【課題】本発明は、医療対象物のような対象物を殺菌するための殺菌装置に関する。
【解決手段】殺菌装置は、殺菌チャンバー（８）と、少なくとも１つの洗浄用通路（１）が設けられた通路システム（３）と、を備え、前記洗浄用通路は洗浄液をノズル（２）に搬送するよう構成され、このノズル（２）は実質的に横方向に向いており洗浄液を前記殺菌チャンバー（８）内で散布するようになっている。前記ノズル（２）を支持する前記洗浄用通路（１）は、迅速に着脱可能な連結器を有しており、当該連結器は少なくとも一端が通路システム（３）の静止部分にかみ合うよう協働するようになっている。
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基板の側面に対しても主面に対すると同程度に洗浄力を発揮することのできる安価な洗浄装置、また噴射距離をあまり変えることなく、洗浄中に噴射器の角度を変えることのできる安価な洗浄装置である。基板７０を回転可能に水平に支持するテーブル１０と、基板に洗浄液を噴射する噴射器３０と、噴射器を第一の端部で保持するアーム１６と、アームの第二の端部を水平方向の軸回りに回転可能に保持するとともにテーブルに対して平行方向に案内する支軸１２とを備えた基板洗浄装置１において、前記アーム１６は、第二端部における軸線方向から眺めたときに第一端部がその軸線から離れた位置にあることを特徴とする。
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