【課題】基体に供給した液体の蒸発によって当該基体の熱が奪われ、これにより基体の温度が雰囲気露点温度より低温状態となり得る場合であっても、当該基体に結露が生じるのを防止して、パターン倒れ等の不具合発生を未然に回避できるようにする。
【解決手段】処理対象となる基体２を保持する保持部１２と、前記保持部１２が保持する前記基体２に対して液体３１の供給を行う液体供給部３０と、前記液体３１の蒸発によって熱が奪われる前記基体２を雰囲気露点温度より高温状態にすべく当該基体２の熱損失を補填するための熱損失補填媒体４１を当該基体２に対して供給する媒体供給部４０と、を備えて流体供給装置１を構成する。 （もっと読む）

【課題】熱板の強度を低下させたり、装置コストを増大させることなく、基板間における塗布膜の特性の変動を防止しつつ、基板を処理する処理時間を短縮することができる、熱処理方法及び熱処理装置を提供する。
【解決手段】所定温度に設定された熱板上に、複数の基板よりなる基板群の各基板を順次載置して熱処理する熱処理方法において、熱板の設定温度を第１の温度Ｔ１よりも低い第２の温度Ｔ２に変更し、熱板の温度が第２の温度Ｔ２に到達する前に、熱板による基板群の最初の基板の熱処理を開始し、熱板により最初の基板を熱処理する第１の工程Ｓ１６と、最初の基板の熱処理の後、熱板の設定温度を第２の温度Ｔ２よりも高い第３の温度Ｔ３に変更し、熱板の温度が第３の温度Ｔ３に到達した後、熱板の設定温度を第２の温度Ｔ２に変更する際に、熱板による基板群の次の基板の熱処理を開始し、熱板により次の基板を熱処理する第２の工程Ｓ１７とを有する。 （もっと読む）

【課題】高いスループットが得られる現像装置を提供すること。
【解決手段】処理雰囲気を形成する気密な処理容器と、この処理容器内に搬入された基板の表面に現像液を結露させて液膜を形成するために、当該処理容器内に現像液のミストを供給する雰囲気ガス供給部と、前記液膜による現像を停止するために基板を乾燥する乾燥部と、を備えるように現像装置を構成する。現像液とレジストとの反応を停止させることができるので、洗浄モジュールによる洗浄処理と並行して現像処理を行うことができ、高いスループットが得られる。 （もっと読む）

【課題】基板表面全体に均一性高く現像液の液膜を形成すると共に高いスループットが得られる塗布、現像装置を提供すること。
【解決手段】現像モジュールと、洗浄モジュールと、前記現像モジュールにより現像された基板を前記洗浄モジュールに搬送する搬送機構と、を備え、前記現像モジュールは、処理雰囲気を形成する気密な処理容器と、この処理容器内に設けられ、基板を載置し、冷却するための温調プレートと、前記処理容器内に現像液のミストを含む雰囲気ガスを供給する蒸気供給部と、前記温調プレートを、前記蒸気が基板上に結露する温度に調整するための温度調整部と、を備えるように塗布、現像装置を構成する。現像モジュールと洗浄モジュールとで並行して処理を行えるので、高いスループットが得られる。 （もっと読む）

【課題】版品質の均等化と向上、作業員の労力負荷の低減化、生産効率の向上、人的コストと製版コストとの低減化を図る。
【解決手段】液状版感光性樹脂凸版２を吊り下げた状態で未硬化樹脂を除去する樹脂回収装置３と、液状版感光性樹脂凸版２を吊り下げた状態で洗浄する洗浄装置４と、液状版感光性樹脂凸版２を略水平状態で後露光する後露光装置５とを有する液状版感光性樹脂凸版の製版装置１において、樹脂回収装置３と洗浄装置４とが間隔を開けて対向配置されており間隔部分に後露光装置５が配置されているか、又は、樹脂回収装置３と洗浄装置４と後露光装置５とが並べて配置されており、樹脂回収装置３と洗浄装置４、洗浄装置４と後露光装置５とは、それぞれ液状版感光性樹脂凸版の搬送機構を介して連結されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】 基板上の温度分布を均一にすることができ、昇華物の発生をも低減させることが可能な加熱処理装置を提供する。
【解決手段】 筐体１と、筐体１内に昇降可能に配置された載置台２と、載置台２に設けら、この載置台２に載置される基板Ｗを加熱する第１の加熱手段３とを少なくとも有する加熱処理装置において、筐体１の一方の側には第２の加熱手段９を設け、筐体１の他方の側には排気機構１０を設けた。 （もっと読む）

【課題】可視光に対する高い透過率を有し、液晶分子の配向能に優れるグレーティングの製造方法、及び該製造方法を用いて得られるグレーティングの提供。
【解決手段】〈１〉下記（１）〜（４）で示す工程を備えるグレーティングの製造方法。（１）透明基板上に、下記の（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を含む感放射線性樹脂組成物を塗布し、溶剤を除去した塗布膜を得る工程、 （Ａ）分子内に架橋反応を担う反応基を有するアルカリ可溶性樹脂 （Ｂ）キノンジアジド化合物 （Ｃ）溶剤、（２）前記（１）で得られた塗布膜に放射線を照射し、次いでアルカリ水溶液で現像して所定のラインアンドスペースパターンを前記基板上に形成する工程、（３）前記（２）で得られたラインアンドスペースパターンを形成した基板を加熱する工程、（４）前記（３）で加熱後のラインアンドスペースパターン上に垂直配向膜を形成する工程。〈２〉前記〈１〉の製造方法で得られるグレーティング。 （もっと読む）

【課題】像様露光されたレリーフ像印刷要素表面から未架橋感光性ポリマーを除去する改良された装置及び装置の使用方法に関する。
【解決手段】装置は、印刷要素支持及び回転手段、像様露光された印刷要素表面の未架橋感光性ポリマーの軟化及び／又は溶融手段、並びに少なくとも１つの熱現像アセンブリを含む。熱現像アセンブリは、印刷要素と接触可能で、軟化及び／又は溶融した未架橋感光性ポリマーの少なくとも一部を除去可能な吸収材料供給手段、並びに吸収材料を印刷要素の少なくとも一部と接触させる手段を含む。吸収材料は、複数のロールで支持されるエンドレス圧ベルトで支持される。吸収材料が印刷要素表面と接触する際に、印刷要素表面の軟化及び／又は溶融した未架橋感光性ポリマーが除去される。 （もっと読む）