【課題】ヒンジ等で支持されないミラー部材を、電極との間に作用する静電引力により支点部材を支点として制御された方向に傾斜させて保持するタイプの光偏向装置の製造を容易にする。
【解決手段】支点部材１０６と電極１０３が形成された第１の基板１００と、ミラー面を有する板状部材２０３とその移動範囲規制用の規制部材２０４が形成された、透明パッケージを兼ねる透明な第２の基板２００とを接合した構造である。両基板とその接合部分で板状部材２０３の運動空間は気密封止される。接合前の第１の基板は一般的なＬＳＩプロセスによって、接合前の第２の基板は一般的なＭＥＭＳプロセスによって容易に製作可能である。 （もっと読む）

【課題】入射光束を揺動する振動ミラー部により反射して反射光束を走査する光走査装置に集光レンズを組み込んで、小型化、製造コストの低減化を図る。
【解決手段】反射面が形成された振動ミラー部２、振動ミラー部２の揺動軸をなす支持部３、支持部３を保持する枠部５を有する光走査部１と、光走査部１を収納する筐体１４とを備え、入射光束を振動ミラー部２により走査して反射光束を出射する光走査装置２０であり、振動ミラー部２は、揺動軸の軸方向の幅が揺動軸に直交する方向の幅よりも狭い形状を有し、筐体１４は、入射光束及び前記反射光束を透過する透過部１２を備え、透過部１２は、入射光束を振動ミラー部２の形状に応じた形状に収束させる第１の光学素子を有する。 （もっと読む）

【課題】
長時間にわたり導通状態を維持することができ、長時間にわたり優れた信頼性を発揮することのできるアクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する連結部２３、２４と、圧電体層５１１および圧電体層５１１を狭持するように設けられた１対の電極層５１２、５１３とを備え、電極層５１２が連結部２３に接合された圧電素子５１と、支持部２２に対して固定的に設置された配線基板６１とを有し、１対の電極層５１２、５１３のそれぞれと配線基板６１上の配線とが、伸縮性を有する導電性バンプ７１１、７２１を介して導通している。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの回転振動に起因する配線の振動騒音を低減できる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器Ｌは、所定の回転振動軸Ａを中心に回転振動する振動ミラー３と、振動ミラー３を保持するＭＥＭＳパッケージ１０と、振動ミラー３に電力を供給するためにＭＥＭＳパッケージ１０に電極７を介して接続される配線６とを備えている。そして、配線６の引出開始位置である電極７は、振動ミラー３の回転振動軸Ａを含み、かつ静止状態における振動ミラー３と直交する面と交わるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】可動部中に絶縁分離構造を設けた半導体構造を容易に製造可能にする。
【解決手段】光走査ミラー（半導体構造）１は、第１シリコン層１００ａ、酸化膜１２０、第２シリコン層１００ｂから成るＳＯＩ基板１００を加工することにより形成されている。第１シリコン層１００ａには、固定フレーム４に第１ヒンジ５を介して支持された可動部５０が形成されている。可動部５０は、トレンチ（絶縁分離構造）１０１ａが形成されることにより複数の部位に分かれている。トレンチ１０１ａの下方に、酸化膜１２０及び第２シリコン層１００ｂから成る支持体９が形成されている。支持体９にはトレンチ１０１ａにより分割された可動フレーム３の複数の部位が接合されており、可動部５０は支持体９と一体に揺動可能である。これにより、簡易なエッチングによる製造工程により支持体９を形成し、可動部５０の機械的強度を確保可能である。 （もっと読む）

【課題】揺動体である可動板を可動に弾性支持する支持部上の配線を比較的幅広くした形状でも形成することを可能にした揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、支持基板204と、支持部203と、支持部203によって支持基板204に対して振動可能に支持されている可動板202と、第1の機能を行う第1機能素子205と、第2の機能を行う第2機能素子208とを有する。この揺動体装置において、第1機能素子205に繋がった配線207が、支持部203の第1面に形成され、第2機能素子に繋がった配線210が、第1面に配線207が形成された支持部203の第1面とは異なる第2面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、環境温度に対する影響を緩和または防止し、所望の振動特性を発揮することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の連結部２３、２４と、可動板２１を回動駆動させるための駆動手段とを有し、連結部２３は、可動板２１から延出する軸部材２３１と、軸部材２３１と支持部２２とを連結し、可動板２１側へ折り返すように形成された折り返し部２３２とを有している。 （もっと読む）

