【課題】フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、発光管の封止部のクラックの発生や金属箔の破断の発生を防止することができる放電ランプ点灯装置を提供する。
【解決手段】発光部の両端に箔シール構造の封止部が形成されてなる発光管を有するロングアーク型の放電ランプ１０と、この放電ランプに給電する給電装置２０とを備えてなり、前記放電ランプが、前記給電装置によって、フル点灯モードと、このフル点灯モードによる供給電力より小さい電力を供給するスタンバイ点灯モードとを切り替えて点灯されると共に、前記フル点灯モードによる供給電力が定照度制御される放電ランプ点灯装置であって、前記フル点灯モードによる供給電力が大きくなったときに、これに応じて前記スタンバイ点灯モードによる供給電力が大きくなるよう制御される。 （もっと読む）

【課題】軽量化を図りつつ、超高温、高輝度の露光装置に用いるのに好適な照明光源ランプ装置を提供する。
【解決手段】本発明の露光装置の照明光源ランプ装置１１０は、超高圧ランプの陽極１４０と陰極１３０とのいずれか一方又はその両方に、アルミニウム又はアルミニウム合金又はチタン又はチタン合金又はこれらの混合物質が添加又は結合されたタングステンが用いられている。 （もっと読む）