形成されるラインパターンとの線幅の差が５μｍ以下、バインダーのＩ／Ｏ値が、０．５〜０．８、重合性化合物のＩ／Ｏ値が、０．５〜１．５、また、バインダーと重合性化合物との質量比（バインダー／重合性化合物）が、１〜２である。 （もっと読む）

【課題】寸法安定性に優れた感光性組成物、該感光性組成物により形成された感光層を有するパターン形成材料、感光性積層体、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】少なくともバインダー、重合性化合物、光重合開始剤及び炭素系ナノ材料を含む感光性組成物である。本発明の感光性組成物は、パターン情報に基づいて、光を変調しながら露光ヘッドと感光層の被露光面とを相対走査することによる前記被露光面上の二次元パターンの形成に用いられ、或いは、感光層を露光し現像した場合に、露光及び現像後において、前記感光層の被露光部の厚みが変化しない露光の最小エネルギー量が０．１ｍＪ／ｃｍ^２〜１００ｍＪ／ｃｍ^２である感光層に含有されるものである。また本発明は、前記感光性組成物により形成された感光層を有するパターン形成材料、感光性積層体、及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】機上現像性を有し感度、耐傷性が良好な、取り扱い性の良い平版印刷版材料およびそれを用いた平版印刷版の作製方法の提供。
【解決手段】親水性支持体上に熱溶融性粒子、不飽和エチレン基を有する重合性モノマー及び重合性プレポリマーから選ばれる少なくも１種の化合物、重合開始剤を含有する画像形成層を有する平版印刷版材料において、該不飽和エチレン基を有する重合性モノマー及び該重合性プレポリマーから選ばれる少なくとも１種の化合物と重合開始剤による重合開始温度Ｔ１が該熱溶融性粒子の融点Ｔ２より高いことを特徴とする平版印刷版材料。 （もっと読む）

【課題】青紫色レーザ露光システム中において、高感度で、表面タック性が小さく、剥離性、基板への密着性、保存安定性に優れ、現像後に優れた絶縁性、耐熱性、耐薬品性、表面硬度などを有する硬化膜が得られる感光性ソルダーレジスト組成物及びこれを用いた感光性ソルダーレジストフイルム、並びに、高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性光架橋性樹脂、重合性化合物、光重合開始剤、熱架橋剤、熱硬化促進剤及び着色剤を含有してなる感光性ソルダーレジスト組成物であって、更に、酸価が９０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇで、質量平均分子量が３０，０００〜８０，０００である（メタ）アクリルアミド共重合体（ただし、置換基に自己縮合性基を持つものを除く）を前記アルカリ可溶性光架橋性樹脂の１０〜５０質量％含有する感光性ソルダーレジスト組成物、これを用いた感光性フイルム、永久パターン及びその形成方法。 （もっと読む）

