【課題】試料の選択した面に合焦させることができる自動焦点検出装置を提供する。
【解決手段】あらかじめ液晶基板７の表面７ａに合焦させるのか裏面７ｂに合焦させるのかを選択する。また、あらかじめ合焦位置を設定しておく。ＣＣＤ８の左右の信号の面積が等しくなる境界（分割境界線）を見つける。分割境界線を境に左側の信号の面積をＳｂ、右側の信号面積をＳａとして、引算回路２０でＳａ―Ｓｂを演算し、Ｓａ―Ｓｂがゼロになるようにドライバ２１を介してフォーカスモータ２２を駆動して合焦動作を行う。 （もっと読む）

電子撮像装置上で画像をフォーカシングするためのオートフォーカスシステムを操作する方法であって、当該方法は、場面光のための光路を規定し、そして該電子撮像装置上に該場面の画像をフォーカシングするための少なくとも１つの可動レンズを有する調節可能なレンズシステムを用意し、そして該電子撮像装置が第１オートフォーカス画像をキャプチャするように、該場面光の第１部分が暗くなるようにし、また、該電子撮像装置が第２オートフォーカス画像をキャプチャするように、該場面光の異なる第２部分が暗くなるようにし、該第１及び第２オートフォーカス画像の部分はオフセットされていることを含む。この方法は、キャプチャされる画像の焦点が合うような位置に、該可動レンズを動かすことをさらに含む。
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【課題】第１対物レンズの焦点に、乾燥系あるいは液浸系の観察対象物（標本）の任意の位置合わせを可能とするオートフォーカス装置及びそれを用いる顕微鏡を提供する。
【解決手段】ＬＥＤ光源２０からの照明光をスリット状にし、第１対物レンズ１２で集光結像し、ステージ１１上の標本１８に照射し、その反射像を第１対物レンズ１２を通してオートフォーカス用ＣＣＤ３０で結像し、第１対物レンズ１２の焦点に標本１８を位置決めするオートフォーカス装置において、ダイクロイックミラー１６と第１ハーフミラー２５の間に焦点位置調節レンズ８を配設し、この焦点位置調節レンズ８を光軸に沿って前後に移動することにより、前記スリット照明光の焦点位置を調節可能とし、それにより、第１対物レンズ１２の焦点に標本１８の任意の位置合わせを可能とする。更に、標本が液浸系、乾燥系の場合に応じた基準面を設定し、共に観察可能とした。 （もっと読む）

【課題】反射率の異なるサンプルの観察に使用する顕微鏡のユニットが光学バラツキを有していても、容易で、確実に、顕微鏡の動作を制御するパラメータを決定できるようにする。
【解決手段】制御部１２１は、顕微鏡装置の動作を制御するパラメータであって観察対象のサンプル１０２毎に対応付けられている当該パラメータを、少なくとも２つ以上のサンプル１０２について記憶しておく記憶部を有している。この制御部１２１は、ＰＣ１２３から送られてくるサンプル１０２の選択の指示に応じ、当該選択されたサンプル１０２に対応付けられているパラメータに基づいて、顕微鏡装置の動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】標本を追尾する追尾制御を解除することなく合焦高さを自動的に変更することができること。
【解決手段】合焦装置１００は、表面に段差を有する標本Ｓと対物レンズ３ａとの相対距離を変化させる焦準手段と、標本Ｓ上に投射されたスポット光のスポット像を結像面ＩＰ上に結像する色収差補正レンズ９と、色収差補正レンズ９を移動させる光学素子移動手段と、前記スポット像を受光して検出するスポット像検出手段と、段差の所定高さ内に設定された複数の被観察面ごとに色収差補正レンズ９の配設位置を対応づけて記憶する補正レンズ位置記憶テーブル２６ｂと、被観察面に対応付けられた配設位置に色収差補正レンズ９を移動させるとともに、スポット像検出手段の検出結果に基づいて、標本Ｓと対物レンズ３ａとの相対距離を変化させ、被観察面を対物レンズ３ａの焦点面に合焦させる制御を、複数の被観察面ごとに順次行うコントロール部２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】所望の焦点距離の正確で信頼性の高い自動調節が、装置自体の機械および光学部品について生じうる配置誤差および／または望ましくないずれの発生に関係なく可能にする。
【解決手段】レーザ光ビームの焦点を調節する装置１であって、光の放射経路１０ａに沿ってレーザ光ビーム１０を放射する光源２と、前記レーザ光ビーム１０を焦点Ｆに合焦させる手段３と、前記焦点Ｆの位置を調節する手段４とを備える。さらに、前記調節手段４にフィードバック作用する、焦点距離Ｄを検出する手段５を備える。焦点距離Ｄは、合焦手段３を出る光ビーム１０のパラメータ特性であって、前記焦点距離Ｄを表すパラメータ特性を検出することにされる。このような特性パラメータは、合焦光ビーム１０の波面曲率半径である。 （もっと読む）