【課題】共焦点レーザー走査型顕微鏡の観察光と刺激光による試料の高速走査を目的とする。
【解決手段】本発明では、試料を観察する観察用励起光を走査する為の第１の走査光学系と、試料の一部分を光刺激する刺激光を走査する為の第２の走査光学系とを備える共焦点レーザー走査型顕微鏡に、観察用励起光および刺激光を同時多点に反射できるマイクロミラーデバイスを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れたアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持する弾性変形可能な１対の軸部材２３、２４と、各軸部材２３、２４を変形させながら可動板２２を回動させる駆動手段と、可動板２２および／または軸部材２３、２４が所定量以上変位したときに可動板２２および／または軸部材２３、２４に接触して、可動板２２および軸部材２３、２４の変位を所定範囲内に規制する規制部材６１、６２、６３とを有し、規制部材６１、６２、６３は、高分子材料を主材料として構成されている。 （もっと読む）

【課題】振動特性を変化させるための可変デバイスに関する配置設計の自由度を向上できる光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、ミラー部１１と、ミラー部１１に連結するトーションバー１２ａ、１２ｂと、トーションバー１２ａ、１２ｂに連結する加振部２とを備えている。この加振部２は、加振用の第１圧電素子３１〜３４と、加振部２のバネ定数(振動特性)を変化させるためのバネ定数可変用の第２圧電素子４１〜４４とを有している。ここで、第１圧電素子３１〜３４に駆動電圧を印加してミラー部１１を揺動振動させる際には、第２圧電素子４１〜４４に制御電圧を印加することで光スキャナ１の振動系の共振周波数を変更できる。このような光スキャナ１では、設置スペースの制約が少ない加振部２に第２圧電素子４１〜４４を設置できるため、第２圧電素子に関する配置設計の自由度が向上できる。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、可動板を大きな振れ角でかつ円滑に回動させることができる光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、各軸部材２３、２４を支持する１対の駆動部材２５、２６と、支持部材２１と駆動部材２５、２６の一端部とを連結した弾性変形可能な１対の第１の変形部材２７、２８と、長手形状をなし、その一端部が前記支持部材２１に固定され、他端部が前記駆動部材２５の他端部とを連結した弾性変形可能な１対の第２の変形部材２９、３０と、各第２の変形部材２９、３０上に接合されその長手方向に伸縮する１対の圧電素子３１、３２とを備え、これらが平面視にて可動板２２の中心に対して実質的に点対称となるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】光信号を効果的に集光して収差の影響を無くし、コストの低減を実現した光スイッチを提供する。
【解決手段】光スイッチ１００は、予め放物面鏡３０ａの焦点が光ファイバ２０ａ，２０ｂ，２０ｃいずれかの端部内の中心の位置となるように反射集光部材３０を位置決めしておく。この状態で外部から光信号１０が伝送されると、放物面鏡３０ａで反射された光信号は、接続先となる光ファイバ２０ｂの端部内の中心に集光される。また接続先は、反射集光部材３０をスライド移動させることで容易に切り換えることができる。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、可動板を大きな振れ角でかつ円滑に回動させることができる光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動板２２の板面に略平行で可動板２２の回動中心軸Ｘに対し略直角な方向に延在する長手形状をなし、その一端部が支持部材２１に固定され、その固定部近傍に回動中心軸Ｘを位置させるように各軸部材２３、２４に連結された弾性変形可能な１対の第１の変形部材２５、２６と、回動中心軸Ｘに略平行な方向に延在する長手形状をなし、その一端部が支持部材２１に固定され、他端部が各第１の変形部材２５、２６の他端部に連結された弾性変形可能な１対の第２の変形部材２７、２８と、各第２の変形部材２７、２８上に接合され、各第２の変形部材２７、２８の長手方向に略平行な方向に伸縮する１対の圧電素子３１、３２を備える。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、可動板を大きな振れ角でかつ円滑に回動させることができる光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動板２２の板面に略平行でかつ可動板２２の回動中心軸Ｘに対し略直角な方向に延在する長手形状をなし、その一端部２５１、２６１が支持部材２１に固定され、その固定部近傍に回動中心軸Ｘを位置させるように各軸部材２３、２４に連結された弾性変形可能な１対の変形部材２５、２６と、各変形部材２５、２６の長手方向に略平行な方向に伸縮することにより、各変形部材２５、２６を曲げ変形させる１対の圧電素子３１、３２とを備え、通電により圧電素子３１、３２が変形部材２５、２６を曲げ変形させることにより、各軸部材２３、２４に捩りモーメントを与え、可動板２２を回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】結合損失を低減すること。
【解決手段】光スイッチ１００は、入力された光を拡散して出射し、または集光して入射された光を出力する複数のポート１１０と、複数のポート１１０のそれぞれに対応し、対応するポートから出射される拡散光をコリメートする位置に設けられた複数のレンズ１２０と、レンズ１２０によってコリメートされたそれぞれのコリメート光を集光する位置に設けられたレンズ１３０と、レンズ１３０によって集光されたそれぞれの光を、レンズ１３０に対して角度を変えて反射させることで光路変更を行うミラー１４０と、を備える光スイッチである。レンズ１２０は、コリメート光の光軸がレンズ１３０を通過する位置とレンズ１３０の芯１３０ａの位置との位置関係に応じて、拡散光の光軸がレンズ１２０を通過する位置を調節してそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板の振れ角を大きくするとともに、互いに直交する２つの軸線のそれぞれの軸線まわりに可動板を回動させることができる光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】第１の駆動手段５は、第２の軸線Ｙに平行な方向に伸縮するように設けられた圧電素子５２と、第１の軸線Ｘに対し可動板２２の厚さ方向に偏心した位置で各第１の軸部材２３、２４に接合され、圧電素子５２の駆動力を各第１の軸部材２３、２４に伝達する伝達部材５１とを備え、通電により圧電素子５２を伸縮させることにより、伝達部材５１が各第１の軸部材２３、２４に第１の軸線Ｘまわりのトルクを与え、可動板２２を回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ミラーの変位量を大きくでき、作製が容易で小型化可能なデフォーマブルミラーを提供する。
【解決手段】デフォーマブルミラー１は、ミラー面２ａを有するミラー基板２と、ミラー基板２を支持する支持部材３と、支持部材３のミラー基板２を支持する面３ａの裏面側に形成される電極部４と、支持部材３に形成される貫通穴３ｂに挿入されて電極部４に接合保持されるアクチュエータ５と、を備える。ミラー面２ａの変形は、アクチュエータ５が伸縮することによって行われる。 （もっと読む）