【課題】高感度であるとともに、解像度に優れ、かつ感度の経時安定性が極めて高く、配線パターン及びソルダーレジストパターン等のパターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能な感光性組成物、該感光性組成物により形成された感光層を有するパターン形成材料、感光性積層体、並びにパターン形成装置、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、及び光重合開始系化合物を少なくとも含み、前記光重合開始系化合物として、ジ置換アミノ−ベンゼンを部分構造として有する化合物と、オキシム誘導体とを含むことを特徴とする感光性組成物である。該感光性組成物により形成された感光層を有するパターン形成材料、感光性積層体、並びに該感光性積層体を備えたパターン形成装置、及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】現像性、硬化膜のテント性、密着性に優れ、かつエッチング時の剥離性、解像性にも優れ、高精細なパターンを形成可能であるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有し、該感光層がバインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を含み、かつ、前記バインダーが、ウレタン基を含有するバインダーと、スチレン及びスチレン誘導体の少なくともいずれかに由来する構造単位を有するバインダーと、を含有することを特徴とするパターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法である。前記スチレン及びスチレン誘導体の少なくともいずれかに由来する構造単位を有するバインダーのＩ／Ｏ値が、０．３５〜０．６５である態様、ウレタン基を含有するバインダーの含有量が、バインダーの総量に対して５〜３５質量％である態様が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 保存安定性に優れ、高感度、かつ高解像度であり、テント性、パターン形状及び現像性に優れ、エッチング時の剥離性が良好で、高精細なパターンを形成可能であるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有し、該感光層がバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び重合禁止剤を少なくとも含んでなり、該重合禁止剤が、Ａ）フェノール性水酸基を有する化合物と、Ｂ）フェノール基を有さない化合物とを含み、その質量比Ａ／Ｂが０．０１〜１００であることを特徴とするパターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成材料及び方法である。重合禁止剤中のフェノール基を有さない化合物が、イミノ基を有する化合物である態様、重合禁止剤の含有量が、６５〜３００ｐｐｍである態様が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 支持体のヘイズ値を規定しつつ、前記バインダーのＩ／Ｏ値及び増感剤の種類を規定することにより、最大で±４０％程度露光量を変えても、解像度、密着性、及びエッジラフネスの変動が抑制され、かつ、感度を向上させることができるパターン形成材料、並びにパターン形成装置、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 支持体と、該支持体上に、バインダー、重合性化合物、光重合開始系化合物、及び増感剤を少なくとも含む感光性組成物からなる感光層を少なくとも有し、
前記支持体のヘイズ値が５．０％以下であり、前記バインダーのＩ／Ｏ値が、０．３００〜０．６５０であり、前記増感剤が、縮環系化合物の少なくとも１種であることを特徴とするパターン形成材料である。前記パターン形成材料を備えたパターン形成装置、及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 面状故障が少なく、発色剤による光カブリを防止でき、未露光膜の破れが少なく、解像度が高く、テント膜強度が強く、かつ、パターン形成後の剥離性が良好で、より高精細なパターンを形成可能であるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 感光層が、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、ヘテロ縮環系化合物、重合禁止剤、発色剤、及び有機溶剤を含み、
バインダーの酸価が、５０〜４００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、かつ、質量平均分子量が、１０，０００〜１００，０００であり、
重合性化合物が、ウレタン基を有する化合物及びアリール基を有する化合物の少なくともいずれかを含有し、
有機溶剤が、ケトン類、アルコール類、及びエーテル類から選択される少なくとも１種であり、かつ、含有量が０．５質量％以下である。 （もっと読む）

【課題】 高感度であるとともに、感度の経時安定性が極めて高く、配線パターン及びソルダーレジストパターン等のパターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能な感光性組成物、該感光性組成物により形成された感光層を有するパターン形成材料、感光性積層体、並びにパターン形成装置、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 バインダー、重合性化合物、光重合開始系化合物を少なくとも含み、前記バインダーのＩ／Ｏ値が、０．３００〜０．６５０であり、かつ、前記光重合開始系化合物として、ジ置換アミノ−ベンゼンを部分構造として有する化合物を含むことを特徴とする感光性組成物である。該感光性組成物により形成された感光層を有するパターン形成材料、感光性積層体、並びに該感光性積層体を備えたパターン形成装置、及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 高感度で、現像性に優れ、高解像度なパターンが得られるパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及びパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に、バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を含む感光層を有し、該感光層の感度が２０ｍＪ／ｃｍ^２以下であり、該感光層を、線幅１０〜４０μｍでライン／スペース（Ｌ／Ｓ）＝１／１及びＬ／Ｓ＝１／１００で露光し現像して得られたパターンの、前記Ｌ／Ｓ＝１／１の露光により形成されるラインパターンと、Ｌ／Ｓ＝１／１００の露光により形成されるラインパターンとの線幅の差が５μｍ以下であることを特徴とするパターン形成材料。前記バインダーのＩ／Ｏ値が、０．５〜０．８である態様、重合性化合物のＩ／Ｏ値が、０．５〜１．５である態様などが好ましい。また、前記パターン形成材料を使用するパターン形成装置及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、良好なレジストパターン形状が得られ、かつ、テント膜強度が強く、高精細で高アスペクト比のパターンを形成可能な感光性組成物、該感光性組成物により形成された感光層を有するパターン形成材料、感光性積層体、並びにパターン形成装置、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び下記一般式（Ｉ）で表される化合物を含む感光性組成物であって、該感光性組成物からなる感光層を露光し現像する場合に、前記感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが、０．１〜５０ｍＪ／ｃｍ^２である感光性組成物である。該感光性組成物からなる感光層を有するパターン形成材料、及び感光性積層体、並びに該感光性積層体を備えるパターン形成装置、前記感光層に対し、露光を行うことを含むパターン形成方法である。
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【課題】 ４００〜４１０ｎｍの波長の露光光に対する感度分布が略一定で、パターン再現性に優れ、パターン形状のバラツキが極めて抑制され、明室環境下の取り扱いが可能なパターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 支持体と、該支持体上に少なくとも感光層を有してなり、該感光層が、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び増感剤を含んでなり、該増感剤は、極大吸収波長が３４０〜５００ｎｍである増感剤を少なくとも２種含むことを特徴とするパターン形成材料である。また、該パターン形成材料を用いたパタン形成装置及びパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】半田ペーストの印刷性、およびパターン形状に優れ、基板からの剥離も容易であるのネガ型感放射線性二層積層膜、およびこれを用いたバンプの製造方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）特定の構造単位を有する重合体、（Ｂ）有機溶媒、および（Ｃ）特定のエーテル基含有化合物を含有する、バンプ形成に用いる二層積層膜の下層膜用組成物を製造し、この組成物を用いて二層積層膜を製造し、該積層膜を用いてバンプを形成する。 （もっと読む）

