この発明の対象は、試料（１）を光学的に走査するための方法及び装置である。基本的な構造としては、少なくとも一つの調整ユニット（２，３）と少なくとも一つの走査機器（４，５）が有る。制御設備（６）によって制御される調整ユニット（２，３）を用いて、試料（１）を走査機器（４，５）に対して動かすか、或いは走査機器（４，５）を試料（１）に対して動かす。この発明では、機械的な遊びを補償するために、補正値を取得して、制御設備（６）内に保存しておき、調整プロセスの際に考慮する。
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検査対象の半導体デバイスＳに対して、画像取得部１と、対物レンズ２０を含む光学系２と、半導体デバイスＳから対物レンズ２０への光軸を含む挿入位置、及び光軸を外れた待機位置の間を移動可能な固浸レンズ（ＳＩＬ）３とを設置する。そして、ＳＩＬ３を待機位置に配置し、半導体デバイスＳの基板の屈折率ｎ_０、及び厚さｔ_０に基づいて焦点及び収差を補正する第１モードと、ＳＩＬ３を挿入位置に配置し、基板の屈折率ｎ_０、厚さｔ_０、ＳＩＬ３の屈折率ｎ_１、厚さｄ_１、及び曲率半径Ｒ_１に基づいて焦点及び収差を補正する第２モードとの２つの制御モードで観察を行う。これにより、半導体デバイスの微細構造解析などに必要な試料の観察を容易に行うことが可能な顕微鏡、及び試料観察方法が得られる。 （もっと読む）

固浸レンズ３を支持する固浸レンズホルダ５が連結された第一腕部材７１と、この第一腕部材７１を、観察対象物に対して略平行を成すＸ−Ｙ平面内で回動させる第一腕部材回動源７２と、この第一腕部材回動源７２を保持する第二腕部材７３と、第一腕部材回動源７２の回動軸と非同軸の位置を回動軸として、第二腕部材７３をＸ−Ｙ平面内で回動させる第二腕部材回動源７４と、を具備する構成とする。そして、二個の腕部材７１，７３を回動することで、固浸レンズ３をＸ−Ｙ平面内の所望の位置に移動可能とし、直交するＸ方向、Ｙ方向に構成部品を長尺とする必要を無くし、占有領域を小とすると共に簡易な構成とする。これにより、低コスト化を図りつつ、装置の小型化を図ることが可能な固浸レンズ移動装置、及びこれを備えた顕微鏡が実現される。 （もっと読む）