【課題】洗浄槽内での焼却灰と水の撹拌混合性を高め、塩素除去効率を向上させることができる焼却灰の水洗処理方法及びシステムを提供する。
【解決手段】焼却灰１が供給される洗浄槽２０と、該洗浄槽内にて水に浸漬された焼却灰１を撹拌する撹拌手段とを備える焼却灰の水洗処理装置において、洗浄槽底部に堆積した焼却灰１をすくい上げて洗浄槽内上方に搬送するバケットスクレーパ４０と、該バケットスクレーパが所定間隔で複数取り付けられたコンベア３０とを備え、前記コンベア３０は、灰撹拌時には、バケットスクレーパ４０の灰載置面が上方に向いた状態で上方に移動させ、所定位置でバケットスクレーパ４０を反転させて焼却灰を落下させ、該焼却灰を少なくとも鉛直方向に撹拌し、灰排出時には、バケットスクレーパ４０の裏面で処理灰２を押し出し排出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ウェブにスプレーした洗浄液によってスジ状の汚れが生じることを効果的に防止できるウェブ洗浄方法、ウェブ洗浄装置、およびウェブ粗面化処理ラインの提供。
【解決手段】胴の表面が弾性材料または金属から形成され、前記ウェブが胴の下側の表面に巻き掛けられる搬送ローラ２と、胴の表面が弾性材料または金属から形成され、前記ウェブが胴の上側の面に巻き掛けられる搬送ローラ３とによってアルミニウムウェブＷを支持しつつ、搬送ローラ２の表面に上方から洗浄液を供給させて前記ウェブの洗浄を行うウェブ洗浄方法、ウェブ洗浄装置、および前記ウェブ洗浄装置を備えるウェブ粗面化処理ライン。 （もっと読む）

【課題】圧造後の機械部品に付着した余分なオイルを有効に除去できると共に、洗浄後の部品の表面に防錆剤及び洗浄されたオイルが薄く付着して製品の錆の発生を防止できる機械部品洗浄装置を提供する。
【解決手段】パーツホーマー７により圧造される各種機械部品Ｐを洗浄する機械部品洗浄装置であって、洗浄水ＣＷを溜めたプール１と、始端側がプール１内の低位置、終端側がプール１内の水面ＷＬから出る高位置となるように設置され、始端部上に供給された被洗浄部品Ｐを終端部まで搬送する間にプール１内の洗浄水ＣＷで被洗浄部品Ｐを洗浄する搬送洗浄用コンベヤ２と、このコンベヤ２で搬送されて水面ＷＬから上がってくる被洗浄部品Ｐに清浄な洗浄水ＣＷを噴射するシャワー３と、プール１の水面ＷＬに浮遊する油を含む上水をポンプ３ｃで吸引排出するフロート型オイルスキマー４とを備えてなること。 （もっと読む）

【課題】水系洗浄剤を使用した超音波洗浄における、高い洗浄効果を得ることができる洗
浄方法、及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１は、界面活性剤を含む洗浄液Ｒを貯留する洗浄槽２と、洗浄液Ｒ
に超音波を照射する超音波発振器４と、洗浄槽２から溢れた洗浄液Ｒを収容する回収槽３
と、回収槽３と洗浄槽２を接続する供給管５と、供給管５上にポンプ６とを備え、回収槽
３に収容された洗浄液Ｒは、ポンプ６に吸引、空気混合、圧送され、ノズル７を介して洗
浄槽２内に噴射され、洗浄槽２の洗浄液Ｒの液面に多数の微細な泡の層Ｂが発生する。そ
して、洗浄するプラスチックレンズ１０を泡の層Ｂを通過して洗浄液Ｒに浸漬し、超音波
発振器４から洗浄液Ｒ中に超音波が照射されて、プラスチックレンズ１０の洗浄がされる
。 （もっと読む）

処理システムが、基板の底面を露出させるように、それぞれが基板を支持するように構成された複数のチャックと、連続的な経路に沿って複数のチャックを案内するように構成されたトラックと、トラックがそれぞれのチャックを処理装置上で案内するとき、各基板の底面を処理するように構成され、トラックがそれぞれのチャックを処理装置上で案内するとき、各基板の底面に接触するように配置された流体メニスカスを含む処理装置とを含む。
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【課題】内部に形成された狭隘部を洗浄対象部位に含む被洗浄ワークを対象として、十分な洗浄性能を確保することが可能な洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被洗浄ワークであるノズル部品５を加熱して少なくとも洗浄対象部位であるニードル孔５ｇの被洗浄面である内表面５ｊの表面温度を洗浄液１１についてライデンフロスト現象が発生する温度に保持しながら、ニードル孔５ｇ内に洗浄液１１を供給し、内表面５ｊに洗浄液１１が蒸気層１１ｂを介して液滴１１ａの状態で接触して流動するライデンフロスト現象を発生させ、液滴１１ａが内表面５ｊに沿って流動することによって異物３２を捕集し、異物３２を液滴１１ａと共にニードル孔５ｇから排出させる。 （もっと読む）

