【課題】駆動素子の複数の端子を液晶表示パネルの接続端子に精度良く搭載する。
【解決手段】駆動素子７をボンディング位置に移動させ、そのアライメントマーク９を含む２つの部分を、定位置に配置された撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像した後、駆動素子７を後退させ、ボンディング位置に表示パネル１を搬入してその位置合わせマーク６を含む２つの部分を前記撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像し、駆動素子７の２つの部分の撮像画像中のアライメントマーク位置と、表示パネル１の２つの部分の撮像画像中の位置合わせマーク位置とを検出して駆動素子７に対する表示パネル１の算出されたずれ量が予め定めた許容値を越えたときに、前記表示パネル１の位置を修正してその２つの部分のずれ量の算出とを繰返し、算出されたずれ量が許容値内であるときに、前記駆動素子７を再びボンディング位置に移動させて表示パネル１にボンディングする。 （もっと読む）

【課題】 基板に予め形成された基準パターンの基準位置に対するスペーサ粒子の配置を高精度に行おうとするスペーサ吐出装置を提供する。
【解決手段】 インク吐出装置３を基板７に対して相対的に移動しながら該インク吐出装置３の吐出ノズルからスペーサ粒子を吐出するスペーサ吐出装置１であって、前記スペーサ粒子の吐出時の前記基板の移動方向Ａにて前記インク吐出装置３の後方に配置され、前記基板上に予め形成されたにブラックマトリクスを撮像する撮像手段４と、該撮像手段４で撮像した前記ブラックマトリクスの画像を用いて該ブラックマトリクスのＴ字状又は十字状の交差部を基準位置として検出し、該基準位置に対して前記スペーサ粒子を吐出させるように前記インク吐出装置３を制御する制御手段５とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 大画面用の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）の作製に好適なパターン形成方法及びＴＦＴアレイ基板並びに液晶表示素子の提供。
【解決手段】 ポジ型感光性組成物を用いて基材の表面に、少なくとも、ポジ型感光層を形成するポジ型感光層形成工程と、光照射手段からの光を受光し出射する描素部をｎ個有する光変調手段により、前記光照射手段からの光を変調させた後に、前記描素部における出射面の歪みによる収差を補正可能な非球面を有するマイクロレンズが配列されたマイクロレンズアレイを通過させた光によって、前記ポジ型感光層を、露光する露光工程と、該露光工程により露光されたポジ型感光層を現像する現像工程とを含むパターン形成方法である。 （もっと読む）

洗浄すべき対象物の表面から汚染物質を除去するための、高圧ガス供給源に流体的に接続されるように適合した洗浄装置（１０）。この装置は、ガスを加速するための高圧出口（２１）を備えた所定の微小な横方向スケールの少なくとも１つの高圧通路（２２）を備える。該高圧出口は少なくとも１つの狭いリップ（１２）によって特徴付けられ、出口および狭いリップは活性表面を画定している。洗浄装置の活性表面が、表面から所定の微小な間隙を空けてそれにほぼ平行に離されたとき、したがって狭いリップと洗浄すべき対象物の表面との間の喉部を画定し、ガスを喉部のところでほぼ音速まで加速したとき、汚染物質に作用する横方向の空気力学的な除去力が生成される。 （もっと読む）

ウエハＷを略水平姿勢で所定の回転数で回転させながらその表面に所定流量で純水を供給してウエハＷをリンス処理した後に、ウエハＷへの純水の供給流量を低減し、かつ、純水供給点をウエハＷの中心から外側へ移動させる。こうして純水供給点の略外側で液膜を形成しながらウエハＷをスピン乾燥処理する。 （もっと読む）

【課題】ＸＹθステージを用いずに精度良く基板同士を位置合わせする。
【解決手段】上下保持板１，２のどちらか一方を他方に対し両基板Ａ，Ｂ同士を平行に保持したままＸＹθ方向へ調整移動自在に支持するための手段として、上下保持板１，２の一方から真空室Ｓの天井壁３又は底壁４へ向けて揺動リンクガイド機構６を設け、この揺動リンクガイド機構６をＸＹθ方向移動手段５でＸＹθ方向へ揺動させることにより、上下保持板１，２の一方が他方に対しＸＹθ方向へ調整移動されて、これら上基板Ａと下基板ＢがＸＹθ方向へ相互に位置合わせされる。 （もっと読む）

【課題】安価で製造歩留まりが高く、しかも表示品位の優れた液晶表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】アレイ基板１００と対向基板２００との間に液晶層３００を挟持して構成された液晶表示装置において、画像を表示する表示領域において、第１膜厚を有する赤色カラーフィルタ層２４Ｒと、第１膜厚より厚い第２膜厚を有する青色カラーフィルタ層２４Ｂと、赤色カラーフィルタ層２４Ｒ上に配置されアレイ基板１００と対向基板２００との間に液晶層３００を挟持するためのギャップを形成する柱状スペーサ３１と、を備え、表示領域１０２周辺の周辺領域において、表示領域周縁に沿って額縁状に配置された遮光層ＳＰを備え、柱状スペーサ３１及び遮光層ＳＰは、同一工程にて同一材料によって形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルのセル厚分布を全体的に把握できるとともに、セル厚の基準値に対するずれ量（差異）を容易に把握できる測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ２４は偏光板２３から射出される透過光を受けて所定のカラー画像を取得し、このカラー画像データをコンピュータ装置２６に送出する。コンピュータ装置２６は、あらかじめＲＯＭやハードディスク等に格納されたデータ処理プログラムを実行することにより、ＣＣＤカメラ２４から出力されたカラー画像データに演算処理を加えて後述するセル厚相関データに変換し、このセル厚相関データを用いて変換画像をモニタ２７に出力する。 （もっと読む）