【課題】所望の観察位置に対物レンズの前側焦点位置を設定する作業の煩雑さを改善した自動焦点調節装置を内蔵する顕微鏡を提供すること。
【解決手段】光源２０からの光に基づく光像を対物レンズ１２を介して対象物上に結像させ、前記対象物からの前記光像の反射光を前記対物レンズを介して前記光像の反射像を結像させる焦点検出光学系７と、前記焦点検出光学系の結像位置に設けられて前記反射像を検出する光電変換器３０と、前記光電変換器で得られた前記反射像の信号に基づいて前記対物レンズを含む観察光学系３の結像位置を調節する観察光学系結像調節手段５２と、前記光電変換器で得られた前記反射像の信号に基づいて前記焦点検出光学系の結像位置を調節する焦点検出光学系結像調節手段８と、前記観察光学系結像調節手段５２または前記焦点検出光学系結像調節手段８に前記光電変換器３０からの信号を切替える切替制御手段４１を有する顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】反射スポット像の欠けの影響を受け難く、測距精度の高いアクティブ測距装置を提供する。
【解決手段】測距装置０は、対象物に対して光束を投光する投光部と、対象物から反射して戻ってくる光束を受光して検出信号を出力する受光部と、検出信号に基づいて対象物までの測距を行う演算部とからなる。投光部は、駆動電流に応じて光束を放射する発光素子１と、光軸に沿って光束を投光し所定の光スポットを形成するレンズ２と、光軸に介在して光スポットの幅を制限するフィルタ２１とを含む。受光部は、光軸と直交する基線Ｂ方向に沿って発光素子１から離間して配され、対象物から反射して戻ってきた光スポットを受光する受光素子５を含む。フィルタ２１は縦型のスリットからなり、基線Ｂ方向と直交する方向に沿った光スポットの幅を制限する。 （もっと読む）

【課題】 被検物の表面に形成されている薄膜の種類や膜厚に拘わらず、良好な焦点検出を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 予め定めた複数の異なる波長域のうち少なくとも１つの波長域を選択し、該波長域の光を焦点検出用の照明光として被検物３０に照射する照明手段(１５〜２２,１２)と、照明光が照射されたときに被検物からの反射光を受光し、該被検物の焦点位置を検出する検出手段(１２,２１,２０,２３,２５)と、照明手段による波長域の選択を制御し、複数の異なる波長域のうち反射光の強度が所定値以上となる波長域を、焦点検出用の照明光の波長域として選択させる制御手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 測定部位から２つの光学計測器に至る２つの光路を光量の減衰をともなわずに分離して光学計測をすること。
【解決手段】 第１の光学計測器および第２の光学計測器を具備する光学計測システムであって、測定部位から前記第１の光学計測器に至る第１の光線を導く第１の光路および前記測定部位から前記第２の光学計測器に至る第２の光線を導く第２の光路が設けられ、前記第１の光路および前記第２の光路が通る光学系が前記第１および第２の光路が相互に近軸となるように設けられ、前記第１の光路の方向を変更する反射領域がこれに交差するように前記第２の光路が設けられ、前記反射領域と前記第２光路が交差する領域に設けられた光透過領域であって前記反射領域より光透過率の高いものを具備する。 （もっと読む）

【課題】 色収差レンズの調整を安価且つ容易に実現し、サンプルの屈折率や厚さの情報がなくても、透明膜や段差サンプルの観察において色収差レンズの再設定なしにＡＦ機能を提供する。
【解決手段】 制御部１３３は、対物レンズ１０５により生じる、顕微鏡光源１１０で発光させる観察用の照明光とＬＤ１２０で発光させるＡＦ用の測定光との色収差の補正が必要か否かの判定を行うと共に、当該判定の結果に応じ、色収差補正レンズ１２５を移動させて色収差を補正する。 （もっと読む）