本発明は、スタッキング方向に沿ってスタックの状態で配置される個々のウェーハ又は基板の表面洗浄のための装置及び方法であり、スタッキング方向に垂直な方向にスタックに向けて液体噴射が放出され、かつスタッキング方向におけるウェーハスタック及びノズル間の相対移動が可能である。
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【課題】気泡を被洗浄物に衝突させて洗浄する洗浄工程および洗浄液に超音波を印加して前記被洗浄物を洗浄する超音波印加工程を交互に繰り返すことによって、効率的な洗浄を行える洗浄方法およびこの洗浄方法により効率的に洗浄される被洗浄物を得る。
【解決手段】洗浄槽１の洗浄液中に部品２などの被洗浄物を浸漬させる工程と、添加剤注入部１０から前記洗浄液に添加剤を注入する添加剤注入工程と、気泡発生部５により前記洗浄液中に気泡を生成する気泡発生工程とを含む洗浄方法であって、前記気泡を前記被洗浄物に衝突させて洗浄する洗浄工程および超音波印加部６により前記洗浄液に超音波を印加して前記被洗浄物を洗浄する超音波印加工程を交互に繰り返すようにした。 （もっと読む）

【課題】均等、かつ、効率よく洗浄物を洗浄することができ、これにより、洗浄物の品質の向上及び低コスト化を図ることができる超音波洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄液を収容する洗浄槽と、洗浄物を保持して洗浄液に浸漬される洗浄物保持手段と、洗浄槽内の洗浄液に対して超音波振動を印加する振動印加手段と、を備えた超音波洗浄装置であって、振動印加手段は、平面状の振動板と、この振動板上に規則的に配置された複数の超音波振動子と、を備えると共に、洗浄物保持手段は、複数の洗浄物を振動板に対して平行に配置して保持する保持面を有し、振動板と保持面とが相対的に平行に移動するよう、振動印加手段及び／又は洗浄物保持手段を可動する可動手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】 スポンジ板を搬送している間にスポンジ板の搬送姿勢を前縁が搬送方向に対して直角な方向になるように正すことができるスポンジ板洗い機を提供する。
【解決手段】 正逆回転可能な供給側絞りローラ対６と、正逆回転可能な排出側絞りローラ対７と、供給側絞りローラ対と排出側絞りローラ対の間に位置する正逆回転可能な送りローラ対８とを備え、供給側絞りローラ対６と排出側絞りローラ対７の距離をスポンジ板５の搬送方向長さより大きくし、供給側絞りローラ対６と送りローラ対８間及び排出側絞りローラ対７と送りローラ対８間の距離を夫々スポンジ板５の搬送方向長さより小さくし、送りローラ対８の上下ローラ間の間隙をスポンジ板５の厚みより僅かに小さくしてある。 （もっと読む）

【課題】洗浄後にパーティクルが発生する虞がなく、低コストの構成部材の洗浄方法を提供する。
【解決手段】成膜装置の処理雰囲気に設置された成膜装置の構成部材の表面から付着物を除去するための洗浄装置であって、
前記構成部材に対して加圧水を噴射する噴射部３，４を備える （もっと読む）

【課題】破砕プラスチックをローコスト、かつ低い環境負荷で洗浄する。
【解決手段】破砕プラスチック及び洗浄水を洗浄タンク３７内で螺旋状に渦流させ、吸入口３７ｃ、搬送パイプ４５、循環パイプ５０、吐出口５０ａを流して複数回循環させる。破砕プラスチックは、破砕プラスチック同士の摩擦、洗浄タンクとの摩擦、洗浄水の気泡や流れなどによって付着していた汚れや破砕粉が洗い流される。洗浄タンク３７内での洗浄中に、パンチ穴３７ｅから微細な破砕屑が排出され、再成形に適したサイズの破砕プラスチックだけが選別される。 （もっと読む）

【課題】複数の被洗浄物をより少ない液量でより確実に洗浄でき、軽量化および小型化が可能な洗浄装置を得る。
【解決手段】被洗浄物２を回転して移動させると共に前記被洗浄物２の少なくとも一部の部位が浸漬する液位１２５を維持して液体１２１を貯留し、前記移動する被洗浄物２を前記液体１２１に浸漬させる洗浄槽１２０と、付勢されて振動し前記洗浄槽１２０を振動させる振動子１２４とを備え、前記振動子１２４を付勢して前記洗浄槽１２０を振動させ前記回転して移動する前記被洗浄物２を洗浄するように構成し、連続的に複数の被洗浄物２を少ない液量で洗浄できるようにした。 （もっと読む）

