【課題】大面積の基板上のＣｕ膜若しくはＣｕ合金膜をウェットエッチングすることによって配線等とする際に、Ｃｕ膜にダメージを与えないように剥離し、なおかつ、Ｃｕ膜の上に堆積させる層との間の接着力を低下させないフォトレジストの剥離液を用いた剥離液リサイクルシステムを提供する。
【解決手段】主剤と極性溶媒と水からなる混合液およびレジスト成分からなる剥離液を繰り返し使用し、剥離液中のレジスト濃度が所定の値に達したら、剥離液の一部を排出管から排出し、新たな剥離液の供給を受けるレジスト剥離装置と、廃液タンクと、廃液タンク中の剥離液を蒸留する蒸留再生装置と、前記分離液中の主剤と極性溶媒の組成比率を調べる成分検査装置と、分離液の主剤と極性溶媒および水の比率が予め決められた比率になるように不足分の主剤と極性溶媒および水を追加して、混合液を調製する調合装置と混合液を貯留する供給タンクを有する。 （もっと読む）

【課題】水置換工程における現像液から水洗水への水置換の際に、水洗槽に混入した現像液の成分が、循環して基板に汚れを発生させない現像装置を提供する。
【解決手段】水置換工程の水置換槽Ｓ４へ水洗水を供給する循環タンクＳＴ１に、循環タンク内の水洗水の現像液成分による汚染度を計測する測定器４０を備え、測定器で計測された汚染度が予め設定された公差外となった際に、循環タンク内の水洗水の排水Ｄ３及び循環タンク内へ水洗槽から回収された水洗水の補充を行い、汚染度を公差内に調整する。現像液成分による汚染度として水洗水の導電率を用いる。循環タンクとして２基の循環タンクを並列に設け、一方の循環タンク内の水洗水の汚染度が公差外となった際に、他方の循環タンクに切り換えること。 （もっと読む）

【課題】剥離液濃度を常時一定範囲に維持でき、新液交換時期の延長とランニングコストの低減化が可能な水系レジスト剥離液の管理方法とその管理装置を提供する。
【解決手段】まず、水系フォトレジスト剥離液に含まれる複数成分の濃度変化を、予めこの変化に対応する導電率および超音波伝播速度変化の相対関係として記憶する（ステップＳ１）。次に、レジスト剥離に際して、剥離液中の複数成分のうちの特定成分を、剥離液の代表成分として選択する（ステップＳ２）。代表成分の導電率と超音波伝播速度とを測定し（ステップＳ３）、両測定値が予め記憶した代表成分の相対関係の管理範囲内にあるか判断し（ステップＳ４）、範囲内にある場合は終了するがない場合は偏差値が解消するまで制御する（ステップＳ５〜Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】吐出薬液に気泡が混入することを抑制することができる薬液供給装置、および薬液に混入した気泡に起因するパターン形成不良の発生を抑制することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】薬液が貯蔵された容器１はフィルタハウジング５に導入管２を介して接続される。フィルタ６はフィルタハウジング５の下部側に配設される。薬液は、ポンプ３により容器１からフィルタハウジング５へ送出される。フィルタ６より上方のフィルタハウジング５の内面には、薬液に対して親和性を有する親液面１３が設けられている。フィルタハウジング５には、フィルタ６よりも下方に、流路を開閉する供給弁７が介在された供給管８を介して薬液を対象物に供給する供給部９が接続される。また、フィルタ６よりも上方に、流路を開閉する排出弁１１が介在された排出管１０を介して薬液を外部に排出する排出部１２が接続される。 （もっと読む）

【課題】 カラーフィルタ用感光性着色組成物の付着により汚染した塗布装置、器具を洗浄するための洗浄効果の高い洗浄液及びその評価方法を提供する。
【解決手段】 平均粒径１μｍ以下の顔料と感光性樹脂成分と分散剤と溶剤とを少なくとも成分として含有するカラーフィルタ用の感光性着色組成物を洗浄するための洗浄液であって、前記洗浄液が、溶解度パラメータ（ＳＰ値）が８．６以下または８．９以上の溶剤を主成分とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 最上層に水溶性の酸素遮断層を有する光重合層を備えた感光性平版印刷版の現像処理前に行う水溶性の酸素遮断層の除去処理において安定した現像処理が可能で、且つ、操作ミス等の恐れがない現像処理装置、製版方法及び感光性平版印刷版を提供。
【解決手段】 支持体上に画像形成層、酸素遮断層を有する感光性平版印刷版を処理する現像処理装置において、取り除き、且つ、水洗水に溶解した該酸素遮断層を以下のＡ）、Ｂ）の手段で処理することを特徴とする現像処理装置。Ａ）水洗水の水質を監視する手段、Ｂ）水質劣化を表示する手段。 （もっと読む）