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Fターム[3C043CC01]の内容

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【課題】 研磨コストが低くて研磨工数が少なく、かつ、ワークの研磨面を精密に研磨できるワーク研磨装置、および、ワークの研磨方法を提供すること。
【解決手段】 スラスト板保持部材3の外周円筒面16がガイド部材2の内周円筒面7に沿っている状態で、スラスト板保持部材3を、図2に矢印αで示す方向に、A、B、C、D、Eの順に公転させると共に図2に矢印βで示す方向に自転させて、スラスト板保持部材3の穴部11に配置されていると共に、プランジャーによってラッピングペーパー12の方に付勢されているスラスト板を、ラッピングペーパー12に擦りつけて、スラスト板の研磨面を研磨する。 (もっと読む)


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