【課題】被測定対象が任意の位置にある場合でも正確な測距及び測光を行うことができる測距・測光装置及び撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明の測距・測光装置３は、前面側が開口した筐体２０と、この筐体２０の前面側に第１、第２の測距用レンズ５ａ，５ｂとその間に測光用レンズ６が一列に一体に形成された透明樹脂材からなる長方形状のレンズアレイ４と、レンズアレイ４と対向する筐体２０内の背面側に配置された薄板状の撮像素子基板２１と、撮像素子基板２１上に配置された２次元状の測距用撮像素子２２ａ，２２ｂ及び測光用撮像素子２３を備えている。 （もっと読む）

【課題】ＡＦ動作中、光の強度に関係なく被写体の適正な明るさを検出し、焦点調整を確実に行う。
【解決手段】モニタセンサ、ラインセンサを使用する焦点検出装置において、モニタセンサの受光量に基づき、ラインセンサのフォトダイオードにおける蓄積電荷量が閾値を超えるか否かをＡＧＣ回路によって比較、判断する。蓄積電荷量が閾値に達すると、ラインセンサの電荷転送ゲートを開放し、蓄積電荷がラインセンサの電荷蓄積容量に転送し、格納させる。このとき、閾値到達までの積分時間に応じて転送時間を調整し、積分時間が短いほど相対的に短い電荷転送時間を設定する。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサにて複数の光電変換素子ブロックを分割設定する場合において、ＡＦに要する時間を増加させることなく、信頼性ある焦点検出結果を得る。
【解決手段】撮像装置１０１は、複数の光電変換素子により構成され、撮影光学系１０２からの光束により形成された一対の被写体像を光電変換可能なラインセンサと、ラインセンサから一対の被写体像の光電変換により出力された一対の像信号に基づいて、撮影光学系の焦点状態を検出する焦点検出手段１０５，１１８と、ラインセンサを複数の光電変換素子ブロックに分割することで、撮影画面内に複数の有効焦点検出領域を形成するブロック分割手段１１８とを有する。ブロック分割手段は、使用者の操作に応じて撮影画面内における有効焦点検出領域の配置が切り替わるように、ラインセンサを複数の光電変換素子ブロックに分割するパターンを変更する。 （もっと読む）

【課題】複数のラインセンサを設けた焦点検出装置において、測距範囲を広げながら精度よく焦点検出する。
【解決手段】ラインセンサ群ＥＡ１、ＥＡ２、ＥＢ１、ＥＢ２を十字状に配置したＡＦモジュールの焦点検出部において、ラインセンサＬＳＡ９をモニタリングするモニタセンサＬＭＡ９を、投影領域の中心部Ｃ１の側に配置する。また、ラインセンサ群ＥＢ１に設けられたモニタセンサＬＭＢ１を、ラインセンサＬＳＢ１の２つの側面のうち投影領域の中心Ｃ２に近い側に配置する。 （もっと読む）

【課題】チップ面積の増大を抑制しながらも、測距点数を多点化した焦点検出用の光電変換装置を提供する。
【解決手段】第１のモードでは、第１のラインセンサＬ１群の画素信号を第１のラインメモリＬ１群に書き込むとともに第２のラインセンサＬ２群の画素信号を第２のラインメモリＬ２群に書き込み、第２のモードでは、第２のラインセンサＬ２群の画素信号を第１のラインメモリＬ１群に書き込むとともに第１のラインセンサＬ１群の画素信号を第２のラインメモリＬ２群に書き込むようにして、同一のラインセンサであっても異なる測距点領域を選択可能にし、チップ面積の増大を抑制しつつ測距点数を多点化できるようにする。 （もっと読む）