【課題】製造誤差に拘わらず、周波数の限られた一定量の範囲内で、ねじりばねと平面鏡を含むねじり振動鏡の光偏向に伴う周波数を正確に、かつ効率よく調整し、画像の取得・表示、光の擾乱によるセンシング量の誤差の低減することができるねじり振動鏡の調整方法、及びその調整方法を適用したねじり振動鏡を提供すると共に、そのねじり振動鏡を適用し、光偏向の周波数を調整することができる光偏向器、その光偏向器を用いた眼科装置、距離測定装置を提供する。
【解決手段】ねじりばね１１２と、平面鏡１１０と、ねじり角（ミラー角度θ）がゼロになる位置でトルクの角度依存が増加あるいは減少するアクチュエータＢ１とを備えるねじり振動鏡の調整方法において、バイアス駆動を行うことにより、ねじり振動鏡の振動周波数を調整するようにしている。 （もっと読む）

【課題】製造の容易化を図りつつ、所望の振動特性を発揮することのできるアクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の連結部２３、２４と、可動板２１の厚さ方向に伸縮する圧電素子５１〜５４とを有し、通電により圧電素子５１〜５４を伸縮させることで、連結部２３、２４を捩れ変形させて可動板２１を回動させるように構成されており、連結部２４には、回動中心軸Ｘから離間した位置に圧電素子５１の伸縮により発生する駆動力を連結部２３に伝達するための伝達点を構成する突起６１が形成され、突起６１が圧電素子５１の伸縮方向での一端と接触している。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上させることが可能な走査装置及び走査型光学装置を提供すること。
【解決手段】内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が変化することによって入射されたレーザ光を走査する光学素子１３と、該光学素子１３の対向する２つの面にそれぞれ配置された第１電極１１及び第２電極１２と、光学素子１３に時間的に電界の方向が一方向Ａと該一方向と反対の他方向Ｂに生じるように、第１電極１１及び第２電極１２のうち少なくとも一方に印加する電圧を制御する制御部２０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）