受け取る光の強度に応じた出力信号を出力する撮像デバイスの位置を検出する位置検出装置であって、光を発生する光源と、光源が発生する光を、撮像デバイスの上に照射する照射レンズと、照射レンズを介して受光した光に応じて撮像デバイスが出力する出力信号に基づいて、照射レンズに対する撮像デバイスの相対位置を検出する位置検出部と、位置検出部が検出した相対位置に基づき、撮像デバイス及び照射レンズの少なくとも一方を移動させることにより、撮像デバイスの相対位置を、予め定められた位置に変化させる移動部とを備える。
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トラッキングオートフォーカスシステムは、別途必要なオートフォーカス時間をなくすよう、ＴＦＴアレイを向いた顕微鏡の継続的な合焦状態を維持する。トラッキングオートフォーカスシステムは、顕微鏡Ｚアクチュエータ、オートフォーカスセンサ、アナログデジタルコンバータ（ＡＤＣ）、信号調整器、デジタル比例積分／微分（ＰＩＤ）コントローラ、および、デジタルアナログコンバータを一部含む。アクチュエータは、顕微鏡の対物レンズとターゲットとの間の距離を調整し、増幅器、リニアモータ、および、位置フィードバックを提供するリニアエンコーダを一部含む。ＡＤＣおよび信号調整器を伴うオートフォーカスセンサは、顕微鏡の対物レンズとターゲットとの間隔を継続的にモニタしかつ検出し、測定された距離を増幅器に供給する。ＤＡＣを伴うＰＩＤコントローラは、最適な焦点を維持すべく、顕微鏡の対物レンズとターゲットとの間隔を安定させる。 （もっと読む）

【課題】 撮像素子から得られる画像信号を用いて瞳分割位相差方式でＡＦ制御を行う場合に、簡単な構成で高速にクロスＡＦ制御を行うことができ、且つ小型化できるようにする。
【解決手段】 従来の絞り羽根機構を利用して絞り兼用瞳分割機構２を構成し、合焦度検出時には、光量調節用の絞り駆動機構とは別の駆動機構、すなわち４つのＡＦカム部５１〜５４を有するＡＦ駆動リング５の回転動作に連動して、左右の絞り羽根を高速に開閉動作した後に上下の絞り羽根を高速に開閉駆動させる。 （もっと読む）

【課題】 複数の反射界面をもつ観察体においても安定したピント合わせが可能なオートフォーカス技術を提供する。
【解決手段】 利用者に観察部位を入力させる、観察部位に最も近い反射界面が前記対物レンズの異動先である反射界面と異なる場合、厚み情報のうち必要な情報を用いて、対物レンズを観察部位に最も近い反射界面まで移動させる。上記の反射界面のうちオートフォーカス動作により検出可能なものが唯一である場合、アクティブオートフォーカス動作により上記の唯一の反射界面に一旦合焦させ、厚み情報のうち必要な情報を用いて、対物レンズを現在の位置から観察部位に最も近い反射界面まで移動させる。 （もっと読む）

【課題】 生体試料への光ダメージを低減するとともに、正確で高速、かつ長時間の観察が可能な生体試料観察システムを提供する。
【解決手段】 生体試料を格納および培養する培養容器と、培養容器を保持する保持手段と、生体試料に対して対向配置された対物レンズと、保持手段と対物レンズとを相対的に移動させる焦準駆動部と、対物レンズの合焦を検出するオートフォーカス部と、保持手段と対物レンズとの相対的な移動値を蓄積するとともに、焦準駆動部の制御を行う焦準駆動制御部と、生体試料の複数の被観察領域を観察して情報を取得する観察手段と、を有し、焦準駆動制御部が生体試料の観察（ＳＴＥＰ３１）時間帯とは異なる時間帯に、観察の回数より少ない回数だけオートフォーカス部により少なくとも１以上の被観察領域に対して合焦検出（ＳＴＥＰ２５）を行うことを特徴とする。 （もっと読む）