【課題】部品点数が少なく簡素な構成で小型化、低コスト化を実現でき、自動焦点調節が可能な焦点検出装置を提供する。
【解決手段】焦点検出装置１００を、被検物体６０に光を照射するための光源１０側に配置され、光源１０からの光を反射して光軸方向に導く第１の反射面２０ａと、被検物体６０で反射された光の光軸からの変位量を検出するための光検出手段８０側に配置され、被検物体６０からの光を反射し光検出手段８０に導く第２の反射面２０ｂとを有する反射光学素子２０を備えて構成する。 （もっと読む）

本発明は、無限遠補正顕微鏡をオートフォーカスするための方法および装置に関する。光ビームは、対象の試料へと方向付けられた後に集光され、また、反射光から少なくとも１つの画像が形成される。その後、画像が検査され、画像から較正測定値が検索される。これらの較正測定値は、その後、顕微鏡をオートフォーカスするために使用される合焦測定値を決定するために使用される。 （もっと読む）

【課題】精度、制御速度を高めた高性能な光学系駆動装置を提供すること。
【解決手段】投光レンズ１０と、該投光レンズ１０を保持するホルダ１２と、該ホルダ１２を、上記投光レンズ１０の光軸に垂直な方向に移動可能に支持するワイヤバネ４８Ａ〜４８Ｈと、上記ホルダ１２を、上記投光レンズ１０の光軸と垂直な方向に移動させるＸコイル１８及びＹコイル２２Ａ，２２Ｂと、上記ホルダ１２の位置を検出するためのセンサと、を少なくとも備えた光学系駆動装置において、上記ワイヤバネ４８Ａ〜４８Ｈは金属よりなり、上記センサは、発光ダイオード２８Ａ，２８Ｂとポジションセンサを含み、上記発光ダイオード２８Ａ，２８Ｂもしくは上記ポジションセンサの何れかを上記ホルダ１２に搭載し、それら発光ダイオード２８Ａ，２８Ｂもしくはポジションセンサへの給電を、上記ワイヤバネ４８Ａ〜４８Ｈによって行う。 （もっと読む）

【課題】半導体のパターンの線幅、ピッチが光学系の波長以下になった場合であっても、正しいフォーカス検出を行い、高精度の計測及び検査技術を行うこと。
【解決手段】光学像を検査用センサ４０上に形成する第１結像光学系３０と、第１結像光学系３０から光学像をＡＦ用センサ７０側に分岐し、さらにこの光学像を２つに分岐して、ＡＦ用センサ７０上に検査用センサ４０上の光学像における前側フォーカス像と、後側フォーカス像とを結像する第２結像光学系６０と、ＡＦ用センサ７０から得られる前側フォーカス位置での前側センサ画像の高域成分と、後側フォーカス位置での後側センサ画像の高域成分とに基づいて、最適なフォーカス位置を検出するフォーカス検出回路８２と、フォーカス検出回路８２により検出されたフォーカス位置に基づいて第１結像光学系３０のフォーカスを制御するフォーカス制御回路８３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】距離測定機能を有する撮像装置に関し、撮像装置の小型化、コストダウンを図る。
【解決手段】反射光を受光して、撮像するイメージセンサ（３０）と、対象物にスポット光を照射する距離測定用発光素子（５２）と、距離測定時に、距離測定用発光素子を駆動し、イメージセンサ（３０）の撮像画像から前記距離測定用発光素子のスポット光の位置を検出し、前記対象物との距離を求める制御回路（９０）とを設ける。対象物の撮像のためのイメージセンサ（３０）を距離測定用の受光素子に利用することができる。このため、距離測定用の受光素子を別に設ける必要がなく、撮像装置を小型化でき、且つコストダウンも可能となる。 （もっと読む）

