【課題】
樹脂切粉の目詰まりによる研磨ベルトの研削効率低下を抑制し、研磨ベルトの寿命（ライフタイム）を飛躍的に伸ばすことが可能な樹脂成型品のベルト研磨装置およびベルト研磨方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、８０リットル／分〜２５０リットル／分の範囲の圧縮空気を間欠的に研磨ベルトの表面に吹付け、圧縮空気が停止状態から噴射吹付け状態に切り替わることによりこのとき研磨ベルトに衝撃波が加わりかつ圧縮空気の噴射圧力にピークが生じる。このことで瞬間吹付け流量が増加して細い孔からのエアーにより研磨ベルトの小さいエリアが急冷却されて研磨後にヤスリ目に被着あるいは融着された切粉樹脂が剥れ易くなる。これにより、樹脂切粉がヤスリ目から剥れ落ちる。 （もっと読む）

【課題】ブレードのドレッシングを自動で精度良く行い、生産性を向上することができるインゴット切断装置、及び切断方法を提供することを目的とする。
【解決手段】切断テーブルにインゴットが水平に載置され、前記切断テーブルはインゴットを切断するためのブレードが前記切断テーブルに接触しないようにするための隙間を有し、前記ブレードを前記切断テーブルの隙間の位置で相対的に上方から下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴット切断装置であって、少なくとも、前記インゴットを前記ブレードで切断する位置にて前記インゴットの切り終わり部分を下方から支持するためのドレッシング材から成るインゴット支え部材を具備し、前記インゴットの切断時に前記インゴット支え部材の上部を切断して溝を形成し前記ブレードのドレッシングを行うものであることを特徴とするインゴット切断装置。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドの表面を基準にドレッシングするための適度な弾性を有しつつ、長期に亘って交換することなく使用することができるパッドドレッサーを提供する。
【解決手段】支持部３２の下端には、束線バンド３５で束ねられた弾性部材３１が取り付けられている。弾性部材３１は、線径が０．１５ｍｍで長さ２５ｍｍのタングステン線が３０本ずつ１束に束ねられて構成されている。また、弾性部材３１の各素線の先端部は丸切りのまま研磨パッド２０に接触して研磨パッド２０のドレッシングを行うようになっている。弾性部材３１の各素線の先端部の線径を細くして研磨パッド２０の切削幅を小さくすると共に、弾性部材３１の各素線を束線バンド３５で束ねることによって弾性部材３１の剛性を高め、各素線の細い先端部に大きな圧力がかかるようにしている。従って、弾性部材３１の先端部は研磨パッド２０に有効な切り込み深さを与えることができる。 （もっと読む）

【課題】乾式工法によって深穴を穿孔する場合に、穿孔によるコアビットの発熱を低減し、穿孔速度を維持して深穴の穿孔を可能にする研削材及びそれを用いた穿孔工法を提供する。
【解決手段】軸線回りに回転駆動させられる筒状シャンクの先端にダイヤモンドチップ３１が固着されてなるコアビット１１の先端と、この先端が押し当てられて穿孔される被削材２０との間に供給され、ダイヤモンドチップ３１の目立てを行う研削材５１として、ダイヤモンドチップ３１の目立てを行う砥粒に、超微粉の無水シリカと含水樹脂とが添加されたものを用いた。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰ研磨に関し、ドレッサーによる研磨布の磨耗を防ぎ、かつ確実にコンディショニングを行なう。
【解決手段】研磨布１の表面に加圧された水蒸気を噴射してコンディショニングする。この水蒸気の湿り度、圧及び温度を、噴射後に湿り水蒸気となるように制御する。例えば、圧を１〜６ｋｇ／ｃｍ² 、温度を１００〜１３０℃とする。さらに、水蒸気に砥粒を溶解する薬液又はＣＭＰ用のスラリーを混合することもできる。この方法を実行するための研磨装置は、下面に水蒸気を噴射する噴射孔を備えた蒸気噴射管１１と、噴射孔近傍に設けられた蒸気回収用の回収孔を下面に備えた蒸気回収管１５とを、研磨布１上面に保持する。高温の水蒸気と噴流とにより研磨布１表面の砥粒等が溶解又は吹き飛ばされて清浄化する。 （もっと読む）

【課題】研磨テーブルの研磨面の異物を効果的に洗浄除去でき、且つ洗浄機構の飛散防止カバーに飛散した洗浄液等が滞留することなく、滞留した異物が研磨テーブルの研磨面に落下して、被研磨基板の研磨面に損傷を与え、被研磨基板を不良品とすることのない研磨テーブルの研磨面洗浄機構、及び研磨装置を提供すること。
【解決手段】複数のノズル１３を具備する噴射ノズル１０を備え、該噴射ノズル１０から研磨テーブルの研磨面１１に洗浄液を噴射して該研磨面１１に残留する異物を除去・洗浄する研磨テーブルの研磨面洗浄機構であって、噴射ノズル１０をその洗浄液噴射方向が研磨テーブルの研磨面１１に対して該研磨テーブルの移動方向（矢印Ｄ方向）に所定角度傾くように配置し、噴射ノズル１０の各ノズル１３の先端から研磨面１１までの洗浄液噴射域の所定範囲外周を囲う飛散防止カバー１５を備えた。 （もっと読む）