【課題】ＸＹθステージを用いずに精度良く基板同士を位置合わせする。
【解決手段】上下保持板１，２のどちらか一方を他方に対し両基板Ａ，Ｂ同士を平行に保持したままＸＹθ方向へ調整移動自在に支持するための手段として、上下保持板１，２の一方から真空室Ｓの天井壁３又は底壁４へ向けて揺動リンクガイド機構６を設け、この揺動リンクガイド機構６をＸＹθ方向移動手段５でＸＹθ方向へ揺動させることにより、上下保持板１，２の一方が他方に対しＸＹθ方向へ調整移動されて、これら上基板Ａと下基板ＢがＸＹθ方向へ相互に位置合わせされる。 （もっと読む）

静電吸着手段（５ｂ）による上側基板（Ａ）の保持解除と連動して、該上側基板の背面側から気体（Ｇ）を噴出させ、この気体を上方保持板（１）の静電吸着面（５ｂ１）と上側基板の背面との間に強制注入することにより、これら静電吸着面と基板面の密着状態を破壊し両者を剥離することで、両者間の静電吸着力が強制的に減衰されて消滅すると共に、注入した気体の圧力で下側基板（Ｂ）への落下力、即ち落下の加速度が強制的に作用され、それにより、該上側基板が瞬時に下側基板の上へ圧着し、静電吸着手段（５ｂ）で保持したまま上側基板が姿勢変化することなく下側基板の上へ移動して圧着され、上下基板を封止して重ね合わされる。従って、静電吸着力の解除ムラに関係なく上側基板を位置合わせされたまま強制的に落下できる。
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【課題】液晶セル等、ディスプレイ用パネルを反転させずに下基板のエッジ部と接続基板の下面との間に樹脂を円滑かつ確実に供給する。
【解決手段】樹脂の塗布ステージには、２組のディスペンサ２０，４０が設けられている。ディスペンサ２０は液晶セル１における上部側角隅部に、またディスペンサ４０は下部側角隅部に向けて樹脂を供給する。ディスペンサ４０は、シリンジ４１と針状ノズル４２とを有し、針状ノズル４２は下部側角隅部に向けて斜め上方に樹脂を吐出する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板とメタルマスクとを貼り合せることにより貼り合わせ精度の向上を図ること。
【解決手段】ガラス基板を介してメタルマスクを所定の隙間を有して重ねる第１のステップＳ１０１と、カメラにより第１及び第２のマークの撮像情報に基づいて第１と第２のマークとの位置の差を求め、差が所定の範囲内か否かを判断する第２のステップＳ１０３と、前記差が範囲外の場合、前記位置の差に基づいてガラス基板をＸ，Ｙ軸方向に移動させる第３のステップＳ１０５と、前記差が範囲内の場合、メタルマスクとガラス基板とを貼り合せる第４のステップＳ１０７と、第２のステップＳ１０３を実行する第５のステップＳ１０９と、第５のステップＳ１０９での前記差が範囲外の場合、メタルマスクとガラス基板とを分離する第６のステップＳ１１１とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 接合基板をプレスするに当って、シールパスや気泡の発生等を生じさせることがなく、迅速かつ正確にギャップ形成を行えるようにする。
【解決手段】 プレス手段４０を構成する上下のヒートプレス４１，４２のうち、上部側のヒートプレス４１のプレス面４１ａに貼着したクッション部材４４には、耐熱性の良好な弾性部材からなり、内法が接合基板２０の外形より僅かに大きく、接合基板２０の厚みと同じか、またはそれより僅かに大きい方形枠状の隔壁４６が固定して設けられている。ヒートプレス４１が下降すると、隔壁４６が下部側のヒートプレス４２のプレス面４２ａに貼着したクッション部材４５と当接して、接合基板２０を収容している隔壁４６の内部が密閉空間となる。この密閉空間を減圧するために、隔壁４６を貫通するように延在させた排気ノズル４８と、この排気ノズル４８に接続した真空ポンプ４９とからなる減圧手段４７が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 一対の基板間に介在されるスペーサを押し潰すこと無く液晶パネルを吸着することができる液晶パネル用吸着機構を提供する。
【解決手段】 液晶パネル３０は一対の基板３１，３２の間にスペーサ３３を介在し貼り合せて構成される。液晶パネル３０はマスク２４を介して吸着部材２２に吸着される。マスク２４は弾性材料から成り、液晶パネル３０の側に凹所２５を有する。凹所２５はマスク２４の少なくとも液晶パネル３０の液晶層に対応する領域に設けられる。マスク２４は吸着部材２２の吸着面に接着される。マスク２４に形成された凹所２５によって、液晶パネル３０とマスク２４との接触面積が少なくなり、硬質の異物やごみを挟み込んて吸着した場合であっても、液晶パネル３０のスペーサ３３の潰れを低減することができ、液晶パネル３０の平坦性や強度の低下を防止することができる。 （もっと読む）