【課題】電源再投入による誤動作を防止できる測距装置を提供すること。
【解決手段】測距対象物に向けて光束を複数回投光するＩＲＥＤ４と、測距対象物に投光された光束の反射光を受光し測距対象物までの距離に応じた信号を出力するＰＳＤ５と、そのＰＳＤ５の出力信号を信号処理するＡＦＩＣ１０と、そのＡＦＩＣ１０に対し電源供給された後であってその電源供給が停止される直前にＡＦＩＣ１０を初期状態にリセットするリセット信号を出力するＣＰＵ１とを備えている。ＡＦＩＣ１０への電源供給停止の直前にＡＦＩＣ１０のリセットが行われるため、電源電圧が一定電圧以下になる前に再投入されパワーオンリセットが行われない場合でも、正常な測距ルーチンを行うことができ、測距装置の誤動作の防止が図れる。 （もっと読む）

【課題】 自動焦点機構の調整にかかる時間と労力を大幅に軽減する。
【解決手段】 照明光源９と、照明光源９から出射された第１の光を被検物体１２上に集光する対物レンズ２と、被検物体１２によって反射され、対物レンズ２を通過した第１の光を結像させる照明光源９と、対物レンズ２の焦点位置からのマイクロタイタープレート１２の位置ずれを検出する焦点検出手段１Ｃとを具備し、焦点検出手段１Ｃが、第２の光として焦点検出光を出射する焦点検出用光源１３と、該焦点検出光を集光させる焦点検出光取得手段１８と、焦点検出光取得手段１８によって取得される焦点検出光の合焦状態判定可能領域を、焦点検出光取得手段１８の任意の位置に設定可能な領域設定手段１９とを有する自動焦点機構を有する顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】反射スポット像の欠けの影響を受け難く、測距精度の高いアクティブ測距装置を提供する。
【解決手段】測距装置０は、対象物に対して光束を投光する投光部と、対象物から反射して戻ってくる光束を受光して検出信号を出力する受光部と、検出信号に基づいて対象物までの測距を行う演算部とからなる。投光部は、駆動電流に応じて光束を放射する発光素子１と、光軸に沿って光束を投光し所定の光スポットを形成するレンズ２と、光軸に介在して光スポットの幅を制限するフィルタ２１とを含む。受光部は、光軸と直交する基線Ｂ方向に沿って発光素子１から離間して配され、対象物から反射して戻ってきた光スポットを受光する受光素子５を含む。フィルタ２１は縦型のスリットからなり、基線Ｂ方向と直交する方向に沿った光スポットの幅を制限する。 （もっと読む）

【課題】 色収差レンズの調整を安価且つ容易に実現し、サンプルの屈折率や厚さの情報がなくても、透明膜や段差サンプルの観察において色収差レンズの再設定なしにＡＦ機能を提供する。
【解決手段】 制御部１３３は、対物レンズ１０５により生じる、顕微鏡光源１１０で発光させる観察用の照明光とＬＤ１２０で発光させるＡＦ用の測定光との色収差の補正が必要か否かの判定を行うと共に、当該判定の結果に応じ、色収差補正レンズ１２５を移動させて色収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】 試料からの反射光の分光特性が変化しても、正確に合焦できるようにする。
【解決手段】 自動合焦顕微鏡は、自動合焦方式として瞳分割方式を採用する。この顕微鏡の制御装置５０は、瞳分割プリズム３３で二つに分割された絞り像の相互間隔ｄをＡＦ用ラインセンサ３７からのデータを用いて求めると共に、試料１からの反射光の分光特性を示す代表波長λを分光特性センサ４０からのデータを用いて求める。そして、記憶部５１に記憶されている波長毎の基準間隔のうち、代表波長λに応じた基準間隔ｄ_１を抽出し、この基準間隔ｄ_１と検出間隔ｄとの偏差が許容値内に収まるように、ステージ駆動機構５９を制御する。 （もっと読む）

