【課題】 クロップシャーの剪断刃の研磨には相当の時間を要し、コストが嵩む。
【解決手段】 熱延鋼材の搬送工程に設置されるクロップシャー２０の剪断刃２３ａ、２３ｂの研磨装置３０であり、クロップシャー２０のスタンド２１に支持されたドラム２２ａ、２２ｂに固定された剪断刃２３ａ、２３ｂの研削面２３ａ’、２３ｂ’を研磨する砥石３１ａ、３１ｂを、ドラム２２ａ、２２ｂの近傍に備える。研磨装置３０では、砥石３１ａ、３１ｂはＣＢＮ系砥石である。 （もっと読む）

【目的】本発明は、シリコンウェーハ等、極めて高い平坦度や平行度、更には面粗さが要求される板状の工作物の表面を加工するラッピング加工、ポリッシング加工等を行なう研磨装置に関するものであり、研磨装置の定盤、キャリアヘッドの駆動をダイレクトドライブモータで行なう装置に関する。
【構成】シリコンウェーハ等の被加工体をキャリアヘッドに取り付けて、回転可能な定盤に前記被加工体を圧着し、加工液を供給しつつ、回転による前記定盤と被加工体の表面の擦過作用により研磨加工を行なう装置において、前記キャリアヘッドと前記定盤のうち少なくとも一方をダイレクトドライブモータ直結方式で駆動し、かつ前記ダイレクトドライブモータにより駆動されるキャリアヘッドあるいは定盤の位置決めの制御をエンコーダによって行なうことを特徴とするコンパクトで高精度のラッピング加工あるいはポリッシング加工用の研磨装置を提供する。 （もっと読む）