本発明は、残渣、特に有機金属または金属酸化物残渣をそこに有するハードディスクデータ記憶装置、インクジェットプリンタカートリッジヘッド等を、その残渣を除去するための十分な時間と温度で本発明の洗浄用組成物と接触させてその残渣を除去することによって洗浄するための組成物および方法に関する。当技術分野で公知の、撹拌、かき混ぜ、循環、超音波処理またはその他の技術を適宜使用することができる。殆どの場合、ハードディスクデータ記憶装置、インクジェットプリンタカートリッジヘッド等を洗浄用組成物中に浸す。その時間と温度は、基板から除去する特定の材料に基づいて決定することができる。ハードディスクデータ記憶装置、インクジェットプリンタカートリッジヘッド等は、該組成物を使用した後、すすぐことができ、または、Ａｌ₂Ｏ₃ではそのようなすすぎは必要ないのですすがなくてもよい。すすぎ液は、イソプロパノールおよび／または脱イオン水を含む。
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【課題】 薬液収納容器を容易に交換できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 ＬＥＤ表示部７５の各ＬＥＤ７６は、各容器７１の配置形態と略同一となるように配置される。容器７１内の薬液が空になると、対応するＬＥＤ表示部７５のＬＥＤ７６が点灯する。オペレータは、容器７１を交換する作業に先立ち、バーコードリーダ８２によって未使用容器７１のバーコード７２を読み取る。バーコードリーダ照合機８３は、未使用容器７１のバーコードデータと、データベースに登録されており点灯中のＬＥＤ７６に対応する容器７１のバーコードデータとを照合する。そして、バーコードリーダ照合機８３によって両容器７１の薬液種類が同一であると判断された場合、ＬＥＤ７６の表示は点灯表示から点滅表示に移行させられる。これにより、容易に交換対象となる空の容器７１の配置位置を容易に把握でき、容器７１の交換ミスを有効に防止できる。 （もっと読む）