【課題】 発光波長が３５０ｎｍから４５０ｎｍの範囲にあるレーザー光での露光に適し、感度、耐刷性、現像処理適性、プレヒートラチチュード特性等に優れる感光性平版印刷版材料、その製造方法、及び当該材料を用いた画像形成方法を提供する。
【解決手段】 支持体上に感光性層を有する感光性平版印刷版材料において、当該感光性層が二層以上で構成され、当該支持体から最も遠い感光性層が実質的に着色顔料を含有していないことを特徴とする感光性平版印刷版材料。 （もっと読む）

【課題】 高感度で現像処理適性が良好であり、得られる印刷版の耐刷性にも優れる平版印刷版材料を提供する。
【解決手段】 親水性支持体上に、少なくとも（Ａ）ガラス転移点（Ｔｇ）が１００℃未満、重量平均分子量（Ｍｗ）が５，０００〜１００，０００、酸価が２０〜１１０ｍｇ／ＫＯＨであるバインダーポリマー、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する化合物、及び（Ｃ）ラジカル重合開始剤を含有する感光層を有することを特徴とする平版印刷版材料。
上記感光層の溶解度パラメーター（ＳＰ値）が２０．４６［ＭＰａ］^1/2以上であることは好ましい態様である。 （もっと読む）

【課題】 ラフネスの低減されたレジストパターンを形成できるレジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 酸の作用によりアルカリ可溶性が変化する樹脂成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）とを含有するレジスト組成物であって、前記樹脂成分（Ａ）が、ガラス転移点（Ｔｇ）が１４０〜２００℃の樹脂（Ａ１）と、ガラス転移点（Ｔｇ）が５０〜１１５℃の樹脂（Ａ２）とを含有することを特徴とするレジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、かつ高精細なパターンが形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いた永久パターン形成方法の提供。
【解決手段】支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有し、該支持体のヘイズ値が５.０％以下であり、かつ、該感光層が、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、熱架橋剤、及びヘテロ縮環系化合物を少なくとも含み、該光重合開始剤が、少なくとも１種のα−アミノアルキルフェノン化合物を含有することを特徴とするパターン形成材料である。 （もっと読む）

【課題】特に固形分中の色材濃度が高い場合であっても、硬化性樹脂組成物中の色材成分の分散安定性が良好で保管中の増粘などがなく、またこれを用いてカラーフィルタ用画素を作成した場合には表面荒れやひびなどの不良のないカラーフィルタ用硬化性樹脂組成物を用いて、耐久性、強度が十分な高品質のカラーフィルタ、および液晶表示装置を提供する。
【解決手段】特定条件で硬化させてより得られる膜厚１．５〜２μｍの硬化物の鉛筆硬度がＨ以下であるカラーフィルタ用硬化性樹脂組成物。好ましくは、（ａ）色材、（ｂ）溶剤、（ｃ）樹脂、および（ｄ）重合可能な単量体を含有するカラーフィルタ用硬化性樹脂組成物であって、（ｃ）樹脂中に、ホモポリマーのガラス転移温度が３０℃以下であるモノマーを構成成分とする樹脂を含有し、（ｄ）重合可能な単量体が重合可能な官能基を２つ又は３つ有する。このカラーフィルタ用硬化性樹脂組成物によって形成されたカラーフィルタおよび液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】 バインダーポリマー、分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を少なくとも含有し、その中のバインダーポリマーの含有比率を高くした場合であっても、優れた流動性を有する感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 （Ａ）少なくとも一種のバインダーポリマーと、（Ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤とを少なくとも含有し、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量１００重量部に対して（Ａ）成分を７０重量部以上含有し、（Ａ）成分に含有されるバインダーポリマーのうち少なくとも一種のバインダーポリマーが、９０℃以下のガラス転移温度を有し且つ２００００〜２０００００の重量平均分子量を有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）