【課題】テーブル上に載せられたワークを短時間に所定の方向に向けることができるようにしたワーク位置決めシステムを提供する。
【解決手段】ワーク位置決めシステムは、水平姿勢のベースプレート２０上に支承手段３０が設置され、支承手段３０上にワーク１００を載せるテーブル１０がスライド自在に置かれ、スライドしたテーブル１０上のワーク１００の一つの側面に接離する少なくとも第１，第２のスイッチ４１，４２がベースプレート２０に固定され、テーブル１０を第１，第２のスイッチ４１，４２に接離させる方向に進退させる第１，第２のアクチュエータ５１，５２が各スイッチ４１，４２に対応して前記テーブル１０とベースプレート２０との間に接続されたワーク位置決め装置を使用する。テーブル１０及びワーク１００は、第１，第２のアクチュエータ５１，５２がともに作動することで前進・後退し、一方のみ作動することで回転し、所定の向きとされする。 （もっと読む）

【課題】ステージ装置の作動効率を向上させる。
【解決手段】同一直線上にない三箇所で、ステージを上下方向に個別に移動する三つの上下アクチュエータと、作用線が上下方向に直交する面に沿ってステージの重心を通り、ステージを水平に移動する第１アクチュエータと、作用線の各々が上下方向に直交する面内で第１アクチュエータの作用線と直交して、ステージを水平に移動する第２アクチュエータおよび第３のアクチュエータとを備え、第２アクチュエータの作用線は、三つの上下アクチュエータのうちの少なくとも一の上下アクチュエータの作用線と交差し、且つ、第３アクチュエータの作用線は、三つの上下アクチュエータのうちの一の上下アクチュエータとは異なる少なくとも一つの上下アクチュエータの作用線と交差する。 （もっと読む）

【課題】
基台とステージの積み重ね方向における厚みを薄くして小型化を図ることが可能なチルトステージを提供する。
【解決手段】
第一プレートと、この第一プレート上に設けられた第一、第二及び第三の支持ユニットと、これら支持ユニットによって傾動自在に支持された第二プレートとから構成されており、前記三基の支持ユニットは第一プレート上の仮想点の周囲に配置され、各支持ユニットは、前記仮想点を通過する前記第一プレートの法線に対して放射状に設けられると共に当該法線に対して所定角度で傾斜した方向に沿って案内経路を有する第一案内手段と、この第一案内手段に案内されると共に当該第一案内手段の案内方向と直交する方向に沿って案内経路を有する第二案内手段と、この第二案内手段に案内されると共に当該第二案内手段に対して前記第二プレートを傾動自在に連結する球面軸受とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の表面の傾斜移動が抑制された昇降テーブルを提供すること。
【解決手段】基台（１１）、基台上に設置された昇降装置（１２）、下端部が昇降装置に可動接続具（４１）を介して固定され、上端部にてテーブル板（１３）を支持している軸体（１４）、前記基台上の昇降装置の周囲に立設された支柱（１５）に支持されている、前記軸体を上下に移動可能に収容する外筒（１６）を持つ直動軸受（１７）を含み、前記の可動接続具が、昇降装置に固定された支持板と、支持板上に複数の球体を介して滑動可能に支持された可動板とを有するスライドユニット、および前記可動板に固定されている、上方に開口する球状の空洞部を持つハウジングと、前記空洞部に収容された球体と、この球体の頂部に備えられている、前記のハウジングの開口を通って軸体の下端部に固定された支持軸とを有する球面軸受からなる昇降テーブル。 （もっと読む）

【課題】従来より小型化が可能なゴニオステージ装置を提供する。
【解決手段】一部に球面部分１１２を有するテーブル部１１０と、前記球面部分１１２に当接して、前記テーブル部１１０を３点支持する支持部材２１１ａ〜２１１ｃと、前記テーブル部１１０に連結されて、前記テーブル部１００のテーブル面１１１の向きを操作する面方向操作部２２０と、前記面方向操作部２２０の位置を変化させる面方向操作駆動部２４０と、前記テーブル部１１０と一体をなし、前記テーブル部１１０を、テーブル面１１１に垂直な軸を中心に回転させる回転操作部２３０と、前記回転操作部２３０の位置を変化させる回転操作駆動部２５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】揺動軸受、それを用いたパラレルリンク機構、および移動ステージにおいて、小型化に適し、経時的にも円滑かつ高精度を維持することができるようにする。
【解決手段】球状ジョイント部３０ｂが設けられた可動軸３０と、軸受本体９との組合せからなる揺動軸受３であって、軸受本体９は、球状ジョイント部３０ｂを球中心点回りにすべり支持する凹球面部８ｂ、内側球面部７ａと、可動軸３０を揺動可能に挿通させるための開口部７ｃと、開口部７ｃの近傍の外表面側に、凹球面部８ｂ、内側球面部７ａと同心に形成された外側球面部７ｂと、凹球面部８ｂの一部に開口し、潤滑流体６を供給する流体供給溝８ｄとを備え、可動軸３０は、球状ジョイント部３０ｂ近傍で、軸部３０ａに径方向に突出して固定され、開口部７ｃを覆った状態で外側球面部７ｂに摺動可能に密着された流体封止部材３１を備える。 （もっと読む）

【課題】撓み梁の曲げ剛性によって生じるステージ移動時の回転運動を抑制する。
【解決手段】ステージ２とレバー部４ａとの間には、一端がステージ２に保持され他端がレバー部４ａに保持され、ステージ２のＸ方向の中心軸を挟んで対称となる位置に配置された２本の撓み梁６ａ，６ｂが設けられている。ステージ２とレバー部４ｂの間には、一端がステージ２に保持され他端がレバー部４ｂに保持され、ステージ２のＹ方向の中心軸を挟んで対称となる位置に配置された２本の撓み梁６ｃ，６ｄが設けられている。撓み梁６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄはステージ２及びレバー部４ａ，４ｂに端部８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄを中心に回転可能に保持されている。 （もっと読む）

【課題】ステージの変形や変位を抑制しつつ、高精度に傾斜できるステージ装置を提供する。
【解決手段】支持部材１７が傾斜すると、その方向（連結部１７ｃの幅方向即ちステージ２１の面に垂直な方向）の連結部１７ｃの剛性は比較的高いので、それに応じて支持部１７ｂも傾斜する。また相対変位部１７ａと支持部１７ｂとを連結する連結部１７ｃは、その面に垂直な方向即ちステージ２１の面に沿った方向の剛性が低く、また隣接する相対変位部１７ａ、１７ａはばね板１７ｄにより連結されているので、固定された相対変位部１７ａに対して、ステージ２１の面に沿った方向に変形しやすくなっており、図４の二点鎖線で誇張して示すように、変位した相対変位部１７ａにおけるステージ２１の面に沿った方向の変位を許容し、ストレスを解放するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 加工面と加工面の対向する部分の工具軸との間の相対的な位置関係を三次元的にかつ短時間で補正することができる加工装置を提供する。
【解決手段】 ２軸ステージ４００のＸＹ平面に沿った移動によって、シャフト１７が３次元的に移動する。それに伴って、スピンドル２を内装する筐体５０が移動する。筐体５０は、凹型球面被ガイド部４に固定されており、凹型球面被ガイド部４は、凸型球面ガイド部３に案内される。その結果、点Ｏを中心とした半径ｒの球面に沿って、スピンドル２が移動し、その姿勢が変化する。また、スピンドル２は、ボールねじ５、モータ６、およびリニアガイド部７によって、工具軸の方向に往復運動することが可能である。 （もっと読む）