【課題】ワークを傷つけることなく確実に洗浄することのできるワーク洗浄装置を提案すること。
【解決手段】ワーク洗浄装置１の回転ドラム３にワークＷを投入し（Ｗ１）、回転ドラム３を第１回転方向ＣＣＷに回転させて上流側のワーク送りフィン２１から、ワークＷを、ワークガイド用段差部５０を越えて下流側のワーク送りフィン２２に引き渡す（Ｗ２）。回転ドラム３を逆回転させると、ワークガイド用段差部５０によってワークＷがワーク捕捉用ポケット４０に案内され、そこに捕捉される（Ｗ４）。ワーク捕捉用ポケット４０にワークＷを捕捉した状態で回転ドラム３を正逆回転させながら洗浄液を吹き付けてワークＷを洗浄する。洗浄後に、回転ドラム３を第１回転方向に１周以上回転させることにより、ワークＷがワーク捕捉用ポケット４０から放出され、ワーク送りフィン２２によって送られて下流側のワーク送りフィン２３に引き渡される。 （もっと読む）

【課題】高濃度の反応性水素化合物を生成し処理の高速化を図るとともに、被処理物への結露を防止する。
【解決手段】原料供給系２０の原料成分ＣＦ_４をプラズマ生成部１０の電極間空間１３に導入し、電極間に電界を印加してプラズマを生成する。その後、水蒸気供給系３０の水蒸気を上記ＣＦ_４と混合し、露点が被処理物Ｗの温度より高い処理ガスｇ１を得、電極間空間１３に導入する。これにより、反応性水素化合物として高濃度のＨＦを含む低露点のガスｇ２が吹出し口１４から吹き出され、被処理物Ｗのエッチング等の表面処理が実行される。処理終了後、先ず水蒸気導入を停止する。次に、プラズマ生成を停止し、ＣＦ_４導入を停止する。 （もっと読む）

シュラウドと、仕上げ部材とワイピング装置とを含むガラス板の縁部処理装置。仕上げ部材はシュラウドにより実質的に囲まれている。本装置は、ワイピング装置内の少なくとも１つのスロットにより放出された加圧空気を用いて、縁部処理により生じる汚染物質がガラス板の表面に沈降および／または付着することを防止する。ワイピング装置は、ガラス板の表面および処理縁部をさらに洗浄するために、ガラス板に向けられた洗浄流体の噴流を含み得る。
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【課題】洗浄液の噴射圧力に応じた適切な膜厚で流体カーテンを形成する。
【解決手段】洗浄ノズル１８を、軸心に噴射口２３を有し、下端外周を先広がりのテーパ状としたノズル本体１９と、そのノズル本体１９に外装されて内周にリング状の流路３２を有し、下端内周をテーパ状とした外スリーブ３１とから形成して、ノズル本体１９の下端外周と外スリーブ３１の下端内周との間に、洗浄液の噴射口２３を中心としたリング状の第２噴射口３８を形成し、外スリーブ３１を、エアシリンダ２７，２７により所定の上下位置に軸方向にスライドさせることで、第２噴射口３８の大きさを変更して流体カーテンの膜厚を調整可能とした。 （もっと読む）

【課題】スポンジ等の吸水ローラや吸水シートを必要とせずに、簡単な構造によってメダルの脱水を可能とすることにより、メンテナンスの負担を軽減し、製作時の手間の軽減とコストダウンを実現するようにしたメダル脱水装置を提供する。
【解決手段】水洗いしたメダルを流入する流入口１１ａとメダルを排出する排出口１１ｂとを備えた筒状のドラム１５の周壁に多数の水切り孔が設けられ、該ドラム１５の周囲には水抜き孔３０を有する外筒２９が設けられ、該ドラム１５が流入口１１ａから排出口１１ｂへと下り勾配を有して回転駆動される構造を有すると共に、ドラム１５の回転速度が制御されることにより、該ドラム１５内に収容されたメダルが遠心力の大小によって該ドラム１５の内周壁にへばり付くか離脱するかを繰り返して、該ドラム内に収容されたメダルが水切りと乾燥をしながら流入口１１ａから排出口１１ｂへ移送されるようにした。 （もっと読む）

洗浄機のチャンバ間の流体移動を最小限にし洗浄機の各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化された流体排気通路を含むトンネル式洗浄機である。流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にする。またトンネル式洗浄機にはトンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、特に電子機器例えばハードディスクなどに使用される、異物・コンタミを著しく嫌う用途に用いる微細な粘着テープ加工品等に付着している塵芥や、携帯電話部品接着用の複雑な形状の粘着テープなどに付着する微細な打ち抜きカスなどを除去し、クリーンな製品の製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 粘着面に離型処理したセパレーターをラミネートし、小幅にスリットした粘着テープ、または該テープを打ち抜き加工してカス上げした粘着テープを、超音波洗浄することを特徴とする、クリーンルーム作業対応可能な粘着テープ加工品の製造方法。 （もっと読む）