【課題】光照射等に弱い生物標本や低反射率の試料に対して合焦位置および試料位置を蛍光像観察時にも損失無く高精度で広範囲に計測できる試料位置高精度計測法を提供する。
【解決手段】位置計測用の光を、対物レンズの辺縁部分の全反射領域を含む高開口数の領域に通すと、試料境界面からの全反射光及び大きな照明角度からの反射光により、透明試料等で低反射率の試料においても、強い反射光を得ることができる。試料境界面が高さ方向にΔｚ変化すると、反射光は試料境界面内で横方向にΔｘ＝ ２Δｚ×ｔａｎθで与えられるΔｘずれた位置から出てくると見なされ、入射角θを大きくすることにより、Δｚの変化量に対しても、より大きなΔｘの変化量を得ることができる。蛍光用のダイクロイックミラーを位置計測用と共通に用いて、顕微鏡像の光路上に位置計測光を導入することにより、蛍光像観察にも影響無く、試料位置の高精度計測ができる。 （もっと読む）

【課題】 対物レンズの軸上色収差が大きくても正確な焦点検出を行うことができる焦点検出装置を提供する。
【解決手段】 光源１１から出射して視野絞り１３を通過した後の検出光に基づいて、視野絞りの中間像を形成する第１光学系１４,１５と、中間像の形成面１０Ａと対物レンズとの間に配置され、対物レンズを通過した後の検出光によって合焦面に視野絞りの最終像が形成されるように、非平行な状態で照明光を対物レンズに導く第２光学系５０と、合焦面またはその近傍に位置する物体３Ａからの反射光を対物レンズと第２光学系と中間像の形成面とを介して取り込み、物体の反射像を形成する第３光学系１５,２０と、中間像の形成面に共役な受光面を含み、第３光学系を通過した後の前記反射像に関わる光を前記受光面で検知し、前記第１波長域での焦点面と前記物体との相対位置に応じたフォーカス信号を生成する信号生成手段２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 高速かつ高精度なオートフォーカス動作及び、パララックスの無い測距位置の表示。
【解決手段】 アクティブＡＦの受光手段としてＣＣＤを用い、その測距結果に相当する位置を中心として設定された範囲内において、正確な合焦位置を検出するスキャンＡＦ処理を行うハイブリットＡＦにおいて、投光素子の反射像の位置の測距マークを表示することで、パララックスの無い測距位置表示を可能にした。 （もっと読む）

【課題】 透明基板の裏面から発生するノイズ光を確実に除去することができる焦点検出装置を提供する。
【解決手段】 透明基板１１の表面の像を形成する結像光学系の焦点検出装置において、透明基板の表面が結像光学系の焦点位置近傍にある状態で、透明基板の裏面を反射して、透明基板の表面の検出領域に入射するような開口数を有する光を遮蔽するよう、透明基板の表面での開口数が所定値ＮＡ₀（＞０）より大きい光Ｌ１のみを選択的に通過させる選択手段(１９,２０,４１)と、選択手段によって選択された光Ｌ５_Sに基づいて、透明基板の表面と結像光学系の焦点面との位置関係に応じたフォーカス信号を生成する生成手段(４２〜４８)とを備える。 （もっと読む）

【課題】測距性能の維持向上と装置の長寿命化とを両立可能なアクティブ測距装置を提供する。
【解決手段】測距装置は、対象物に対して光束を投光する投光部６と、対象物から反射して戻ってくる光束を受光して検出信号Ｉ１，Ｉ２を出力する受光部７と、検出信号Ｉ１，Ｉ２に基づいて対象物までの測距を行う演算部８と、投光部６及び受光部７の動作を制御する制御部９とからなる。投光部６は、駆動電流Ｉｌｅｄに応じて光束を放射する発光素子１と、発光素子１に駆動電流Ｉｌｅｄを供給する駆動回路１０とを含む。制御部９は、投光部６の駆動回路１０を制御して駆動電流Ｉｌｅｄを低レベルから高レベルに掃引しながら投光を行なうとともに、受光部７の受光量をモニタして測距に適したレベルに達したら駆動電流Ｉｌｅｄの掃引を停止して測距を行う。 （もっと読む）