【課題】 従来の洗浄装置では、ノズルから噴出される洗浄液は大きな粒子を含むため、汚染物質と被洗浄物の間の隙間に浸透し難く、付着した汚染物質を剥離することは非常に困難であるという点である。
【解決手段】 容器６の底部に超音波振動子７が装着され、超音波振動子７に発振器８から発振出力が印加され、液体供給装置９から液体１０が容器６の底部に一定の深さになるように供給され、容器６の側部から液体１０の液面より上に気体が送風されるように、容器６の側面に気体供給口１１ａを設けた気体供給装置１１が接続され、気体供給口１１ａの対向位置の容器６の上部に気体を排出する排出口１２が形成され、排出口１２に吹き出し管１４が形成され、吹き出し管１４の吹き出し口１４ａに対向して、基板、液晶パネルなどのワーク１５が載置又は移動可能に載置されている。 （もっと読む）

【課題】 従来の洗浄装置では、ノズルから噴出される洗浄液は大きな粒子を含むため、汚染物質と被洗浄物の間の隙間に浸透し難く、付着した汚染物質を剥離することは非常に困難である。
【解決手段】 ハウジング６の上部に流水型超音波霧化器７が装着され、流水型超音波霧化器７は上部に超音波振動子８が装着され、超音波振動子８に対向する下面にノズル７ａが形成され、流水型超音波霧化器７に液体供給装置９から液体１０が超音波振動子８に充満するように供給され、超音波振動子８に発振器１１から発振出力が印加され、ハウジング６の側面に気体供給口１２ａを設けた気体供給装置１２が接続され、気体供給口１２ａの対向位置のハウジング６の上部に気体を排出する排出口１３が形成され、排出口１３に吹き出し管１５が形成され、吹き出し管１５の吹き出し口１５ａに対向してワーク１６が載置又は移動可能に載置されている。 （もっと読む）

【課題】 洗剤を使用することなくマットの洗浄を能率よく行える小型のマット洗浄装置を提供する。
【解決手段】 マット洗浄装置３は、マットｍを一端（図の右側）から他端（図の左側）へ搬送する搬送手段４と、マットｍの裏面２を下方へ向けて打撃する打撃手段５と、マットｍの表面１に洗浄水を噴水する噴水手段６と、マットｍの表面１に滑り接触する回転ブラシ７と、マットｍの表面１及び裏面２の相対向する箇所に圧縮空気を各々噴射する吹水手段８とを備える。
（もっと読む）

【課題】基板のダメージがなく、化学物質等を使用せずに、レジスト剥離能力が高く、しかも構造が簡単なレジスト剥離方法およびレジスト剥離装置を提供する。
【解決手段】レジストが被着した状態の基板１２を回転機構１３により所定の方向に回転させ、基板上のレジストにスチームおよび粒径の制御された水ミストを噴射することで、スチーム１４の作用により基板１２からレジストを浮き上がらせ、粒径の制御された水ミストにより基板１２から浮き上がっているレジストを剥離させる。 （もっと読む）

【課題】
連続して効率良く洗浄効果を得られるとともに、設置場所が制限されずに、作業者が簡単に持ち運びできる省スペース型の砂洗浄装置を提供する。
【解決手段】
砂洗浄装置１は砂洗浄管２と、砂洗浄管２の一端に接続された加圧手段３と、砂洗浄管２の他端に接続された分離手段４とで構成され、砂洗浄管２の一端に汚れた被洗浄砂３４と洗浄液３５を加圧して供給することにより使用する。加圧された被洗浄砂３４と洗浄液３５は管体２１と、管体２１の内部に固設され、管体の内壁２１ｃとの間に螺旋状の流路を形成するスクリュー体２３に沿って流れることにより、砂同士の摩擦を生み出して揉み洗いの効果により砂同士を洗浄する。 （もっと読む）

本発明は表面処理組成物と、それを用いる基板の表面処理方法に関する。より詳細には、本発明は、表面処理組成物からの金属不純物で基板表面が汚染されることを防止し、極めて清浄な基板表面を安定して提供する、主成分として液体媒体を含む表面処理組成物、さらにまた、それを用いることによる基板表面の処理方法に関する。前記組成物は、水、過酸化水素、アルカリ性化合物、ならびに、２，２−ビス−（ヒドロキシエチル）−（イミノトリス）−（ヒドロキシメチル）メタンおよび／またはニトリロ三酢酸を含む。 （もっと読む）

【課題】 従来の超音波洗浄装置は、複数の洗浄槽と、リンス等の仕上り用の洗浄槽と、乾燥用の処理槽等の如く、複数の槽を有し、かつ複数の槽を縦列配備するバッチ方式であった。装置の複雑化と、大型化及び／又は設置スペースの拡大化等を招来する。また多数の被洗浄物を水又は液中に浸漬するバッチ方式は、洗浄効果が必ずしも十分とは云えない品質の問題がある。
【構成】 フレームに回転自在に設けた出入り口を供えたメッシュドラムと、メッシュドラム用の駆動部と、メッシュドラムに内装した洗浄用、乾燥用の各ノズルと、洗浄槽に設けた超音波振動子とで構成した超音波洗浄装置で、メッシュドラムの大径部を、洗浄槽の上部に配し、この大径部に至った小物部品に、超音波振動子のキャビテーションを付与し、小物部品をメッシュドラムの螺旋羽根で搬送中に洗浄処理する超音波洗浄装置である。 （もっと読む）